Устройство для групповой загрузки полупроводниковых кристаллов

Номер патента: 366516

Авторы: Адоньев, Петров, Сапрыкин

ZIP архив

Текст

ОП ИСАЙИ Е ИЗОБРЕТЕНИЯ 366516 Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт, св детельства М1669986/26-25 аявлено 07.Ю 1971присоединением за 1. Кл. Н 011 7/6 вкиПриоритетОпубликовано 16 1 Номитет по делам зобретений и открыти при Совете Министров СССРУДК 621.383(088.8 3. Б летеньДата опубликования описания 14,П 1.1973 Авторыизобретени Н, Петров, В. А. Адоньев и А. Н. Сапрыкин явител СТРОЙСТВО ДЛЯ ГРУППОВОЙ ЗАГРУЗК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ Изобретение касается полупроводникового машиностроения, в частности устройств для загрузки полупроводниковых кристаллов в кассеты.Известно устройство для групповой загрузки деталей в кассеты, содержащее узел подачи деталей в кассеты, выполненный в виде групповой вакуумной присоски. С вибролотка кристаллы попадают в виброшаблон, на поверхности которого есть углубления для кристаллов, затем кристаллы групповой вакуумной присоской загружают в кассету.Однако в этом устройстве невозможна ориентированная загрузка кристаллов, что очень важно для проведения последующих операций, Кристаллы, поступающие с вибролотка в виброшаблон, разориентируются, затем загружаются вакуумной присоской в кассету.Невозможно также вести производительную загрузку в кассеты с вертикальным накоплением, так как загрузка в них предполагает поштучную ориентацию и подачу кристаллов вакуумной присоской в каналы кассеты. Это снижает производительность загрузки.Целью изобретения является повышение производительности 1 устройства,и сохранение ориентации, кристаллов.Это достигается тем, что узел подачи кристаллов в кассеты выполнен в виде отсекателя ряда кристаллов, имеющего ступенчатый паз. Узел снабжен неподвижным ограничите.лем, образующим при смыкании с отсекателем канал, являющцйся направляющей для подающего кристаллы шибера.5 Для загрузки кристаллов в кассету с вертикальным наполнением,на позиции загрузки установлен подпружиненный упор и толкатсль вертикального перемещения.На чертеже изображено предложенное уст ройство.Устройство снабжено отсекателсм 1 со ступенчатым пазом и неподвижным ограничителем 2, образующим при смыкании с отсекателем канал, вдоль которого движется шцбер 15 8. На позиции загрузки установлена кассета 4с вертикальным накоплением кристаллов, Определенное положение кассеты поддерживается фиксатором 5. Кассета имеет зажцмные конусы о и 7, подпружиненный пружиной 8 20 упор 9 и толкатель 10, соединенный с приводом шибера 3, Отсекатель 1 установлен на валу 11, соединенном с приводами вращения и горизонтального перемещения.К ряду проскрайбцрованных и разделенных 25 кристаллов 12 подводят отсекатель 1 такимобразом, чтобы отделяемый ряд кристаллов был захвачен пазом отсекателя и отодвинут к неподвижному ограничителю 2, образующему с отсекателем 1 канал. Вдоль канала двц.30 жется шибер 3, направляющий кристаллы на.,к, Г х 2 Составитель Н. ОстровскаяТехред Т, Курилко Корректоры: Е, Давыдкинаи В Петрова Редактор Е. Кравцова Заказ 480/14 Изд. М 113 Тираж 780 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 45Типография, пр. Сапунова, 2 позицию загрузки в кассету 4. В первый момент загрузки в кассету 4 кристалл попадает на плоскость подпружиненного упора 9, который в последующие моменты загрузки опускается на расстояние, равное толщине кристалла, под действием толкателя 10,Таким образом, торец очередного загружаемого кристалла располагается заподлицо с плоскостью загруженного кристалла, После загрузки канала кассета поворачивается на один шаг и загружается следующий вертикальный канал. Устройство для групповой загрузки полупроводниковых кристаллов, содержащее стол, 5 узел подачи кристаллов на позицию и направляющую для кристаллов, отличающееся тем, что, с целью увеличения производительности и сохранения ориентации кристаллов, узел подачи кристаллов на позицию загрузки выпол нен в виде отсекателя ряда кристаллов и неподвижного ограничителя, образующих при смыкании канал, являющийся направляющей для подающего кристаллы шибера.

Смотреть

Заявка

1669986

Л. Н. Петров, В. А. Адоньев, А. Н. Сапрыкин

МПК / Метки

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, загрузки, кристаллов, полупроводниковых

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-366516-ustrojjstvo-dlya-gruppovojj-zagruzki-poluprovodnikovykh-kristallov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для групповой загрузки полупроводниковых кристаллов</a>

Похожие патенты