H01L 21/00 — Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей

Номер патента: 1018178

Опубликовано: 15.05.1983

Авторы: Каманин, Кормщиков, Сальников, Хлевнов

МПК: H01L 21/00

Метки: кассета

...схем в виде пазов 3.Ближе к торцовой стороне корпуса установлены запоры, выполненные в виде свободно посаженных в отверстия 50корпуса запорных П-обраэнх скоб 4,и упоров 5, выполненных так, чтоони препятствуют поднятию скоб 4 довертикального положения, В торцовойчасти корпуса выполнены скосы б, 55обеспечивающие свободное поднятиескобы до упоров 5 при загрузкевыгрузке ) микросхем в кассету, находя.щуюся в штабеле. На стенках корпусавыполнены отверстия 7 и штифты 8для обеспечения штабелирования кассет,Для обеспечения автоматическойзагрузки микросхем в кассету всепазы 3 располагаются параллельными рядами с необходимой точностью поразмерам, шагу и параллельности сторон пазов, кроме того, для облегчения загрузки на перемычках 9...

Номер патента: 1018179

Опубликовано: 15.05.1983

Авторы: Белов, Гавриков, Кононов, Махаев

МПК: H01L 21/00

Метки: сортировки

...с нижней полкой каждого из лотков для ИС, и толкатели,каждый из которых размещен напротиввходного отверстия каждого из лотковдля ИС, каждый толкатель выполнен 40 в виде планки, жестко соединеннойторцовой поверхностью с одним иэотсекателей, при этом одна из стенок транспортирующего канала образована иэ планок толкателей.45 На фиг, 1 иэображенО устройстводля сортировки ИС, общий вид; нафиг. 2 - сечение А-А на Фиг. 1.Устройство включает наклонноустановленный пенал 1 с изделиями(ИС)2 (в данном случае ИС, помещенными в спутник), пневмоцилиндр 3 инаклонный канал 4. Узел контактиро-.вания содержит приемник 5, ограничитель б,. контактный блок 7, связанный электрически с измерительным блоком 8, который осуществляет контрольпараметров ИС и...

Номер патента: 1023452

Опубликовано: 15.06.1983

Авторы: Горелик, Тузовский, Фомин, Шевченко, Юшков

МПК: H01L 21/00

Метки: кремниевых, механической, ориентированной

...обрабатываемую поверхность,П р и м е р . Согласно предлагаемому способу проводится шлифовка связанным абраэивом монокристаллическихкремниевых пластин с ориентацией поверхности 1100).Для кремния, имеющего кристаллическую. решетку типа алмаза, плоскостяминаилегчайшего скола (плоскостямиспайности )являются плоскости)Н) . Впластинах кремния с ориентацией 100)криоталлографическими направлениямиследов плоскостей спайности 1 Инаповерхности обрабатываемых пластинявляются направленияС 110 ф расположенные в двух взаимно перпендикулярных семействах.Поскольку в настоящее время навсех кремниевых пластинах обозначается направление следов плоскостейспайности в виде базового среза иливзаимно противоположных ориентационных меток для успешного...

Номер патента: 1023453

Опубликовано: 15.06.1983

Автор: Кузнецов

МПК: H01L 21/00

Метки: радиодеталей, разбраковки

...о . Захваты всех устройстввыгрузки в исходном положении всевместе образуют непрерывный. кольцевойканал для прохода радиодеталей потраектории их транспортирования черезвсе позиции выгрузки.Периодическое вращение транспортирующий диск 1 получает от приводного механизма, состоящего из электро"двигателя 46, редуктора 47, ременнойпередачи 48, передающей вращение распределительному валу 49 и далее транпортирующему диску через передачи:зубчатую повышающую 50 с передаточным числом 2, мальтийскую 51 и зубчатую понижающую 52 с передаточнымчислом, равным числу пар гнезд 2транспортирующего диска, деленномуна число пазов мальтийского крестапередачи 51.На распределительном валу (кромеРанее укаэанного кулачка 11) закреплены...

