Устройство для получения сферических навесок

о О П И С А Н И Е 358974 Союз Советских Социалистицеских РеспубликИЗОБРЕТЕН ИЯ ОРСКОМУ СВИДЕТЕРЬСТ 3 аннсимос Зоявлео 3 с рисосд ельства М - -т авт. свил.Ч Кл, Н 0117,% 1353766,26" о ) ки %в с.л зая осударственный комитетСовета Министров СССРоо делам изобретенийи открытийУДК 621.382.3(088 1 - :.;о,и. сОпуоликовсо 26.Х.19 Бостсь Л а писания 12157. Загородников, Л. Е. Лихтман и Б 1 ят шев аи сл ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СФЕРИЧЕСКИХ РАВЕ СТРОЙС асилавом иод дейпопеременно заполняемые ствием разности давлений. На чертеже показано и ство, содержащее корпус 5 ки 3 и 4, образующие две5, диск б с сопловым отве шайбу 7, крышку 8, штуце газа для перемешивания для охлаждающей жидко о лотнение 12, нажимпой ф приемную камеру 15, шту для подачи противодавлен 17редлагасмое устрой.1, рубашку 2, труболости, нагревателрстием, сферическуо ра 9, 10 для подач. расплава, штуцер 11сти, эластичное упланец 13, гайку 11, цер 1 б с отверстиемия, упрупш элеменг жаропрочноин из рубашки 2на в другуюрпусом 1, Трубз керамических зиошой сварки емое рубашкойверхней части я проточной воубаштя натрубку ой 3 и й вы- между нагревазготовлен 14 черезду трубкрез котория этого Изобретеш:е относится к оборудоваишо для производства полупроводниковых приборов,частности и устройствам для получения сфе,ических электродов-навесок.Известно устройство, позволяющее получать сферические навески. Рабочий сосуд, заполненный магериалом, погружают и силиконовую жидкость и вмсстс с жидкостью нагревают до 450 С. При подаче избыточного давления в рабочий сосуд струя расплава через сопловое отверстие фонганирует в силиконовую жидкость, и при ее распаде образуются сферические павески.Недостатки известного устройства следующие: невозможность получения сферических навесок пз материалов и сплавов с тепераурой плавления выше 450 С, отсутствис системы перемешивания расплава, что ограничивает его применение из-за ликвации сплавов по удельному весу при расплавлении и выдержке расплава.Цель изобретения - получение сферических навесок из материалов и сплавов с температу. рой плавления до 1100 С с равномерным рас пределением компонентов в какдо навеске.Цель достигается благодаря тому, что устройство снабжено дополнительнои приемной камерой с нейтральной или восстановительной средой. Камера вакуумноплотно соединена с рабочим сосудом, разделенным на две полости,Рабочий сосуд выполнен изокалиностойкой стали и собраи трубок 3, 4, помещенных одсоединенных между собой коки могут быть изготовленым атериалов.Для предотвращения диффурезьбовое соединение, образ2 и гайкой 14, расположенорабочего сосуда и охлаждаетсдой через штуцер 11.Вследствие пер авионерногоки 2 и трубки 3 в процессевесок нажимное усилие гайки3 на диск б ослабевает, и ендиском б появляется зазор, чео текает расплав. Для устранен.Чля псклн)чецця самопроизвольог) вытекяпия расплава из рабочего сосуда в црцсмпую камеру через штуцер б подается ротцода 3- 5 лепе. Гяз проходит через сопловс отверстие и расплав Гпшзу вверх и дополцитель о пер,- мсшцвает расплав. Таким образо."., расплВ перемешивается не только за счет псремс,п,- ипл его пз полости в полость:О и за счет цро, х;депця ГР 3 я ерсз р ясц яв.В рабочем состоянии камера 11) и раоочцй сосуд соедицепы между собц 1 акуум 11 Г.)тпо с помощпо деталей 12, И.Б пижпою частэ прис)1 цой ка)ерь за.п 131 ст ся сцликоцоиая жидкость для обеспечеИ)1 ускоренной кристаллизации сферцеских навесок, Загружепиы 1 измельчеппыи материал разогревается нагрсвателем 5, который дов- дит температуру до 1100 С. Одновременно с повышепием температуры подается газ под давлением для перемешивапця. Процесс перемешцваиия обеспечивает строго равномерное распределение компонентов в иавесках. Прц подаче газа под давлением в первую полость расплавленный металл перемещается во вторую полость, при этом происходит интенсивное перемешивацие легких и тяжелых компонецтов, при подаче газа во вторую полость расплав переместится в первую полость. При неоднократном повторении процесса перемешпванця рВпомер 1 о распредсл 5 с 51 брег, расплава.Одновременной подачей аза в )б)е ц)ла .1 Вызывают фоцтацировацце расплава. Струя расплава при выходе из соцлового отверстия распадается ца отдельные калц, которые цод действие )1 сп,1 п 013 срхпОстпого 1111 тяжеп 151:р в оретают сферпческуо форю. Г 1 алая в силиконовую жидкость, сферическ 1 е 1 Явсски з 1- тпс,)евя 1 т 1 ОяждяОггс 1 я,пс;рпсмОй к)- 31 Рь. С 1 511 дкстц ц 13 Ь 1 Р).)к). Иазсск про:зводится через штуцер прцсмпой камсрь:.Предмет изобретспцяЪ стройство для получения сфери )еских цав; - сок принудительным фоптацировапием рас. г)лава, содержащее рабочий сосуд, диск с сопловым отверстием, прогревасмый прием:ыц сосуд, зацолиеццый срстойкой кцдостш, Отличаю,ееся тем, по, с цельо цолучеш)ч равномерного состава сфсричсских цавесок и получения цавесок из тугоплавких материалов, устройство снабжено дополнительной прием)ой камерой, содержащей псйтральпую цли 13 осстаповительиуо среду, в которой происходит распад струи и образование сферических навесок, вакулумиоплотцо соединенной с рабочим сосудом, разделенным ца две полости, поперемено заполняемые расплавом под действием разности давлений,