H01L 21/00 — Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей

Номер патента: 272991

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Бахтин, Боровлев, Кибл, Кондаков

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, загр, полупроводниковых, приборов, узки

...фиг. 1 изображен общий вид устройства; на фиг, 2 - поперечное сечение между отверстиями; на фиг. 3 - поперечное сечение по отверстиям. Устройство состоит цз корпуса 1, которыйявляется приставкой к вибропитателю, и подпружиненного зубчатого затвора 2, Корпус выполнен с продольными пазами 3 и направ ляющими 4 и 5. поичем направляющая 4 выступает над направляющей 5. Параллельно пазам 3 в направляющей 5 выполнены сквозные отверстия б, Будучи частично совмещены с пазами, они имеют проход, соединяющий их 10 с пазом.Ориентированные в пазах вибропитатслядетали 7 под действием вибрации перемещаются в пазах 3 по направляющим 4 ц 5. Так как направляющая 4 выше направляющей 5, 15 то детали движутся в наклонном состоянии ипод действием...

Номер патента: 273344

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Ведерников, Левашов, Троицкий

МПК: H01L 21/00

Метки: нанесения, покрытий, полуавтомат

...четыре кронштейна 9 с роликами для перемещения каретки по гори. зонтальным направляющим 10, два регулируемых кулачка 11, направляющие для установКИ И ПС)ЭСЪ 1 С 1 ЦСПИЯ ПО НИЗ 1 МСТЗЛЛ)дснПОН 1(ЭГО Гистолста 1/.разС 13 прикреплены пдпрзВ- л 5:)ощпс 10 и кулиса 14 с пазом под )эолнк по Вссй ее длине, з концах кулисы 14 закреплс. ны два кронштейна 15 с роликами и фиксдТор 16. ПОСЛЕДПИИ удсрЭКИВЗЕТ К с ЛИСЭ В ОП)ЭС- деленном горизонтально.; положсп,щ, ак как кулиса мест Возмоэкгость Врзцзтся Вокр) г Цент)зальпой ОСП, ПрИкреПЛСПП 011 К рд.С с 5,Палец 17 с роликом, жестко прикрепленный и СТЗЛЛ)эс)цОНПОУ ПСТОЛЕТУ, Води В ПЗЗ кулисы, чем обеспечивает движение пистолета перпендикулярно направлению двикения каретки,Металл;зациопный...

Номер патента: 281291

Опубликовано: 01.01.1970

МПК: H01L 21/00

Метки: 281291

...к устроиствам для тности термокомпрессии, изготовлении контактных пиковых приборов и плеМикроироволока, соприкасаясь с острыми кромками наладки при монтаже и заправке, обрывается, что является недостатком инстру мента.Предложенный инструмент отличается ог известного тем, что накладка выполнена из проволоки в виде петли, жестко связанной с иглой, расположенной над направляющим пазом и обращенной прогибом к контактной повсрхности. Проволочная петля поддерживает проволоку и центрирует ее на коротком участке, чтооблегчает заправку проволоки, исключаетзасорение паза и предупреждает поврежде 5 ние проволоки ввиду отсутствия острых кромок на накладке, а также устраняет дополнительную операцию по скруглению острыхкромок входного и выходного...

Номер патента: 285115

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Барышников, Дыгай, Фурманский

МПК: H01L 21/00

Метки: комплект, полупроводниковыхприборов, упаковочный

...одной из граней, а вкладыш имеет ту же форму с шахматным расположением на больших гранях гнезд, проекции которых на противоположные грани не совпадают с находящимися .на,них гнездами. Комплект снабжен двумя фиксирующими накладками с отверстиями. При такой конструкции комплекта вкладыш должен обладать повышенной жесткостью, а при вскрытии коробки должна быть, исключена, возможность повреждения приборов. Для этого вкладыш:вьрполнен из двух коробчатых частей, вставленных до упора отбортовки одной в противоположную грань другой, а линия стыка частей коробки проходит м ежду ряда ми гнезд. На фиг. 1,схехгатично изображен общений видупаковочного комплекта в разобранном положении; на фпг. 2 - вкладыш (вид сверху); на фиг. 3 - размещение...