Номер патента: 1023454

Опубликовано: 15.06.1983

Авторы: Баранов, Вознесенский, Исаков

МПК: H01L 21/00

Метки: кассета, пластин, полупроводниковых, химической

...основание в 45 виде диска с гнездами для полупроводниковых пластин и ступицу, соосную диску, снабжена запорным кольцом, установленным на ступице, а гнезда для полупроводниковых пластин выпол иены в виде кольцевых канавок на шты 1рях, размещенных по периферии диска, и кольцевой канавки, выполненной на боковой поверхности запорного кольца.На Фиг. 1 изображен" предлагаемая кассета, .разрез; на фиг. 2 - то же, вид в плане.Кассета состоит из основания 1 в виде диска со ступицей, на которую насажено запорное кольцо 2 звездообразной формы, ряда штырей 3 и двух рядов опорных штырей 4, расположенных по концентрическим окружностям. Запорное кольцо 2 имеет возможность ограниченного поворота и фиксации в нужном по.ложении винтами 5....

Номер патента: 550882

Опубликовано: 23.06.1983

Авторы: Версоцкас, Кальвенас, Юзкевичене

МПК: G01R 31/26, H01L 21/00

Метки: горячих, носителей, полупроводнике, температуры, эффективной

...горячихносителей тока в полупроводнике обычно определяют по величине термоэдс, 5обусловленной градиентом концентрации носителей тока, который создаютпосредством лвгирования полупроводника, что является технологически слож, ным и трудно контролируемым процес Осом. В процессе измерения наряду сполезным сигналом обычно появляютсяи нежелательные ЭДС. Все это приводит к снижению точности измерений.В известном способе определения 15эффективной температуры горячих носителей тока в полупроводнике 1в части однородного образца с контактами, создаютэлектрическое поле,причем контакты находятся вне области электрического поля, освещают образец светом, в результате чего создается необходимый градиент концентрации носителей тока, приводящий...

Номер патента: 1029268

Опубликовано: 15.07.1983

Авторы: Агафонов, Муцкий

МПК: H01L 21/00

Метки: обработке, поддерживания

...выточка 18, с которой при крайнем левом положении штока 10 (во время от" вода) соединяется канал 12 в штоке. Канал 17 выполнен меньшим диаметром, чем канал 12, что уменьшает пневматический удар при действии сжатого воздуха на отрезанную пластину.Полость 19 гидроцилиндра 3 сообщается через трубопровод 20 с полостью рабочего хода силового цилиндра стола станка, а полость 21 - трубопроводом 22 с полостью обратного хода стола станка,На штоке 10 выполнен паз, в который своим гладким концом входит винт23 ограничивающий осевое перемещение штока 10 в расточке поршня 9.Корпус 1 установлен на верхнем столе станка в поперечных направляющих 24 и шарнирно связан с неподвижно закрепленной на станине станка направляющей линейкой 25 посредством...

Номер патента: 1029269

Опубликовано: 15.07.1983

Авторы: Афанасьев, Журавский, Лифлянд

МПК: H01L 21/00

Метки: ленты, перемещения, перфорированной, фиксации

...на каждой иэ которых смонтированы механизм 4 фиксации, датчик 5 наличия ленты и сварочные головки 6.Иеханизм 4 фиксации включает в себя верхний прижим 7 ленты (фиг.2), закрепленный на каретке вертикальных перемещений 8, кинематически связанной с кулачком 9 приводного механизма 10, ловитель 11, установленный наз 10292дополнительной каретке 12 горизонтальных перемещений, расположеннойперпендикулярно оси ленты, упругозамкнутой посредствомпружины 13 нарегулируемый упор 14, образующий механизм регулирования величины перемещений каретки, Горизонтальная каретка 12 закреплена на кронштейне 15,выполненном в виде Г-образного основания с консолью, контактирующей Ос одним плечом рычага 16 (вид 62,другое плечо которого несет бесконтактный...

Номер патента: 1037360

Опубликовано: 23.08.1983

Авторы: Гавриков, Еремеев, Золотарев, Кононов, Махаев

МПК: H01L 21/00

Метки: накопитель

...ширине наименьшего корпуса, а ширина выступа с соседним пазом и другим выступом в сумме равна ширине последующего типоразмера корпуса ДИП. Над направляющими 2 на четырех колонках 3 установлена крышка 4, образующая с выступами замкнутый канал для ИС 5, изменяющийся по высоте за счет того, что между основанием 1 и крышкой 4 установлены цилиндрические пружины б сжатия. Крышка удерживается на колонках с помощью гаек 7, Отпуская или заворачивая гайки, можно изменять зазор между крышкой и выступами направляющих в зависимости от высоты корпуса ИС. На выходе из направляющей напротив выступа каждой направляющей расположен подпружиненный стопор 8, установленный на оси 9.Пад каждым стопором установлены микровыключатели 10. В нижней части...

