Касаткий

Номер патента: 338948

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Захаров, Зая, Касаткий, Фунтиков

МПК: H01L 21/00

Метки: фотошаблонов

...от привода 7. Над диском 2 установлен фотодатчик 8, связанный с управляющим устройством 9.При равномерном вращении диска 2 отверстие 10 диафрагмы 1 (практически имеющее форму квадрата - см. фиг, 3),перемещается скачками вдоль щели диафрагмы, пробегая ее за полный оборот диска. Оно проектируется через объектив б на заготовку фотошаблона т, который равномерно перемещается вместе со столом 4 перпендикулярно направлению движения изображения отверстия. За один оборот диска 2 стол 4 смещается на ширину этого изображения, и за один проход ,стола оно обегает всю поверхность заготовки фотошаблона 3. Информация об угловом положении диска 2, т. е. о,положении изображения отверстия 10 на заготовке фотошаблона, поступает с фотодатчика 8 в...