Устройство для ультразвуковой панки кристаллов

393782 Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕ Н ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от Заявлено 26.Ч с присоединен авт. свидетельства11,1971 ( 1686144/26ием заявки-Ы. Кл. Н 011 7/6 сударстеенныи намитетавета Министраа СССРаа делам изабретеннси аткрытий итет К 621.382.2(088.8) Ч 1.1973. Бюллетень33 публикован ата опублик.1973 ания описания 0 Авторыизобретен А. ГГ, Рыдзевский ли Заявител УСТРОЙСТВО ДЛЯ УЛЬТРАЗВУКОКРИСТАЛЛОВ ПАЙКИ промьпользвой пниковИзв паики подач лами, кине ки, н ковойИзв ковои ами. ооретецие относится к микрозлектроццои шленности, Устройство может быть исовацо в оборудовании для ультразвукоацкц кристаллов при сборке полупроводых приборов ц интегральных микросхем. естцы устройсгва для ультразвуковой кристаллов, содержащие устройство для и корпусов изделий, кассеты с кристалмеханизм горизонтальных перемещений, агически связанные с приводом установ агреватель и устройство для ультразвупайки с одним инструментом,естно также устройство для ультразвупайки одновременно двумя ицструменПри сварке известными устроиствамц давледавление на кристаллы распространяется неравномерно, что привозит к скалыванию кристаллов. 20Цель изобретения - равномерное распределение давления ца кристаллы прц пайке двумя инструментами.Предлагаемое устройство содержит механизм дифференциал. ного цагруженця паяль ника в виде рамы с двумя профильными салазками и коромыслом. Коромысло закреплено на корпусе устройства и кицематически связано с приводным механизмом так, что одно из его плеч через 1 олкатель взаимодействует З 0 с салазками, а другое - с механизмом горизонтальных перемещений.Горизонтальная ось рамы расположена в плоскости оси симметрии паяльника перпендикулярно его оси качания.На фиг. 1 изображена кинематическая схема устройства, вертикальный разрез; ца фиг. 2 - общий вид устройства.Устройство содержит механизм горизонтальных перемещений 1 и механизм горизонтального нагруженця ультразвукового паяльника 2 в виде рамы 3, двух профильных салазок 4 на корпусе 5, ультразвукового паяльника и коромысла б с осью 7.Пружина 8 прижцмает коромысла к кулачку 9 привода 10. Одно плечо коромысла через толкатель 11 и ролики 12 взаимодействует с салазками 4, другое - через пяту 18 и рычаг 14 - с механизмом горизонтальных перемещеццй.Ультразвуковой паяльник 2 усгацовлен в корпусе 5 ца осях качания 15, закрепленных ца раме 3, которая через оси 1 б, расположенные в плоскости, проходящей через ось симметрии паяльника и перпендикулярно осям 15, связана с корпусом механизма дифференциального перемещения, расположенным на столе 17 механизма горизонтальных перемещений.От привода 10 через шестерни 18 д епередается валу 19. Под действием кулачка 9коромысло б, преодолевая усилие пружины 8,поворачивается вокруг оси 7. Так как плечикоромысла разной длины, опускание пяты 13происходит быстрее подъема толкателя 11; Таким образом, между вершиной пяты и рычагом 14 при подъеме инструментов 20 паяльника остается зазор Толкатель, поднимаясь,приближает ролики 12 к двум направляющимсалазкам 4, и зазор вьгбирается сначала между одним из роликов и соответствующей емусалазкой, затем - между другим роликом идругой салазкой. При этом паяльник 2 поворачивается вокруг осей 16 и 16. Инсгрументы 20также приподнимаются на заданное расстояние (до 5 мм) относительно поверхности ленты 21.После подъема инструментов рычаг 22, установленный на оси 23, поворачивается и черезпалец 24 поворачивает рычаг 26. Стол 17 перемещается в направляющих 26 механизма горизонтальных перемещений 1 до упора 27. Одновременно перемещаются установленная наоси 16 рама 3 и паяльник 2. При этом профильные салазки 4 прокатываются по роликам 12, а инструменты 20 устанавливаютсянад кассетой 28 с кристаллами 29, Рычаг 14перемещается вместе с корпусом 6 относитель.но пяты 13,Дальнейший поворот кулачка 9 обеспечивает опускание толкателя 11 и инструментов,Предварительное опускание инструментов определяется также профилем салазок 4.Сначала кристалла касается один из инструментов. Продолжающееся движение внизтолкателя 11 обеспечивает зазор между роликами 12 и салазками 4, Паяльник 2 разворачивается вокруг оси 16 до тех пор, пока другойинструмент 12 не коснется второго кристалла,расположенного в кассете 28. Давление накристаллы устанавливается положением груза 30.Затем через захват 31 и инструменты 20включается вакуум, а коромысло б от привода10 приподнимает толкатель 11, и инструментыс кристаллами поднимаются над кассетой 28,после чего от рычага 22 через палец 24 и рычаг 26 стол 17 перемещается до упора 32. Рычаг 14 оказывается над пятой 13, а инструменты с кристаллами - над лентой 21.От привода 10 и пружины 8 коромысло 6 поворачивается в обратном направлении. Толка- тель 11 перемещается вниз, а пята 13-вверх. Как только один из инструментов через расположенный в нем кристалл коснется ленты 21, паяльник разворачивается относительно оси 16 до соприкосновения с лентой друтого инструмента, Так как ось 16 расположена в плоскости, проходящей через ось симметрии паяльника, давление, передаваемое инструментами на кристаллы, одинаково. Дальнейший поворот коромысла б вызызает перемещение пяты 13 до тех пор, пока ее вершина не коснется рычага 14 чем обеспечивается передача инструментом дополнительного давления, вызванного усилием пружины 8.Инструментам во время пайки сообщаются колебания частотой 50 - 60. 10 егг, на ленту воздействуют нагреватели 33, а на инструменты - нагревательные спирали 34. Механизм дифференциального нагружения обеспечивает надежный контакт между кристаллами и плоскостью корпусов изделий. При этом создаются условия для равномерного распределения давления на кристаллы. 5 10 15 20 25 Предмет изобретения З 0 35 40 4550 Устройство для ультразвуковой пайки кристаллов, преимущественно при сборке полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, содержащее механизм транспортировки кристаллов, ультразвуковой паяльник с осью качания, усгановленный на механизме горизонтальных перемещений и кинематически связанный с приводным механизмом, и нагреватель, отлгяаго:.жегся тем, что, с целью равномерного распределения давления на кристаллы при пайке двумя инструментами, оно содержит механизм дифференциального нагружения паяльника в виде рамы, горизонтальная ось которой расположена в плоскости оси симметрии паяльника перпендикулярно его оси качания, с двумя профильными салазками и закрепленным на корпусе устройства коромыслом, кинематически связанным с приводным механизмом так, что одно из его плеч через толкатель взаимодействует с салазками, а другое взаимодействует с механизмом горизонтальных перемещений, 39372393782 Составитель М. Порфироваедактор Б. Федотов Техред Т. Курилко Корректор Л. Чурки Заказ 71 ЦНИИП Изд. Ыз 851 Тираж шого комитета Совета Министрови открытийМосква, Ж, Раушская наб., д 80 Подписное ССР по делам изобретений осударст 1 ипографня 24 Союзполиграфпрома, Москва, 121019, ул. Маркса - Энгельса, 14