Номер патента: 1037361

Опубликовано: 23.08.1983

Авторы: Бычков, Сергеева, Страхов

МПК: H01L 21/00

Метки: бескорпусной, интегральной, микросхемы, тара-спутник

...бескорпусной интегральной микросхемы, соединенный с вакуумной системой, и размещенную под 4 ней металлическую пластину, и крышку с элементом ее фИксации, снабжена прижимным диэлектрическим винтом, торцовая поверхность которого имеет форму поверхности кристалла бескор" пусной интегральной схемы и который расположен в отверстии, выполненном в центре крышки, а в металлической пластине основания выполнен выступ, который расположен в сквозном пазу диэлектрической пластины основания..На фиг. 1 изображена тара-спутниц с размещенной. в ней бескорпусной. полупроводниковой интегральной микросхемой, вид сбоку; на фиг. 2- то же, вид сверху. 6Тара-спутник содержит основание, выполненное из диэлектрической пла" стины 1 и металлической пластины 2,...

Номер патента: 1046802

Опубликовано: 07.10.1983

Авторы: Лаврухин, Новоселова

МПК: H01L 21/00

Метки: пластин, полупроводниковых, тара

...оси ручки, а корпус снабжен кварцевой защитной подложкой, закрепленной в его донной части.На фиг. 1 изображена тара с открытой крышкой общий вид; на фиг.2 то же, с закрытой крышкой; на фиг.3,- разрез А-А на фиг,2 (ручка поднята на фиг,4 - узелна фиг.2 ( ручка в поднятом положении); на фиг.5 - то 55 же(ручка в опущенном положении 2.Тара для полупроводниковых пластинфиг. 1-3) состоит иэ корпуса 1 и 02 2крышки 2, изготовленных из листовой нержавеющей стали толщиной 0,4 мм и соединенных шарниром 3, С боков тары расположены подпружиненные крышки 4, которые удерживаются в закрытом или открытом положении пружинными меха-. низмами 5. Ручка 6 для переноса тары жестко связана с осью 7, имеющей вцентре фиксатор 8. Тара снабжена замком,...

Номер патента: 1053188

Опубликовано: 07.11.1983

Автор: Булахов

МПК: H01L 21/00

Метки: подложкой, совмещения, фотошаблона

...во для совмещения Фотошаблона с подложкой, преимущественно в установках для фотолитографии, содержащее шабло"нодержатель с микроманипулятором,стол для крепления подложки, установленный на перпендикулярных к егоплоскости штоках, и механизм подъемаи выравнивания стола, снабженныйпружиной, снабженО пальцами радиально размещенными на столе и шарнирносоединенными со штоками, каждый изкоторых установлен с возможностьюповорота вокруг оси.На чертеже показана кинематичес"кая схема предлагаемого устройства,Устройство состоит из каретки 1,установленной в шариковые направляющие 2. Вертикальный ход каретки 1ограничиваетсявинтами 3 и упором 4.Нижней плоскостью каретка 1 упирается в шток пневмокамеры 5, а силовоезамыкание осуществляется пружиной...

Номер патента: 1084916

Опубликовано: 07.04.1984

Авторы: Крупко, Ляхович, Рычаго, Хомич

МПК: H01L 21/00

Метки: загрузки, микросхем

...отсутствие возможности переориентацииприборов и выгрузки их иэ кассетзакрытыми с торцевых сторон.Наиболее близким к изобретениюпо технической сущности является устройство для транспортировки полупро-.водниковых приборов, содержащеенаклонную направляющую и размещенный под неймагнит 21. толкатель 6, с помощью которого осуществляется перемещение кассеты на шаг. Устройство имеет также захватывающий орган, выполненный в виде рычажного параллелограмма, который состоит иэ наклонной направляющей 7, имеющей паз 8 для изделий, и планки 9, на которой закреплен магнит 10, шарниры 11 и 12, соединяющие планку и направляющий лоток 13, в который выгружаются микросхемы.Рычажной параллелограмм устанелен на валу 14 с возможностью совершения колебательных...

