Установка для изготовления фотошаблонов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 141 Ч.1970 ( 1429170/26-25)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 15.Ч.1972, Бюллетень16Дата опубликования описания 16.Ч 1.1972 М. Кл. Н 011 7/68 Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРУДК 621,328(088.8) Авторыизобретения А. В. Фунтиков, В. И. Захаров и В. Г. Касаткин 1, аявитель ОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛО УСТАНОВКА На фиг. 1,вид сбоку и,мы; на фиг. тошаблона и Установка и расположе ванне загото ной на стол света 5 черема установки, узел диафрагзаготовке фо 25 2 представлена схесверху; на фиг. 3 -4 - полученное назображение,содержит щелевуюнный под ней дисквки фотошаблона 3е 4, осуществляетс3 объектив б. Диск диафрагму 12, Экспониро, расположеня источником 2 и стол 4,по Изобретение относится к технологии изготовления электронных приборов, в частности фотошаблонов микроэлектронных схем.Известны установки для изготовления фотошаблонов, содержащие неподвижную фото электрическую систему и перемещающийся относительно нее по координатам х и у стол с заготовками фотошаблонов.Недостатком таких установок является наличие механических элементов, движущихся 10 неравномерно во время формирования изображен,ия.С целью повышения, производительности и надежности установки для изготовления фотошаблонов изображение формируется на 15 равномерно движущейся заготовке фотошаблона с помощью составной диафрагмы, образуемой неподвижной щелевой диафрагмой и совмещаемыми с ней дуговыми диафрагмами на равномерно вращающемся диске. 20 лучают движение от привода 7. Над диском 2 установлен фотодатчик 8, связанный с управляющим устройством 9.При равномерном вращении диска 2 отверстие 10 диафрагмы 1 (практически имеющее форму квадрата - см. фиг, 3),перемещается скачками вдоль щели диафрагмы, пробегая ее за полный оборот диска. Оно проектируется через объектив б на заготовку фотошаблона т, который равномерно перемещается вместе со столом 4 перпендикулярно направлению движения изображения отверстия. За один оборот диска 2 стол 4 смещается на ширину этого изображения, и за один проход ,стола оно обегает всю поверхность заготовки фотошаблона 3. Информация об угловом положении диска 2, т. е. о,положении изображения отверстия 10 на заготовке фотошаблона, поступает с фотодатчика 8 в счетно-решающее управляющее устройство 9, которое ,включает, импульсный распределенный источник света 5 в соответствии с программой, экспонируя заданные участки (на фиг. 4 экспонированные участки заштрихованы). Размеры получаемого на заготовке фотошаблона изображения кратны размерам стороны,изображения отверстия. Угол между осью щелевой диафрагмы и направлением движения стола отличается от прямого на небольшую величину, компенсирующую непрямоуголь)итета по делам изобретений Москва, )К, Раупограф р. Сапунова, 2 ность фигур на фотошаблоне, возникающую из-за сложения движений, стола и изображения отверстия,Фотошаблоны, получаемые на такой установке, могут быть, например, размером 50 К 70 мм при кратности всех размеров 50 мк и точности 5 мк. Их можно использовать в качестве прямоугольных фотошаблонов больших интегральных схем. Время изготовления фотошаблона не зависит от его сложности и определяется практически только быстродействием источника света. При параметрах фотошаблона 50 р,70 мм оно может быть менее 20 мин. Предмет изобретения Установка для изготовления фотошаблоновпри производстве полупроводниковых прибо ров, содержащая стол с заготовкой фотошаб.чонадиск с дуговыми прорезями, привод, объектив, фотоэлектрическую систему, устройство программного управления имлульсным источником света, отлича)ощаяся тем, 10 что, с целью повышения производительностии надежности, в нее введено устройство лрограммного диафрагмирования, выполненное в виде неподвижной щелевой диафрагмы, совмещенной с дуговыми прорезями на диске. Тираж 448 Подписное открытий при Совете Министров СССР кап наб., д, 4/5
СмотретьЗаявка
1429170
ЗаЯ Внтель, А. В. Фунтиков, В. И. Захаров, В. Г. Касаткий
МПК / Метки
МПК: H01L 21/00
Метки: фотошаблонов
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-338948-ustanovka-dlya-izgotovleniya-fotoshablonov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Установка для изготовления фотошаблонов</a>
Приспособление к столику металлографического микроскопа или к бинокулярной лупе для измерения углов в отраженном свете и для рассматривания объектов с разных сторон
Номер патента: 40006
Опубликовано: 30.11.1934
Автор: Аршинов
МПК: G02B 21/26
Метки: бинокулярной, лупе, металлографического, микроскопа, объектов, отраженном, разных, рассматривания, свете, столику, сторон, углов
...а также для наблюдения насекомых, расте, ний и других биологических, минералогических, физических, химических и технологических объектов. В настоящее время рекомендуется для данных целей более сложный прибор, сконструированный по типу прибора Брегрера Страуманисом, описанный в Ле 11 зсЬгй Шг, 1 ес 1 ш 1 зс 1 ге РЬузй" 1931,11 а, стр. 577.На чертеже фиг, 1 изображает предлагаемое приспбсоблеиие без подставки;фиг. 2 - видоизмененное устройство приспособления с подставкой и с сферическим сегментом -,протракторщм и фиг. 3 - то же с подставкой в виде шаровой зоны, называемой изобретателем качалкой".Р /Приспособление ,состоит из полу. сфры 1, на экваториальной плоскостй которой сделано полусферическое углубление 2, В дно последн го ввинчен на...
