:5сесоюэ-; ая

О П И С А Н И Е 377927ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союэ Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства Ме 0,1,1970 ( 1404831 26-25 Кл. Н 011 7/ явл ием заявки И с п исоеди Приорите Комитет по делам иэобретеиий и открыти при Сечете Иннистрое СССРбликов 17 ЛЧ.1973, Бюллетень К. УДК 621.328,002.54(088,8 ата опубликования описан Х 1.1973 Авторыизобретени. П. Замбровский, А, П. Иохель, Б, С, Грикуров,и В. А, Щербаков Серг г явите НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИС СТРОЙСТВО Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов.Известно устройство для нанвсения фоторезиста на подложку, содержащее центрифугу, дозатор с поршнем и систему форсированного разгона центрифуги.Однако, при использовании известных устройств светочувствительный материал на этодложку перед центрифугированием наносят вручную. Поэтому доза материала и его консистенция каждый раз разная, так как различно время между нанесением дозы и началом центрифугирования, и, следовательно, светочувствительный материал имеет различную вязкость.Это снижает качество изготавливаемых приборов.Для улучшения качества покрытия за счет синхронизации выдачи дозы фоторезиста с включением центрифуги, а также устранения зависания капли фоторезиста в предлагаемом устройстве поршень дозатора фоторезиста закреплен на зубчатой рейке, связанной с двумя храповыми механизмами, причем собачка первого механизма закреплена на рычаге, второе плечо которого является включателем системы форсированного разгона центрифуги, а собачка второго храпового механизма обеспечивает рейке возвратное движение. На чертеже показано описываемое усгройство, которое включает в себя элекэродвигатель 1, центрифугу 2 с быстросъемными столиками 8 для укладки на них подложек 4 5 и дозатор 5 реечно-поршневого типа, В корпусдозатора вмонтирован поршень б, жестко свя= занный с рейкой 7, шаговое перемещение которых осущеспвляется посредством собачки 8, находящейся на рычаге 9 и прижимаемой к О рейке 7 пружиной 10, Для возврата рычага 9в,исходное положение предусмотрена пластинчатая пружина П, а для устранения зависания капли фоторезиста - собачка 12 с пружиной 13, которая поднимает рейку с порш нем до заклинивания зуба собачки междузубьев рейки. Фоторезистивный материал находится в емкости 14. В рычаге 9 установлен винт 15 для изменения дозы фоторезиста. Центрифуга 2 приводится в действие от О электродвигателя 1, который запускается посредством устройства 1 б форсирсэванного режима работы через микропереключатель 17.Устройство работает следующим образом,Собачка 12 отжимается и поднимает поршень 5 б, благодаря чему материал засасывается вемкость 14. После этого на столик 3 укладывают подложку 4, а собачку 8 посредством винта 15 устанавливают в положение, необходимое для выдачи определенной дозы мате- О риала, При нажатии на рычаг 9 собачка 8Те Шубина едакт каз 1841/12 Изд,1500 Тираж 780НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при СовеМосква, Ж-З 5, Раушская наб., д. 4/5 Поди испо инистров СССРипографив, пр. Сапунова перемещает рейку 7 на один или несколько зубьев, определяющих выдачу дозы фоторезиста перемещением поршня б вниз.При этом рычаг 9 нажимает также и на микропереключатель 17 и последний через устройство 1 б включает электродвигатель, приводя в действие центрифугу 2.Период времени между выдачей дозы материала на подложку и включением в действие центрифуги составляет доли секунды.Собачка 12 под действием пружины 13 поднимает рейку с поршнем до заклинивания зуба собачки между зубьев рейки, и зависшая капля фоторезиста втягивается благодаря этому внутрь емкости 14.Далее цикл повторяется и его идентичность обеспечена синхронностью работы всех механизмов устройства. Предмет изобретения Устройство для нанесения фоторезиста наподложку, содержащее, центрифугу, дозатор с поршнем, систему форсированного разгона центрифуги, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытия за счет синхронизации выдачи дозы фоторезиста с включением центрифуги, а также устранения завы сания капли фоторезиста, поршень дозаторазакреплен на зубчатой рейке, связанной с двумя храповыми механизмами, причем собачка первого механизма закреплена на рычаге, второе плечо которого является включателем си стемы форсированного разгона центрифуги,а собачка второго храпового механизма служит для возвратного движения пейки,