Номер патента: 1095275

Опубликовано: 30.05.1984

Авторы: Гончаров, Деев, Сухоставец

МПК: H01L 21/00

Метки: кассеты, перегрузки, пластин, полупроводниковых, различным, размещения, шагом

...установ О лен упор 12 для удержания накопителя 1 в отклоненном положении и опора 13 для установки на нем кварцевой кассеты 14, На опоре 13 для кассет выполнен выступ 15 для Фиксации кассет 14 в ориентированном положении относительно накопителя 1. В каретке 5 выполнено окно 16 для опоры основания 8, а накопитель 1 установлен на каретке 5 над ее окном 16. Для фиксации каретки 5 в верхнем и нижнем положениях в направляющей 7 предназначен стопорный винт 17, Пазы 2 для полупроводниковых пластин накопителя 1 со стороны окна 16 каретки 5 выполнены глухими и ограничены упорами 18, выполненными из упругого материала для исключения повреждения полупроводниковых пластин 3. Механизм для распределения полупроводниковых пластин выполнен в...

Номер патента: 1100659

Опубликовано: 30.06.1984

Авторы: Байдалинов, Блях, Кирсанов

МПК: H01L 21/00

Метки: травления, химического

...реактора и пневмокраны 3 и 4 отвода 2реактива в слив и сборную емкость.С внутренним объемом камеры 1 нижеуровня залива реактива соединено температурное реле 5, пристыкованное кбоковой стенке камеры 1. Напротивдна камеры 1 расположен коллектор 6обдува, Штуцер 2, пневмокраны 3 н 4,реле 5, коллектор 6 имеют связи ссредствами автоматики. В тело съемной кассеты 7 герметично вмонтированы магниты 8, а ответные магниты 8расположены на приводе 9, изолированном глухим дном камеры 1. Зубчатыеколеса 10, установленные на кассете7, входят в зацепление с неподвижнымзубчатым венцом 11 и на кассете 7помещается съемный фиксатор 12 пластин в виде втулки с посадочным отверстием по центральному цилиндрическому выступу кассеты 7 и наружнымфланцем,...

Номер патента: 1115137

Опубликовано: 23.09.1984

Автор: Юсуф-Заде

МПК: H01L 21/00

Метки: нанесения, слоя, фоторезиста

...для фоторезиста, в днище котороговыполнено отверстие для подачи фоторезиста, элемент дозированной подачи фоторезиста, соединенный с одним концом подвижного штока, и предметный столик, установленный на роторе центрифуги 2.Недостатком известного устройства является то, что дозировка фоторезиста осуществляется по принципу работы шприцаи при этом количество фоторезиста, нано-симого на пластину, зависит от квалификации оператора. Нанесение фоторезиста вцентре пластины не обеспечивает его равномерное распределение при центрифугировании.Цель изобретения - улучшение эксплуатационных возможностей и повышение равномерности нанесения слоя фоторезиста.Поставленная цель достигается тем, чтов устройстве для нанесения слоя фоторезиста,...

Номер патента: 1119105

Опубликовано: 15.10.1984

Авторы: Лукашевич, Плешаков, Тереня, Шатохин

МПК: H01L 21/00

Метки: баллонов, кассета, колец, полупроводниковых, приборов, припоя, торцы, установки

...что в кассете для установки колец припоя на торцы баллонов полупроводниковых приборов, содержащей .корпус с гнездами для размещения баллонов и съемные основание и крышку с элементами Фиксации колец припоя, элементы Фиксации колец припоя выполнены в виде штырей с конической рабочей частью, установленных с возможностью продольного и радиального перемещения в отверстиях, выполненных в основании и крышке, причем основание снабжено пластиной, на которой закреплены своими концами штыри осно нация.На фиг, 1 изображена кассета н сборе с основанием и крышкой; на фиг.2 баллон полупровОдникового прибора с облуженными торцами; на Фиг, 3 - кас"55 сета в рабочем положении с загруженными баллонами и установленными на их торцах кольцами припоя (узел...