Номер патента: 288157

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Ленинградское, Хамбур, Яковлев

МПК: H01L 21/00

Метки: держатель, крепления, полупроводниковыхприборов

...кольцевого выступа, и пружинящие лепестки, на концах которы выполнены буртики, В другой части гнезда, меньшего диаметра, с боковыми окнами для отвода тепла и отверстиями в дне для выводов полупроводника, имеется пространство между внутренним кольцевым выступом и дном гнезда, исключающее возможность перегиба и пайки выводных концов ближе допустимого расстояния от корпуса полупроводника, вместе с тем допуская произвольную рихтовку выводов за пределами держателя.Описываемое устройство позволяет также удобно и быстро заменять полупроводниковые приборы,На фиг, 1 изображен общий вид держателя; на фиг. 2 - вид в разрезе с прибором, вставленным в отверстие платы; на фиг, 3 - конфигурация отверстия в плате,Держатель выполнен прессованием...

Номер патента: 320229

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Глазков, Кузьмичев, Онегин, Рыдзевскик

МПК: H01L 21/00

Метки: 320229

...к контактным площадка ч кристалла.Установка включает в себя механизм 1 45 привода (фиг. 1), механизм 2 подачи ленты, микроманипулятор 3 с зажимными устройствами 4 и 5 для фиксации ленты и рабочим столиком б, газовую горелку 7 и механизм 8 ее привода, сварочную головку 9 с инструментами 50 10 и 11 для приварки проволочных выводов на кристалл, сварочную головку 12 с инструментами 13 и 14 для приварки проволочных выводов на траверсы, приспособление 15 длч отгибки проволочного вьюводавибратор 15, 55 механизм 17 и 18 для подтягивания проволоки к торцу инструментов 10 и 11 вспомогательны Вал 19 с командными кулачками 20.Микроманипулятор 3 содержит электромагнит 21 для манипуляции и пружины 22 для 60 отвода микроманипулятора в исходное...

Номер патента: 321880

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Калинин, Левушкин, Лобиков, Мишуков, Мишунич, Соловьева, Фюрст

МПК: H01L 21/00

Метки: герметизации, кассета, полупроводниковыхприборов

...и герметина отрезке мой кассе- формообранены в виодновременного ис сборочных операций ов, смонтированных й ленты, в предлага обкладках кассеты, усы приборов, выпол С цельюкассеты длязации приборметаллическоте полости взующие корп Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, в частности к конструкции кассеты, предназначенной для выполнения операций изготовления полупроводниковых приборов, преимущественно интегральных твердых схем, собираемьх на отрезке металлической ленты, с выполненными на нем внешними выводами приборов.Известны кассеты для герметизации полупроводниковых приборов пластмассой, содержащие две шарнирчо соединенные обкладки, предназначенные для выполнения операций сборки полупроводниковых приборов на...

Номер патента: 294199

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Быков, Гаркавик, Чигринский, Шейход

МПК: H01L 21/00

Метки: 1отг, бьл», вакуумный, пинцетпатгнтш

...к заборнику бункера, отрывается от иглы и через заборник поступает в бункер.20 Вакуумный тпшцет, содержащт конечник для захвата деталей,5 куумной полостью, бункер для с отличатошийся тем, что, с целью производительности и увеличения захвата, наконечник и бункер с куумной полостью незавпсимымп 0 золотником для последовательног ния вакуума с наконечника на бй полый насорпус с вабора деталей,повышениянадежностивязаны с ваканалами со переключснкер,1Пинцет предназначен для использования при производстве полупроводниковых приборов, может быть применен и в других областях техники, например в приборостроении,Известны различные вакуумные пинцеты для захвата и переноса полупроводниковых кристаллов при сборке полупроводниковых приборов, а также при...

Номер патента: 297090

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Волос, Кузьмичев, Онегин, Твердое

МПК: H01L 21/00

Метки: выводов, приваг»ки, проволочных

...закрепленного шарнирно на ползу- не 20, соединен другим плечом коромысла с двумя ведомыми пальцами 21 эксцентрика 22, который корректирует вывод на контактные площадки держателей 9, 10 сварочных инструментов, поворачиваемых вокруг осей 11, 12. Эксцентрик 22 через кронштейн 23 закреплен на плите 15, при перемещении которой сварочные инструменты отскакивают на шаг, равный расстоянию между контактными площадками кристалла. Держатели инструментов опираются на шток 24, соединенный рычагом 25 с распределительным кулачковым валом 8. Ползун 20 связан с валом 8 через шток 2 б.Для раздвигания держателей сварочных инструментов служит вилка 27, посаженная на ось 28, которая тягой 29 и рычагом 30 связана с валом 8. Для отгибки проволочного вывода на...