Стол для группового лечения светом
Номер патента: 25638
Опубликовано: 31.03.1932
Автор: Беренштейн
МПК: A61N 5/06
Метки: группового, лечения, светом, стол
...детей предназначен для лучшего использования ультрафиолетовых лучей от кварцевой лампы,На фиг. 1 изображен вид стола сбоку; фиг. 2 - вид сверху.Стол состоит из расположенной на массивном подстольи многоугольной столешницы, разделенной по числу сторон на ряд треугольников, отграниченных один от другого по пограничным линйям снимающей решеткой для ограждения от падения грудных детей. Каждый из треугольников разделен на две части, - центральную большую и периферическую, при чем последняя отделена от соседних подобных ей частей небольшим промежутком, что дает возможность не класть детей вплотную друг к другу; она может быть опущена или приподнята, как изголовье, для чего имеется ву Б. М. Беренштейна,да (спр. о перв. М 8986 аиковано 31...
Статистический анализатор изображений
Номер патента: 1173427
Опубликовано: 15.08.1985
МПК: G06G 9/00
Метки: анализатор, изображений, статистический
...и прошедшие через отверстие диска 7 и транспаранта 6 наклонные лучи фокусируются линзой 5 в плос 5 10 ливается усилителем 16. Суммирование сигналов от радиально расположенных датчиков 14 позволяет усреднять возможные флуктуации и асимметрию автокорреляционной функции в различных направлениях и оценивать ее ширину, которая пропорци 55 ональна сигналу на выходе сумматора 15. кости 12 в различных точках, В результате в плоскости 12 формируется авто- корреляционная функция участка изображения, .выделенного отверстием диска 7. Мак симум функции автокорреляции, соответствующий нулевому сдвигу, находится всегда в центре (на оптической оси) независимо от положения отверстия диска 7.Удаление точек автокорреляционной функции от оптической оси...
Способ измерения функции передачи модуляции оптических систем
Номер патента: 1597653
Опубликовано: 07.10.1990
Автор: Сторожев
МПК: G01M 11/00
Метки: модуляции, оптических, передачи, систем, функции
...2 час, сть35каждье М иульссв П.вырабатывает одинимпульс П, т.,е. делит частоту вМ раз (на Фиг.2 показано в качествепримера деление в 4 раза). ИмпульсыП по длительности равны периоду40следования импульсов У, но сдвинутыотносительно них на половину периода.Полученный сигнал открывает аналоговый ключ 11, разрешаощий прохождениена измерительный прибор 13 каждого 45М-го импульса входного напряжения Б,.Напряжение на входе нзмериельнсгсприбора 13 предст вляйт собой входноенапряжение П, из каждьх М ичу- совкоторого исклсчеь груп;и из Мимпульсов. Зтс аналогично понижениюпространственной частоты тест-объекта в М раз.а(Образом может быть нрсведена градуирсвка на пониженных пространственньгх частотах. Посла градуировкианалоговый (лсч включгетсл...
Способ получения отверстий с фасками в толстолистовых заготовках
Номер патента: 1634351
Опубликовано: 15.03.1991
Авторы: Иголкин, Козий, Мануйлов
МПК: B21D 28/16, B21J 5/06
Метки: заготовках, отверстий, толстолистовых, фасками
...когда фаска принимает требуемые размеры, а кольцевая полость в матрице 2 заполнена обрабатываемым материалом (фиг.2).Далее, удалив иэ заготовки 1 пуансон 4, а также сняв прижим 3, производят фиксацию заготовки 1 прижимом 5 (принципиально возможно использование прижима 4) и в отверстии прижима 5 размещают цилиндрический пуансон 6 (фиг.З).4При воздействии усилием Р г на пуансон 6 реализуется процесс осевого пластического сжатия отделяемого материала с возможностью течения только в направлении оси симметрии, Создаваемое при этом радиальное давление обеспечивает высокое качество поверхности готового цилиндрического отверстия на всей его высоте, а также интенсивную пластическую прора 5 10 15 20 25 30 35 40 45 ботку обрабатываемого...
Предыдущий патент: Способ изготовления подложки для полупрозрачного фотокатода
Следующий патент: Гальванический элемент
Случайный патент: Ванная печь непрерывного действия