Номер патента: 1127029

Опубликовано: 30.11.1984

Авторы: Кононов, Миненков

МПК: H01L 21/00, H01L 21/98

Метки: выводами, магнитного, микросхем, преимущественно, распаковки, спутников-носителей

...рабочее положение.Устройство для распаковки из спутников-носителей микросхем, преимущественно с выводами из магнитного материала, содержит механизм подачи спутников-носителей 1 с микросхемами 2 с магазином-пеналом 3, в кото. ром уложены спутники-носители 1 с микросхемами, транспортирующим лотком 4 и толкателем 5 для поштучной подачи спутников-носителей из магази" на-пенала З.Механизм 6 съема крышек 7 спутников-носителей установлен под транспортирующим лотком 4 и выполнен в виде двуплечего рычага 8, шарнирно закрепленного на оси 9; закрепленной на транспортирующем лотке 4, крючка 10, шарнирно закрепленного на оси 11, установлен на цвуплечем рычаге 8, упора 12 и пружины 13, которая предназначена для силового замыкания крючка 10 со...

Номер патента: 1129672

Опубликовано: 15.12.1984

Авторы: Денисов, Смирнов

МПК: H01L 21/00

Метки: закрепления, планшайбе, пластин, полупроводниковых, центрифуги

...пластин, установленные на ползунах, размещенных свозможностью перемещения в плоскости планшайбы посредством ходовыхвинтов 2 .Недостаток данного устройствазаключается в ненадежном креплении пластин при вращении планшайбы,Цель - повышение надежности вработе,Поставленная цель достигаетсятем, что в устройстве для закрепления полупроводниковых пластин напланшайбе центрифуги, содержащемдержатели полупроводниковых пластин,установленные на полэунах, разме. щенных с возможностью перемещенияв плоскости планшайбы посредствомходовых винтов, держатели выполнены в виде Г-образных двуплечихрычагов, шарнирно закрепленных наползунах, призем центры массы ры чагов смещены относительно точки ихкрепления на нолзунах.На фиг, 1 изображено предлагаемое...

Номер патента: 1133628

Опубликовано: 07.01.1985

Авторы: Михалев, Ходосовцев

МПК: H01L 21/00, H03H 3/00

Метки: вибратора, кварцевого, монтажа, резонатора

...содержащем корпус, Фиксаторы кварпедержателя и вибратора, механизм прижима отводов вибратора к выводамкварцедержателя и механизм поворотакварцевого резонатора, Фиксатор кварцедержателя выполнен с гнездом и ограничителем с одной стороны и прижимом с другой стороны, выполненногов виде подвижной планки, причем рабочий конец планки выполнен в видеравностороннего треугольника, вершина которого расположена по центруфиксатора кварцедержателя, а фикса Отор вибратора выполнен в виде рамки с прижимом.Механизм поворота кварцевого резонатора выполнен в виде сектора с упорами.45На фиг. 1 изображено устройстводля монтажа вибратора кварцевогорезонатора, общий вид; на Фиг. 2 "вид А на фиг. 1(фиксаторы для вибратора и кварцедержателя); на фиг....

Номер патента: 1138861

Опубликовано: 07.02.1985

Автор: Штейн

МПК: H01L 21/00

Метки: кассетной, сборки

...этом ограничитель хода деталейустановлен со стороны нижних частейтрубок.Кроме того, ограничитель ходадеталей выполнен в виде отдельных длякаждой трубки заслонок, снабженныхиндивидуальным приводом,На чертеже приведена схема конструкции предлагаемого устройства.Устройство содержит магазин 1 сячейками 2 под загружаемые детали 3.Глубина ячеек магазина несколько больше длины деталей, а размеры ячейки недолжны допускать отклонения осейпопавших в нее дателей от вертикали более, чем на 20-25 во избежавние заклинивания,Одновременно каждая ячейка предназначена для размещения в ней нескольких десятков деталей, что позволяет использовать однажды заполнен1138861 зный магазин для загрузки, соответственно, нескольких десятков кассет.В нижней части...