Номер патента: 300912

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Ануфриенко, Стременов, Шутилин

МПК: H01L 21/00

Метки: нанесения, пленок, полимерных, тонких

...наружным кольцом подшипника 11, Полость 12 соединена с системой сжатого воздуха через управляемый клапан 13 и стабилизатор давления 14.Нижний конецвакуумную камеру 1 ннпусе б, не касаяськамера имеет лабиринтные уплотнения и соединена трубопроводом с вакуумной системойчерез клапан 1 б, На верхнем конце шпинделярасположен столик 17 для установки подложки. Пружина 18 служит для прижима 5малоинерционного диска 7 к тормозному кольцу 19, укрепленному в корпусе б,Сцепление малоинерционного диска с маховичком может осуществляться также сообщенивм полости 12 с атмосферой и,соединением полости 20 с вакуумной системой черезклапан 21.Описа ихное устройство работает следующи,м образом,Подложка укладьивается на столик 17, открьввается клапан 1 б,...

Номер патента: 303678

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Голубовский, Лифл, Онегин, Салей

МПК: H01L 21/00

Метки: кристаллов, микросхем, подложкам, полупроводниковых, присоединения

...когорьх раз)сща)отс 5 и зякрсп 5)Отся в Опрс;с.П 01 Иоложснии подложки 5. Число сбо(очш(х гисзд раио числу позиций стола. Ня ;(сподиижпом Основании 6 расположспы .(сха- ПИЗМЬ ПОШТУ 11)ОЙ ИОДаИ И ИРИСОСДИПСНИ 5) К,) ИГгалс)ОВ Е ПОДЛ)ОЖКЯ, Ка)(ДЫП 3 К 1 ОРЬ(Х (; сдста 3 ляст сооой кс 1 рстк 3 7, псрс) сща)ощу 10- 51 1303 БРс 1 ТНО-ПОТУаТСЛЬНО и Рс 1 ДИЯ 1 Ы 10.,1 Пс)- ПряиЛС 13 И. Нс 3 Крои(ПТСЙПС 8 Кс 1 рСТКИ унрСПЛС- .Ы и ОПОраХ 9 Кас)СПИЯ ДВЕ рабОЧИС ГОЛОГКИ Иинструментами (1, осуцсствляющис захват ) рИСТс 3 ЛЛОВ, ПСрСИОС И.( и рябо)710 30 у И Ирнсосдипсппс к под,)ож)(ям. Псрссщспис карстки осуществлястся от привода 2. Г 1 одложки : агру)кяотся и соорочпыс гиездя из иякошпстя 1 э. Сьс)1 подложск с присос;псиными ериТаллс)1) И ОСМЩССТВЛ...

Номер патента: 303679

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Никулин, Северинов

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, полупроводниковых, приборов, сборки

...кол магнит, а на верхней плоскости положены эластичная прокладк щие штифты для установки ш стичной прокладке и в верхней вания соосно с гнездами кас возныс отверстия, сооощающиеся с откачиемой полостью основания.На чертеже изображено устройство для групповой сборки полупроводниковых приборов.Устройство содержит полое основание 1 со встроенным кольцевым электромагнитом 2 и с прокладкой 3 пз эластичного материала, шаблон 4, установленный на прокладке 3 и зафиксированньш от перемещения штифтами 5, кассеты 6 и 7 с подпружиненным шибером 8. Полость 9 основания соединена с вакуумной системой, В верхней стенке 10 основания и в эластичной прокладке 3 выполнены соосно с гнездами кассет 6 и 7 сквозные отверстия, сообщающиеся с вакуумной полостью...

