Установка для герметизации полупроводниковых

Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельстваКл. Н 011 7/6 71 ( 163648926-25 аявлено 15 Л 11 с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 20.17.1973. Бюллетень20Дата опубликования описания 17 Х 1.1973 Комитет по делам обретений н открытий,382(088.8) овете Мннист СССР Автор зобретения Г. В. Калинин явитель УСТАНОВКА ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИ ПРИБОРОпосле герметизации, выгрузка отрезка с загерметизированными микросхемами, выбивание литника, чистка кассеты, загрузка нового отрезка, контроль и другие выполняемые в кассете и над кассетой технологические операции после прессования и полимеризации могут осуществляться на одной позиции ротора загрузки или на стороне.Однако известная установка имеет весьма 10 сложную конструкцию ротора загрузки, времяцикла которого последовательно входит в цикл установки, что уменьшает ее производительность; кроме того, выполнение технологических операций в кассете и над кассетой на 15 одной позиции ротора загрузки или на стороне не рационально, так как требует увеличения производственных площадей участка герметизации и дополнительных транспортных устройств.20 Цель изобретения - расширение технологических возможностей установки.Цель достигается тем, что предлагаемая установка для герметизации выполнена в виде замкнутой цепи кассет, выполняющей функции 25 конвейера, и замкнутой цепи блоков смыкания одинакового с цепью кассет шага. Кассе.ты установлены на основаниях, шарнирно связанных между собой. Блоки смыкания размещены на тележках, которые связанны между 30 собой шарнирно. При этом число звеньев цеИзобретение относится к установке для герметизации полупроводниковых приборов, преимущественно интегральных твердых схем, собранных на отрезках металлической ленты, в корпусы из термореактивной пластмассы методом литьевого прессования.Известна установка для этих целей включает прессформы, выполненные в виде двух блоков смыкания, один из которых имеет материальную камеру и прессующий плунжер, и выносную кассету в каждой прессформе с выполненными в ней формообразующими корпусы микросхем полостями и литниковой системой, а также пресс с гидроцилиндрами прессования и смыкания блоков. Блоки смыкания установлены на поворотном столе. Кассеты загружают в блоки при помощи ротора загрузки. Ротор загрузки имеет пазы, в которых размещены стянутые пружинками две пары рычагов захвата кассет, Поворот ротора загрузки для смены кассеты осуществляется от мальтийского механизма привода стола через промежуточный мальтийский механизм, разведение рычагов - от второго промежуточного мальтийского механизма.Загрузка, выгрузка кассеты и прессование производятся в данной установке на одной рабочей позиции прессформ, выдержка при требуемой температуре для полимеризации - на всех остальных позициях. Раскрытие кассеты ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ5 10 15 20 25 30 35 10 45 50 55 60 65 3пи кассет больше числа звеньев цепи блоков смыкания не менее, чем на количество технологических операций, выполняемых в кассетах после прессования и полимеризации. Цепи кассет и олоков смыкания размещены так, что они имеют участок совместного движения, на котором каждая кассета совмещена с соответствующим верхним и нижним блоками смыкания.Дополнительно для увеличения точности совмещение каждой кассеты с соответствующими блоками осуществляется зацеплением нижнего олока с роликами цепи кассет. При этом нижний блок смыкания имеет скосы по орме зуба звездочки, и цепь блоков смыкания обеспечивает привод цепи кассет.На фиг. 1 показана в плане вся установка; на фиг. 2 отдельно показаны тележки, в плане; на фиг. о - разрез по л - ч на фиг, 1; на сриг. 4 - вид по стрелке Ь на фиг. 1.гстановка содержит цепь выносных кассет (, цепь блоковсмыкания и пресс д. Каждая кассета 1 состоит из пары обкладоксо сквозными формообразующими полостями, литниковои оокладки 5 и крышки Ь с отверстием для фиксации таблетки прессматериала.Обкладки 4 и Ь и крышка Ь связаны между собой шарнирными петлями У. Кассеты 2 ус. тановлены (способ крепления не показан) на основаниях 8, которые связаны между сооои тягами 9 при помощи шарниров И (см, фиг. 3 и 4), Соосно шарнирам (О на каждом основании о установлены ролики 11.Каждый блок 2 смыкания состоит из верх него (2 и нижнего И блоков, связанных между сооои шарнирными петлями 14.йерхнии блок смыкания (см. фиг. 3 и 4) оснащен прессующим плунжером (Ь, материальнои камерон (Ь и кронштеином 1( с роликом Ы конце (см. фиг. 1). Йижнии блок смыкания оснащен упорами (9 и имеет скосы 20, выполненные в форме зуба звездочки. Скосы 20 взаимодеиствуют с роликами 11 при фиксации кассет. 1 по шагу относительно нижних блоков смыкания.Каждый блок смыкания закреплен (способ крепления не показан) на тележках 21.