Номер патента: 1145388

Опубликовано: 15.03.1985

Авторы: Воскресенский, Гостюхин, Трусов

МПК: H01L 21/00

Метки: активная, антенная, передающая, решетка, фазированная

...соединенных фазовращателя, усилителя и излучателя, при этомвходы фаэовращателей всех каналовподключены к Й выходам общего для .всех каналов равноамплитудного делителя мощности, а усилители каждогоканала подключены к общему источнику питания 121,Недостатком данной передающейАФАР является низкий КПД при повышении направленности за счет формирования неравномерного амплитудногораспределения по раскрыву АФАР, таккак оно создается за счет примененияв каждом канале аттенюаторов.Целью изобретения является увеличение КПД и повышение иаправленносПоставленная цель достигаетсятем, что в передающую АФАР, содержащую 11 каналов, каждый из которыхсостоит из последовательно соединен-.ных фазовращателя, усилителя и излучателя, при этом входы...

Номер патента: 1152053

Опубликовано: 23.04.1985

Автор: Мякинченко

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, загрузки, кассеты

...с угладо угла + к ролик 17 катится по упору и неподвижному копиру 13, рычаг 14, поворачиваясь вокруг оси крепления, опускает установленный на нем дополнительный трафарет 10 на основной трафарет 3.Далее, не останавливаясь, вибробункер 2 поворачивается до угла -М.Во время выстоя вибробункера 2 наэтом угле стеклотаблетки 18 из приемной полости 5 перемещаются по поверхности дополнительного трафарета 10над его загрузочными отверстиями. Часть деталей западает в загрузочные отверстия, остальные перемещаются в загрузочную полость 6 вибробункера, накапливаясь в ней.Благодаря тому, что толщина трафаретов 3 и 10 выполнена равной толщине стеклотаблетки 18, а концы вьводов введены в основной трафарет 3 на величину его толщины, запавшие в загрузочные...

Номер патента: 1162001

Опубликовано: 15.06.1985

Автор: Мякинченко

МПК: H01L 21/00, H01L 21/68

Метки: виде, загрузки, кассеты, преимущественно, стержней

...с рычагом 18, установленным на оси 19, закрепленной .на кронштейне 20 основания 12, соединен с кронштейном 21 бункера 1 полуосью 22, которая неподвижно закреп лена на рычаге 18. Такая установка бункера 1 на оси 11 качания и его соединение с виброприводом и механиз-. мом поворота обеспечивает возможность колебаний бункера .1 параллельно осно" 15 ванию 12 и качания его вокруг оси, параллельной направлению его колебаний.Отверстия 3 плиты магазина 2 выполнены продолговатой формы и расположены своей продольной осью симмет О рии перпендикулярно оси 11 качания бункера 1.На плите магазина 2 выполнены заходные поверхности, сообщающиеся с его отверстиями 3, выполненные в виде пазов 23 и 24, расположенных параллельно оси 11 качания бункера 1 и...

Номер патента: 1162002

Опубликовано: 15.06.1985

Автор: Сергеев

МПК: H01L 21/00

Метки: загрузки, кассеты

...соединенного с приводом вращения, кинематическое соединение механизма поступатель-но-вращательного перемещения бункерас приводом вращения выполнено в видепередачи с переменным передаточнымотношением.Кроме того, передача с переменнымпередаточным отношением кинематического соединения механизма поступательно-вращательного перемещениябункера с приводом вращения выполнена в виде пары некруглых зубчатыхколес, передаточное отношение которыхпеременно в пределах от 1/2 до 2.На чертеже схематичеСки показанопредлагаемое устройство для загрузкидеталей в кассеты, общий вид,Устройство для загрузки деталейв кассеты содержит механизм 1 поступательно-вращательного перемещения бункера 2, выполненный в видешарнирного параллелограмма, включающего...

Номер патента: 1167673

Опубликовано: 15.07.1985

Авторы: Бичев, Туркин, Ураевский, Шиллеров

МПК: H01L 21/00

Метки: пластин, полупроводниковых, укладки

...через патрубок 7 с системой подачи сжатого газа.Устройство работает следующим образом. В рабочую камеру 6 через патрубок 7 подают сжатый газ, который, проходя через отверстия-сопла 2, натягивает нити 3, придавая им определенную жесткость, зависящую от величины рабочего давления. Сверху в пространство, ограниченное внут. ренней стенкой 1 устройства, сбрасывается полупроводниковая пластина 8, края которой опираются на ленты 3, армирующие воздушные струи и в силу своей упругости амортизирующие улар при падении пластины, которая затем, преодолевая под действием своего веса жесткость симметрично расположен. пых в горизонтальной плоскости ряда лент, замедленно опускается плоскостью в нижнюю часть устройства без удара при соприкосновении с...