Номер патента: 303680

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Нзобретен, Новиков, Тулинов, Тюл, Царекко

МПК: H01L 21/00

Метки: выполнения, комплект, операций, приспособлений, технологических, химико

...снабженного хвостовнком 4 с ориентирующей рабочую кассету концевой частью э н направляющими 6 для ориентации кассеты Л.Рабочая кассета 2 имеет выступ 7 для укладки пластин н посадочное отверстие д, Кассета 3 для межопсрационной транспортировки имеет углубления 9 для размещения пластнн 10 н направляющие отверстия 11. По профилю рабочей кассеты 2 в кассете 3 выполнены вырезы 12, при эток ежд профилем касссты 2 и вырезамн в кассете 3 предусмотрен рабочий зазор.Подготовленные к обработке пластины 10, размещенные в углублениях 9 кассеты 3, поступают на рабочее место. Кассета 3 опускается на рабочую кассету 2, размещенную на приспособлении 1 и ориентированную с помощью концевой части 5 н хвостовика 4. При опускании кассета 3 ориентируется...

Номер патента: 304879

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Арбит, Штейнберг

МПК: H01L 21/00

Метки: автоматическое, выдачи, заготовок, малой, плоских, поштучной, толщины

...8 с вакуумным присосом 9,15 Бункер, накопитель и фиксатор установлены таким образом, что цх рабочие элементыплотно прилегают к поверхности вращающегося диска. Параллельные планки 1 и б накопителя образуют канал ц смещены одна от 20 носцтельно другой.На выходе накопитель снабжен вакуумнымотсекателем в виде двух прцсосок 10 и 11.Планка 4 имеет скос, обеспечивающий отводкристаллов, не попавших в канал.25 Для поштучной выдачи деталей с определенным интервалом путем разделения последнцх в электростатическом поле вращающийся диск 1 выполнен цз электролцзующегося материала, а планки 2 и 3 бункера, за 30 крытые сверху степкой, установлены под угрректор Н. Аук Рсдактор Б. федотов Заказ 16213 Изд. ЬЪ 467 Тираж 780 ПодписноеЦНИИПИ...

Номер патента: 305524

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Аси, Тоомсоо

МПК: G01R 29/00, H01L 21/00

Метки: перехода, полупроводникового, прибора, температуры, электроннодырочного

...напряжения.Цель настоящего изобретения зв повышении точности измерения.Это достигается применениемтемпературно-чувствительного пара пературцой завцсимостц напряжения лавицообразовакня в обратном направлении.Предлагаемый способ осуществляется следующим образом, Через тцристор цлц вентиль5 пропускают в обратном направлении измерительный обратный ток определенной величиныц измеряют обратное напряжение на тиристоре цли вентиле.Температуру полупроводниковой структуры10 определяют по заранее известной температурной зависимости напряжения в лавинном пробое,Величина измерительного обратного токасоответствует режиму лавинного пробоя, но15 достаточно мала, чтобы не вызвала значительного дополнительного нагрева полупроводниковой...

Номер патента: 306427

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Баталов, Линник

МПК: G01R 29/00, H01L 21/00

Метки: активации, диффузии, пленок, тонких, энергии

...толщины. Зависимость коэффпцг числа и, продиффундир в скин-слой толщиной Л мени Л 1 выражается фор Энергия активизации диффузии Еляется из соотношения:Заказ 2030/4 Изд. Мо 858 Тираж 473 ПодписноеЦИИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская нгб., д. 4,5 Типография, пр. Сапунова, 2 Для определения энергии активации диффузии из исследуемого материала изготовляют образец в виде полого резонатора. Необходимую для измерений толщину скин-слоя, в которой диффундируют частицы газа, выбирают, варьируя геометрические размеры резонатора и величину частоты, на которой проводят измерения. После этого поддерживают неизменным давление исследуемых газов над напыляемой поверхностьо, изменяют...

Номер патента: 306513

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Антонцев, Белов, Вушкин, Занов, Лобиков, Мишуков, Трофимов, Фюрст

МПК: H01L 21/00

Метки: герметизации, полупроводниковыхприборов

...следуощцм образом.Оператор на позиции обслужцза;пя устанавливает на монтажный столик кассету с приборами, подлежащими герметцзацш. После этого рычаги 12 сводятся, захватываот кассеты на рабочей позиции пресса ц снимают их с фиксирующих штырей 29, Затем ротор 11 поворачивается на 180 ц переносит холодную кассету, установленную оператором, на рабочую позицшо пресса, а кассету с загерметизированными приборами - с рабочей позиции пресса на позицию оператора. Это обеспечивается устройством 10 для загрузки и выгрузки приборов.Устройство 10 и поворотный стол 2 1 рцводятся от общего двигателя, Кривошн; 3 мальтийского механизма привода стола, вра 10 15 20 25 30 35 40 45 50 ц 1151 сь, ново;)ячцВаст двухцеВОчны с)5 Вошцц 14, 1 оторый связан с...

