В птб

Союз Советских Социалистицеских РеспубликОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕ Н ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства ЪЪ Заявлено 20.Х,1971 ( 1707114/2 Г)с присоединением заявки МПриоритет -Опубликовано 05.Х 1.1973. 1 оллстень45Дата опубликования описания 21.11.1974 Л 1, Кл, 11 011/ 7/68 Государственный комитет Совета Министров СССР на делам изобретений н открытийУД 1( 021.382(08 Я.В) Лторы н.1 б 1 рстсиия р гВ. И. Лифлянд, С, 1 С Салей и А. П. Чехута Заявитель устгойстпо для тРАнспортировлиия подлож 1-;к 2 Недостатком известных устройств является жесткое базирование 1 юдлокек Относителыю транспортирующего устройства, перемещающего их от одной позиции к другой, которое обусловлено тем,что сборочные приспособления закреплены неподвико, а подложка зажимается н базируется но боковым граням, Поэтому для достижения необходимой точности автоматического монтака кристаллов требуется весьма высокая точность гаоаритнъх размеров подлокек, что услож. няст технологисеки 1 процесс нзготОвлеини Изобретение относится к технике производства полупроводниковых приборов и может быт 1. использоваю для автоматического монтажа бескорпусных приборов с жесткимн пяводани к подложкам микросхем.Известны устройства для транспортирования подложек от одной позиции к другой, применяемые в многопозиционных установках для присоединения полупроводниковых кристаллов к подлоккам, в которых на каждой позиции присоединяется один кристалл на определенЮе место подложки за один рабочий цикл.Эти устройства для транспортирования выполнены в виде поворотного многопозици. онного стола пли ленточного транспортера, несущего сборочные приспособления. идложск ( некоторых случаях собидимин точЮсть воооще нс может быть д 1 стигиут 1.Целью изобретсння является повышенноточности базирования подложек. Эта цсн,5 достигается тем, что сборочные присЮсблсния свободно установлены на устройстве для транспортирования н прижаты своими базовыми боковыми сторонами к трем эксцентрикам, да из которых, соединенных мс 1 ду с О бой тягой, контактируют с одюй боковойстороЮй сборочного приспособления, а однн - с другой. Эксцентрики каждого сборочЮг приспособления попеременно соединяются муфтой сцепления с неподвижно закреплсн ньм механизмом привода сборочных прнсн.собл сн н й.Такая конструкция устройства для транспортирования подложек позволяет осущсстлять базирование подложек но котактным 2(1 площадкам независимо от точности выполнения базнрующих поверхностс (бокях граней) подложки путем перемещения сборч.ньх приспособлений на одной нз Озицн 1.11 а последующих позициях базирование со храняется, и этим обеспечивается тоисг 1,автоматической сборки.11 а фиг. 1 изображено устройство длятранспортнровашя подложек, внд в плане; на фиг. 2 - узел Л; на фнг. 3 - разрез но 30 Б - Б па фнг, 1.УСГСти) ля т)яисиОрИровэци 5 иоч,О- жСК ЬЦО,ЦС 0 ЦДС ИОВОР)гйОГО МЦОГОИО- зцпцоинц.о стола 1, вращаощегося в юдшиипика.; 2 отиситслш о неподвижной оси ). ПоороИы стол иссет соорочиьс ириспособлс- ) иця 4, в которых закрепляются В заданном ио;10 ксиии иолложкц д. 1 сгн) соорочи 1 х ирисцосоо 1 еицй рйцо числм иозцццЙ стола.Сбор)чюс 1 рцспособлеиие представляет сооой корпус 6, установленный иа рабочей 1 О иоверхиости ИО 01)отиОГО стола 1. Кячя 10 цсся рычаги Т ц 8 обеспечивают ирцкцм иодлоккц 6 к базовым уюрам 9, 10 и 11. Усилие прцжи)яа передается от пружии 2 ц 1и рсГугиТ)устс 51 витами 14 и 1 д. 1 ьчлГ 1) 7 и 8 юлучяют движение от рычагов 16 и 17. ПрукИы 18 и 19 ирцжимают сборочиыс ирисцособлсция базовыми боковыми юверхиост 51 и к 10.Иицццкя , эксеи 1 ко 20, 21 иустаолсиых ия иоворотиом столе. Зкс 9 цеитрикц 21 ц 22 связаиы между собой рычагами 28 и 24 и тягой 26 так, что обя врацаются сцхровно, обеспечивая исрс.,сщсиие сб)ороого црСиособ сии 51 ио коордияте Х, экспетрик 20, вращаясь, Гсрсмещаст сбо- ) рочцое присюсоблсцце ио координате У. Зкс 1 ситрикц 20 и 2 1 ацяюс 51 От Олииаковых и 1)ивол)В, зякрсисииых иецолВижцо ия иозиипи, следующей непосредственно за загрузочпой. 30Привод состоит из полумуфты 26, посажеИой в корпус 27. Прц иереСисив вверх и)лумуфта 26 своей фрцкииоииой илоской иовсрхи)сть 0 сцепляется с юлумуфтой 28 эксСитрика 22. Полумуфта 26 вращается от 3) рычага 29, связанного с ирцволом (иа черте 1 е ис ИОксзя и ), а и с)сеияетс 51 Вверх 0элсктром а гцита 80 через рычаг 31., с. роЙст 0 для раис 10 рти)Овацияиск 1 аоотас с:едуОим Образок, 40 На изиии загрузки подложка 5 автооиератором иереиосится цз траисцортера в сборочюе ирцсиособлеиие и зажцмается В нем. Стол 1 иоворачивастся ца шаг.11 а следующей позиции подложка базируется ио ее тоюлогиц относительно исиод. В 1 жиОЙ к 001 дииятиОЙ сеКи И 1 оектора (ия чертежах цс иоказаио) перемещением соо. рочиого приспособления 4 относительно поворотного стола. Для этого полумуфты 28 вводятся в сцепление с цолумуфтамц 26, которье передают вращеице эксцецтрикам 22 ц 20. При вращении эксцентриков 2, 22 сборочное приспособление перемещается по координате Х, при вращении эксцентрика 20 - по координате У. Г 1 ри юследуюпих поворотах стола иа шаг подложка сохрацяст свое ю:н)жение, чем обеспечивается точиость автоматической сборки. Готовая микросхема сицмается автооператором ц ис. репосится иа разгрузочцый траисцо)тср.Предмет изобретенияУстройство для траиспортировацця иодлокск, содержащсе поворотный мцогопозиццоциый стол, несущий сборочные ириспособле ия, Отличаоиееся тем, что, с целью повышеция точюсти базирования подложек, сборочные ирисиособлеиия свободю устацовлеиы ца цоворотцом столе и прижаты своими боковымц базовыми стороиами к трем эксцеггрикам, два из которых, соедииециых мскл СОООЙ ягоЙ, кои яктир ют с ОдОЙ ковой стороюй сборочного приспособления, а третий - с другой, причем эксцентрики каждого сборочного приспособления попеременно связаны муфтами сцепления с цецодвико закрепленным механизмом привода сбо. рочцых црцспособлеиий.ПодппсноСР Ьалоярооланоикая городгкая тииогра 11)я Капуаского областного управления из,затсльсти, полиграфии и книжной торгоали Лвказ 667/15 Изд. ЛЪ 250 Ти 11 НИИПИ Государственного комитета Со по делам изобретений и о Москва, Ж, Раушская на