Иохель
Дозатор малых порций жидкости
Номер патента: 777443
Опубликовано: 07.11.1980
Авторы: Замбровский, Иохель, Элиосов
МПК: G01F 11/00
Метки: дозатор, жидкости, малых, порций
...10, а второе пле чо через упор 11, перемещающийся в,направляющей 12 и поворачивающийся,вокруг оси И, - подпружиненный рычаг 14 с капиллярным слив 1 ным каналом 15, перемещающимся в:направляющей 1 б. Плунжер Эо 8 и золотник 10 лритерты с минимальным3 777443, зазором по соответствующим отверстиям корпуса 1, в котором,ииеются полости Б и В, заполняемые дозируемой жидкостью, для исключения подсоса воздуха в систему вовремя работы дозатора.Регулировка величины,дозы жидкости или переход от одной дозы к другой производится изменением хода плунжера 8 с помощью регулятора, выполненного в виде упора,17,Дозатор работает следующим образом.Под действием сжатого воздуха, подаваемого в камеру, поршень 8 со штоком б, рычагом 7, закрепленным на...
:5сесоюэ-; ая
Номер патента: 377927
Опубликовано: 01.01.1973
Авторы: Грикуров, Замбровский, Иохель, Сергей, Щербаков
МПК: H01L 21/00
Метки: 5сесоюэ
...типа, В корпусдозатора вмонтирован поршень б, жестко свя= занный с рейкой 7, шаговое перемещение которых осущеспвляется посредством собачки 8, находящейся на рычаге 9 и прижимаемой к О рейке 7 пружиной 10, Для возврата рычага 9в,исходное положение предусмотрена пластинчатая пружина П, а для устранения зависания капли фоторезиста - собачка 12 с пружиной 13, которая поднимает рейку с порш нем до заклинивания зуба собачки междузубьев рейки. Фоторезистивный материал находится в емкости 14. В рычаге 9 установлен винт 15 для изменения дозы фоторезиста. Центрифуга 2 приводится в действие от О электродвигателя 1, который запускается посредством устройства 1 б форсирсэванного режима работы через микропереключатель 17.Устройство работает...