Каждая тележка 21 оснащена двумя роликами 22 (см. фиг. 3 и 4), соосно которым размещены две каретки 23 с возможностью вращения на своих осях, Каретки 23 имеют колеса 24. Тележки 21 установлены на замкнутом монорельсе 25 и соединены между собой шарнирными тягами 26. Монорельс 25 установлен на плите 27 и имеет отверстие 28 (см, фиг. 2). Цепь блоков смыкания охватывает две одинаковые звездочки 29 (на фиг. 1 и 2 условно показаны только их начальные диаметры, на фиг. 2 показан профиль зубьев звездочек 29).Цепь кассет 1 охватывает звездочку 30 и упоры 19 в нижних блоках 13. При этом каж" дая кассета 1, находящаяся в блоке смыка ния, охватывает своими роликами 11 скосы 20 нижнего блока 13. Пресс 3 состоит из верхней и нижней траверс 31 и 32 соответственно, связанных колонками 33.На верхней траверсе 31 расположены ци. линдр 34 прессования, цилиндр 35 раскрытия блоков 2 смьпсания и копир 3 ь для удержания блоков смыкания в раскрытом положении в зоне входа и выхода кассет 1.На нижней траверсе 32 расположен цили др 3 смыкания олоков смыкания, шток которого проходит в зазор между колесами кареток 23 и смыкает блоки 2 через отверстие 28 в монорельсе 25, Звездочки 29 взаимодействуют с роликами 22 тележек 21, а звездочка 30 - с роликами 11 кассет 1. Шаг звездочки 30 равен шагу звездочки 29 и все три звездочки имеют один начальный диаметр, Кассеты, находящиеся между звездочкой 30 и блоками смыкания, удерживаются от,провисания при помощи направляющих 38 (см, фиг. 2), которые установлены на плите 27.При вращении одной из звездочек 29 от привода с мальтийским механизмом (не пока. зан) приводится в движение цепь блоков смыкания, а вместе с ней и цепь кассет (, При высоте блоков смыкания и кассет производятся смыкание (закрытие) блоков смыкания одной позиции цилиндром Ы смыкания, шток которого прижимает его к верхнеи траверсе 31 пресса 3, и затем прессование цилиндром 34. Одновременно с прессованием производится раскрытие блока смыкания на другой позиции цилиндром 35.На позициях а, б, в, г, д цепи кассет, являющейся одновременно конвейером, производятся технологические операции в кассетах 1: раскрытие кассеты; выгрузка отрезка с загерметизированными микросхемами из обкладок 4; выбивание литника из литниковой обкладки 5 и крышки 6; чистка обкладок 4, 5, крышки 6 и основания 8; загрузка нового отрезка между парой обкладок 4; закрывание обкладок 4, 5, крышки 6 и другие, если это необходимо,В зоне ж - з входа и выхода кассет 1 в блоки смыкания последние удерживаются в раскрытом положении при помощи путевого неподвижного копира 36, с которым взаимодействуют ролики 13 верхних блоков смьпсания.Раскрытые блоки смыкания в зоне подвергают профилактике (чистке, осмотру и т. п.) без прекращения работы всей установки.Такая конструкция установки для герметизации полупроводниковых приборов позволяет все технологические операции, выполняемые в ней, разнести в пространстве и совместить во гремени. Разнесение всех технологических операций в пространстве обеспечивает возможность их автоматизации в одной установке, а совмещение во времени сокращает производственный цикл или увеличивает производи тельность установки, 379940Соединение в замкнутые цепи кассет и блоков смыкания позволяет сократить занимае. мую установкой площадь по сравнению с установкой той же производительности с расположением кассет и блоков по окружности, например, на поворотных столах.Предложенная конструкция позволяет без существенных переделок изменять количество блоков смыкания и кассет в установке, делает установку некритичной к применению для герметизации различных пластмасс с большим разбросом по технологическим характеристикам, в частности по времени полимериз акции.Такая конструкция позволяет также в каждом конкретном случае применения установки выбрать такое количество кассет, которое необходимо для выполнения того или другого технологического процесса после прессования и полимеризации,Предмет изобретенияУстановка для герметизации полупроводниковых,приборов, собранных на отпезке металлической ленты в корпусы из пластмассы методом литьевого прессования, включающая пресс с гидроцилиндрами и верхней и нижней траверсами, прессформы, выполненные в виде верхнего и нижнего блоков смыкания, 10 кассеты, отличающаяся тем, что, с цельюрасширения технологических возможностей, нижние блоки смыкания снабжены на торцах скосами, являющимися половиной профиля зуба звездочки для зацепления с шарни рами соединенных в цепи кассет, а верхниеблоки смыкания оснащены кронштейнами с роликами, взаимодействующими с установленным на верхней траверсе копиром для путевого раскрытия и закрытия блоков смы кания в зоне, выхода и входа кассет.379940 7 УЗ Ю 0Фиг.Составитель Н. Островскаяактор Э, Мельниченко Техред Г. Дворина Корректор С. Сатагулова Заказ 1990/16 Изд,1492 Тираж 780 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5пография, пр. Сапунова,