Номер патента: 309416

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Бубнов, Лурье, Токарев

МПК: H01L 21/00

Метки: вакуул1ного, нанесения, пленок, полупроводниковых, соединений

...изобретения состоит в разработке устройства для нанесения в вакууме пленок полупроводниковых соединений, которое позволило бы получить пленки стехиометрического состава и структуры.Поставленная цель достигается тем, что в устройстве, содержащем замкнутую камеру, подложку и нагреватель, выбираются такие соотношения геометрических размеров камеры и температурных режимов, которые обеспечивают осаждение пленок из газодинамического потока в условиях малого пересыщения пара и интенсивного реиспаренич ма ас подложки и стенок камеры.Согласно теоретическому расчету и экспериментальной проверке, для полупроводниковых5 соединений групп АпВ" и Ап Б отношениедлины камеры к ее диаметру составляет 0,5 -1,5 при градиенте температуры вдоль...

Номер патента: 312549

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Кучин, Нижегородов, Шаповалов

МПК: H01L 21/00

Метки: 312549

...на пряжения, возникающие при разделке слитков. Он отличается тем, что отжиг кристаллов перед вплавлением проводят при температуре выше температуры вплавления, но ниже температуры активной термоконверсии для германия а-типа, в течение времени, которое превышает время вплавления в 5 - 6 раз, и со скоростью охлаждения не более 15 С/мин,.Способ осуществляется следующим образом.,Исходный слиток монокристаллического германия и-типа любым известным способом разрезают последовательно на пластины и кристаллы, после чего любым известным способом проводят химическую обработку поверхности кристаллов, например, травлением в НО+КОН, Кристаллы германия после обработки их,поверхности загружают в кассеты и помещают в водородную печь для...

Номер патента: 313245

Опубликовано: 01.01.1971

Автор: Подкидышев

МПК: H01L 21/00

Метки: гибки, скручивания, тонколистового

...из матрицы, котораявыполнена в виде двух регулируемых рычагов б и 7 и гибочного пуансона 8, Рычаг 6 служит прижимом заготовки и одновременно ЗО формирует профиль гибки вместе с рычагом37 при помощи гибочного пуансона 8, срабатывающего от рычага 9 и кулачка 10. Пуансон 11 для скручивания заготовки имеет на рабочем конце конусный паз для ориентирования детали в первом рабочем цикле и для скру чивания детали во втором,На концевой части пуансона 11 жестко посажено зубчатое колесо, связанное с зубчатой рейкой 12, которая приводится в движение от 10 кулачка 13. Для придания пуансону 11 возвратно-поступательного движения служат рычаг 14 и кулачок 15. Толкатель 1 б (фиг. 4) при помощи рычага 17 производит подъем и опускание регулируемого рычага...

Номер патента: 313246

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Блакитный, Камуз

МПК: H01L 21/00

Метки: горизонтальный, лотковый, магазин

...из нижнеголотка 1, верхнего неподвижного лотка 2, штифтового отсекателя 3, верхнего съемного лотка 4, источников освещения фотодатчиков 5 и 6, 5 фотодатчиков 7 и 8, фокусирующих сердечников 9, 10, 11 и 12, катушек электромагнитов 13, 14, 15 и 16, сердечников электромагнитов 17, 18, 19 и 20, направляющих 21 и 22, основания 23.10 Фокуспрующие сердечники 9, 10, 11, 12 нсердечники электромагнитов 17, 18, 19, 20 выполнены из ферромагнитного материала, остальные детали выполнены из диамагнитного материала.15 Магазин имеет 4 катушки электромагнитов.Практически, в зависимости от длины магазина и количества ампер-витков катушек, можег быть разное количество катушек электромагнитов.20 Катушки электромагнитов 13, 14, 15 и 16имеют разное. количество...

