Установка для скрайбироваиия полупроводниковых

Номер патента: 406245

Авторы: Ведерннкон, Кононович, Фейгинов

ZIP архив

Текст

(;оФз СоветскихСоцналнстнцеекнхМслублнк О П И С А Н И 8 406245И ЗОБРЕТЕ Н ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от ав яявлепо 01,Х 3.19 присоединением. свидетельства1 (Ф: 17106:31/26-2 заявки Л"= 1, Н О 1 7/6 аеударственныи хамитеСееета Министров СССРае делам изобретенаи Втираний Приоритет -Опуб)л 51 ковяпо 05,Х 1,1973, э 1 оллстепь45 УДК 621.328(088.;5 псанпя 21.1.107 Дата Опуолпковац Авторыизобретения Н, И. Феиицов, А Квцоцоа 1 ч, А. А. Ведериикл 1 Г, И, Зяйдель Заявитель Изооретецие Относится к элсктрспшой техинке. Установка для скрайбпр оливковых пластин (фпг. 1 ройство совмещения 1 п пластицы с линией скряйб цизм перемещения 2 устрой резец с механизмом крепле пый стол 4, вакуумпый пат ориентации 6 полупроводник механизм 7 подъема и опусУстройство совмещения 1 5 вы 8 и 9, установленные в рый может поворачиваться в Цой ОСИ. ОЯ ПИЯ ПОЛиО- ) содержит уст. ОлУпРОВОдпиковой ировапця, мсхя. ства совмещения, и 51 3, КООРдпцт роп 5, механизм овой пластины капия резца.содержит объскблоке 10, кото округ всртпкял 1,Известна установка для скрайбцровацияполупроводпиковых пластин, содержащая коОрдипятцый стол с шаговым приводом, резец с мехаизмом крепления, вакуумный патрон, мехациз ориентации полупроводциковой пластины, устройство совмещеция полу.проводциковой пластипы с линией скрайбировация, выполненное и виде бицокулярцой 11оптической системы с разцесеццымп полямпзрения. Эта система сложна по конструкции,так как цеобходим мехацизм угловой ориентации всего устройства совме 1 цеция.Целью изобретения является упрощение 1стаповкп для скрайбпровация полупроводниковых пластин и усуппепие условий работы оператора,Поставлеццая цель достигается тем, что вмеханизме перемещения двупольцого оптичс Гского устройства совмещения полупроводциковой пластины с линией скрайбировация водной из кареток выполцец наклонный паз,взаимодействующий с пальцем ползуца другой каретки. Обе каретки механизма перемепения имеют привод от винтов, расположенных па одпой оси.11 а фиг, 1 1 юказапа предложеппая устацока, общий вид; ца фиг. 2 - механизм пермещеция двупольцого оптического устройств Мехациза перемеще мещения включает в се с цяправля 1 ощпмп приз перемещается горизонта средством ручки 14, вп ризоптальпая каретка 1 1 цис, по которым иерем каретка 17 с напраля ия 2 устройств со бя корпус 11 (фпг. 2) мами 1, по которы льпая каретка 3 О та 15 и гайки 16. Го 3 имеет направляю е 1 цястся вертпкальп 51 ощпмп призмаи И. скалкам 19 горцзоппсремещяется ползупок ухарем 22, взяпмоде 11 .1 пазом каретки 7 и альпое ее перемептеп 1 м. а 20 осуществляется по- винта 2 и гайки 25,аправляющив каретки 13 льцем 21 и с 1 С ИЯКЛОЦПЬ ощим вертик цецпе ползуц м ручки 23,Г 1 отальпой 20 с пя в 1 ющ 51) вызыва 1 Перемет средство в.еа, 30 УСТАНОВКА ДЛЯ СКРАЙЬИ 1 ОВА 11 ИЯ Г 1 ОЛУПРОВОДНН 1(ОВЬХКаретка 17 в верхней части имеет паз, в котором перемещается и фиксируется оптическое устройство совмещения 1.Установка работает следующим ооразом.Первопачальио настраивают двупольпос устройство совмещспия 1 И)иг. 1) опюситсльпо линии реза, для чего на вакуумном патроне 5 закрепляют пробную пластинку н проводят па пей резном липию, После этого персмсцают ручкой 28 (фг,2) ползуп 20,палец 21 которого, взаимодействуя с паклоппым пазом, перемещает каретку 17 с устройством совмещения 1 в вертикальном паправлсиии, те самым изображение пастраивают па резкость.Затем перемещают устройство совмещения 1 в верхнем пазу каретки 17 механизма перемещения 2 до тех пор, пока на экране пе появится изображение линии реза от двух об)ъсктпвов 8 и 9 (ф 1 г. 1), послечего устройство совмснцспия 1 фиксируют в пазу. Поворачиваю Олок 10 Объективов вокруг Оси поворота до совмещения изобракеии 1 линии реза о двух объекИвов 8 и 9 па эк 1)аие устройства совмещепия 1.После этого перемещают ручкой 14 (фиг, 2) каретку горизонтальных перемещений 13 до тех пор, пока совмещенное изображеиие линии реза пе совпадет с визирпой линией на экране устройства совмещения 1. После совпадения пробю ю пластинку спимают с Вакуу 1 Иого патропа 5 и за 1 срспля 1 от обрабатываемую,Механизмом ориентации 6 совмещаотместо реза с визириой линией на экране устройства совмещеиия 1, после чего включается автоматический цикл, производят д скрайбирование в одном направленииПоокончании вакуумный патрон 5 с пластинкой разворачивается иа 90. Производится линейное совмещение места рсза с визирной линией па экране устройства совмещения 1, и 10 цикл повторяется в другом направлении. Поокончании цикла пластинку снимают и подаот на операцию разламываиия,П редм ет изобретенияУстаювка для скрайбироваиия полупроВодиикОВых Властии, содер)кягцяя коордиияг ый стол с шаговым приводом, резец с ме хапизмом крепления, вакуумный патрон, мехяпизм Ориептяции ГОлу 11)ОВОдпикОВОЙ пластИы, двупольпое оптическое устройство совмещения полупроводниковой пластины с линией скраибирования и механизм перемеце," ния устройства совмещепия, состоящий издвух Взаимно псрпепдикулярпых кареток, отличпюЧаяся тем, что, с целью угрощеиия копструкции установки и улучшепия условий работы оператора, в одной из кареток вы.полнеп наклонпь 1 й паз, взаимодействующий 30 с пальцем ползупа другой каретки, причемобе каретки имеют привод от винтов, располо)кеппых па одной оси.Подписноеюв СССР Маяоярослааецкая городская типография Коллежского областио кпраячсння надатсльстя, полиграфиикнижнОЙ торгонулиЗаказ 667/4ЦИИИПИ Изд. ЛЪ 250 ос дарственного по делам из Москва, Ж.35, Тираж 780комитета Совета Мпнбретений и открытийРаушская наб., д, 4/5

Смотреть

Заявка

1710631

И. Фейгинов, Кононович, А. А. Ведерннкон Г. Зайдель

МПК / Метки

МПК: H01L 21/00

Метки: полупроводниковых, скрайбироваиия

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/4-406245-ustanovka-dlya-skrajjbirovaiiya-poluprovodnikovykh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Установка для скрайбироваиия полупроводниковых</a>

Похожие патенты