Номер патента: 1168635

Опубликовано: 23.07.1985

Авторы: Билоголовка, Волощук, Кустов, Мазуркевич, Пешехонова, Щербина

МПК: C30B 33/00, H01L 21/00

Метки: жидкофазной, кассета, поверхности, подложек

...10 в межоперационный период.На фиг. 1 изображена кассета для жидкофаэной обработки поверхности подложек, общий вид; на фиг. 2 - то же, вид сверху. 15Кассета состоит иэ корпуса, содержащего основание и фиксатор подложек, которые при помощи направляющей стойки 1, гайки 2 и шпилек 3 жестко соединены между собой. Осно ванне кассеты образовано тремя параллельно расположенными распределяющими трубками 4, которые посредством несущей трубки 5 соединены с направляющей стойкой 1. В последней имеет ся осевое отверстие для подачи газа, сообщающееся посредством несущей трубки 5 с полостью распределяющих трубок 4, в которых прорезаны попе,речные пазы для размещения подложек, 30 причем глубина пазов больше толщины стенок распределяюидх трубок, что...

Номер патента: 1170530

Опубликовано: 30.07.1985

Авторы: Панков, Потапов, Смирнов

МПК: H01L 21/00

Метки: герметизации, кассета, полупроводниковых, приборов

...за габариты полупроводникового прибора. На чертеже изображена кассета (фрагмент) с установленным в ее гнезде герметизируемым полупроводниковым прибором.Кассета содержит корпус 1 и прозрачную крышку-прижим 2. В корпусе 1 кассеты выполнены гнезда 3 в виде направляющих каналов для размещения полупроводниковых приборов 4, а в крышке-прижиме 2 выполнены гнезда 5 для размещения крышек 6 полупроводниковых приборов 4. Работа с кассетой осуществляется следующим образом. Полупроводниковые приборы 4 с установленными на них крышками 6 с припоем размещают в гнездах 3 корпуса 1 кассеты и прижимают крышкой-прижимом 2. При 5 этом крышки 6 полупроводниковых приборов 4 размещаются в гнездах 5 крышки-при, жима 2. Затем производят нагрев крышки 6...

Номер патента: 1190428

Опубликовано: 07.11.1985

Автор: Мякинченко

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, сборки

...+ Ыи - при загрузке и сборке деталей на трафарет 8 (фиксаторы для фиксации качающегося бункерав указанных положениях не показаны ) Виброплатформа 1 обеспечивает колебания качающегося бункера в направлении оси 2 качания с двумя различными частотами.Устройство работает следующим образом.В исходном положении качающегося бункера 3 он расположен под углом Фр заслонка 14 открыта, а заслонка 16 закрыта. В полость 11 для детдлей качающегося бункера 3 засыпают стержневые детали 7, а в полость 12 для деталей засыпают цилиндрические детали 10, Платформу 4 откидывают и устанавливают на нее кассету 5, после чего платформу 3 поднимают и фик3 1 90 сируют ее в месте с кассетой 5 под основанием качающегося бункера 3, при этом кассета 5 совмещается с...

Номер патента: 764548

Опубликовано: 23.01.1986

Авторы: Верстак, Загорельский, Рычага, Староверов

МПК: H01L 21/00

Метки: тара

...сортировки.,Цель изобретения - расширение.функциональных возможностей,Это достигается тем, что в тарепреимущественно для интегральных микросхем, содержащей стапелированныеи выполненные с возможностью фикса-.,ции кассеты, в каждой из которыхвыполнены гнезда для размещения микросхем, гнезда для размещения микросхем выполнены в виде направляющихП-образной формы с пазами междуними для размещения выводов, причем45каждая кассета снабжена размещеннымпо ее периметру буртиком, выполненнымсо скосом с внутренней стороны, иребрами, размещенными по ее краямсо стороны направляющих и параллель"50но им, выполненными со скосом с наружной стороны. На фиг. 1 показана тара; нафиг, 2 - стопка кассет; на фиг, Эсечение А-А на фиг, 2,Тара выполнена в виде...