Номер патента: 314254

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Зеньков, Лифл, Муп, Онегин

МПК: H01L 21/00

Метки: кассета, кристаллов, полупроводниковых

...для а5 сборки.Цель изобретения - и иориентации кристаллов.Эта цель достигается тем, что плита с гнез.дами выполнена из основания с плоской ра 10 бочей поверхностью и рамки со сквознымигнездами, подвижной относительно основания, перемещение которой ограничено упорами; на двух взаимно перпендикулярных гранях рамки укреплены плоские пружины, под 15 жимающие рамку к граням основания.Благодаря этому кристалл базируется посвопм двум взаимно пересекающимся боковымграням, которые прижимаются к базовым боковым поверхностям гнезд, что значительно20 увеличивает точность ориентации кристаллов.На фиг. 1 и 2 изображена кассета; нафиг, 3 показаны гнезда с кристаллами до ихокончательной ориентации; на фиг. 4 - гнезда с кристаллами после их...

Номер патента: 314255

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Голубовский, Лифл, Онегин

МПК: H01L 21/00

Метки: fбиблг, всгсоюзная, пдтйт1п, у

...В результате повреждение деталей от механического воздействия отсекателя исключается.На фиг. 1 схематически показан вибробункер, вид сверху; на фиг. 2 представлены схемы поштучного отделения кристаллов.Предлагаемый вибробункер состоит из чаши 1 с винтовым лотком 2, в котором выполнено отверстие 3, соединенное со штуцером 4. Лоток 2 прерывается подвижным упором 5, имеющим возможность поворачиваться на оси 6. Возврат упора 5 в первоначальное положение осуществляется пружиной 7.На магистрали подвода вакуума к отверстию 3 расположен клапан включения вакуума, сблокированный с поворотом упора 5. Кристаллы насыпаются в чашу 1 и под действием вибрации поднимаются по винтовому лотку 2 до упора 5.Детали (кристаллы), занимающие у упора...

Номер патента: 317133

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Тать, Удовик

МПК: H01L 21/00

Метки: головка, зондовая

...совмещения может быть выполнена в том же процессе напыления и фотогравировки напыленного металла. Толщина металлических полос 2 составляет 10 - 20 лк,я. В случае изготовления металлических полос 2 вакуумным напылением (с учетом малых размеров корпуса зопдовой головки) толщина отдельных полос отличается не более чем на несколько десятых микрона,С поверхностью металлических полос 2 жестко скреплены зонды 3, имеющие форму пирамиды или конуса. Зонды могут быть изготовлены путем гальванического осаждения с предварительным покрытием поверхности корпуса 1 и металлических полос 2 слоем кварцевого стекла, в котором плавиковой кислотой вытравлены окна над металлическими полосами. В этом случае гальваническоеосаждение металла, например, вольфрама...

Номер патента: 326668

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Глазков, Крюк, Мальто, Точицкий, Федориненко

МПК: H01L 21/00

Метки: 1пдиптяо, g-•at, ylif—, ган, рпрофюзная

...оси не параллельны плоскости перемещения рабочего стола 3. Вертикальная составляющая этих перемещений вызывает деформацию среднеи части пластины 13, при этом не возникает горизонтальных смещений прикрепленного к ней рабочего стола 3. Пластина 13 передает горизонтальные перемещения рабочему столу 3 от столиков 9, 11 и осп 12 и компенсирует непараллельность их перемещений. Рабочий стол 3 передвигается по плоскости плиты 2, благодаря чему пластина б перемещается параллельно нижней плоскости фотошаблопа 7, прп этом сохраняется по326668 Составитель В. ГришинРедактор Т, ОрловскаяТехред 3. Тараненкокторьн Л. Николаева и В,Ко ет аж 448 ипография, пр, Сапунова, 2 стоянный зазор между полупроводниковой пластиной и фотошаблоном.На нижней...

Номер патента: 326669

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Аксенов, Клюев, Черн

МПК: H01L 21/00

Метки: совмещения, экспонирования

...опорой для размещения подложки 6, снабженного О манипулятором 7 с клиновой направляющей8 вертикального перемещения и клиповой направляющей 9 горизонтального перемещения подложки. Направляющие скреплены между собой пружиной 10.5 Привод перемещения клиновой направляющей 9 состоит из рычага 11 независимого перемещецпя, рычага 12, прижатого пружиной 13 к клиновой направляющей 9, и рычага 14 с электромагнитом 16, снабженным тумбле ром 16. Рычаг 14 может перемещаться от кулачка 17,Подложка 6 располагается на столе 6, афотошаблоц 4 закрепляется в корпусе 3, Затем рычаг 11 отводится, ц клиновая цаправ ляющая 9 перемещается в горизонтальнойплоскости прп помощи пружины 10, поднимая клиновую направляющую 8, которая прижимает подложку 6 к...

Номер патента: 327537

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Аристархов, Лутченков, Мельникова, Нов, Холстова, Шеходанов

МПК: H01L 21/00

Метки: микроманипулятор

...тем, что в предлагаемом манипуляторе двухкоордцнатный стол выполнен в виде плоской каретки с двумя взаимно перпендикулярными касающимися в центрах направляющими.На фиг. 1 показаны конструкция предлагаемого манипулятора в разрезе и сечецце по А - А; на фцг. 2 - сечение по Б - Б ца фцг. 1.Манипулятор содержит каретку 1 с фото- шаблоном 2, Для закрепления заготовки ) твердой схемы служит сферический поворотный стол 4, расположенньш на штоке 5. Шток смонтирован в гильзе б, жестко соединеннойс подвижной кареткой 7. Каретка установлена ца трех шариках 8 в сецарагорах 9 и перемещается в горизонтальной плоскости во взаимно перпендикулярных направлениях относительно плиты 10.Рабочие поверхности плиты 10 ц подвижной каретки 7 обработаны с высокой...

Номер патента: 328519

Опубликовано: 01.01.1972

МПК: H01L 21/00

Метки: 328519

Номер патента: 328520

Опубликовано: 01.01.1972

Автор: Коненков

МПК: H01L 21/00

Метки: трафарето, фотопотенциометроввсehbjiho

...устройства выполнен в видепрс)епаемого э.1 сктродвигателем стола с расположенными иа цем источником света, который формирует световое пятцо ца фото- слое потецццочетра, и режущим ицструмец- ЗО том с его приводом.Редакт евче рузова рек Заказ 706/17 ЦНИИПИ КомитетР 1 зд. Ме 186 Тираж 448о делам изобретений и открытий при Совет Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/Б Подппс шистров ССТипография, пр. Сапуно 3Элемент сопротивления изготавливаемого фотопотенциометра в зависимости от конструктивного варианта его исполнения может быть кинематически соединен или не соединен со шпинделем, несущим трафарет.На фиг, 1 представлена конструктивная схема устройства, предназначенного для изготовления трафаретов продольных фотопотенциометров; на фиг, 2 - то...

Номер патента: 329600

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Беликов, Головин, Жезлов, Самойлов

МПК: H01L 21/00

Метки: нанесения, покрытия, полуавтомат

...рейкамц 2 б вращая оси-шестерни 2 б. В исходное положение рычаг 19, ползун 21 ц ползун 23 возвращаются пружинами 27 и 22,Кулачок 9 через рычаг 28 ц палец 29 перс- дает движение ползуну 30 с закрепленными на нем подпружиненными собачками 31. Со бачке 31, перемещаясь о ко:1:рм 32, чсрс; ползу 30 и уори Й в:1:Г 33 .)е;)сд 1;,вце(с 1 с 11)СОецкс 34, коОрс)5),:)с ) .в)Г 5 с. ) РОЛПКЯХ А), СВОЕМЦ З, ОЬЯ.с: И СОООШЯСТ кение кассете 36 фсГ. 2) с:1:Едслц 5. 37ца;равляющих 38. Ползуц 50 1: Г;)сб)сх 54 ДВЕЖУС 5 В )1 ЛОСКИ:с; )1 Ц)1)ЛЯОЦ с, СОС 0- ших:.з шек 39 ц 40. В:Сходное );Олскс:):)с рычаг 28 возв;)ащастся црук:шой 41, Грсос- ка 34 1:рмкиой 42 отводится цазд :):):ж - мается к регул:)русмому упору 43,; 1:ружи - нами 44 посгояцо...