Устройство для групповой обработки полупроводниковых элементов

ZIP архив

Текст

ы. о л.ь .:. -,"; . Гт с у ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сооз Советских Социалистических Республик.Ч. Кл. Н 0117/68 Заявлено 23,11,1971 ( 1638867126-25) с присоединением заявки Ъс ПриоритетОпубликовано 23.т 1.1973. Бюллетень23Дата опубликования описания ЗОХ 111.1973 Комите по аепам изобретений и открытий при Совете МинистровЗаявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГРУППОВОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЭЛЕМЕНТОВИзобретение относится к области конструирования приспособлений для производства полупроводниковых приборов, в частности длягрупповой обработки полупроводниковых элементов.Известны кассеты для очистки полупроводниковых элементов от травителя и адсорбцроьанных примесей после операции травления.Однако онн не обеспечивают равномерного дос 1 Упа Реагента и каждомУ пол пРОводнц Овому элементу, находящемуся в кассете, и темсамым не позволяют получить одинаковойстепени очистки поверхности одновременнодля большого количества полупроводниковыхэлементов,Предлагаемое устройство отличается тем,что кассета выполнена в виде индивидуальныхячеек с кольцевыми экранами и кольцевымщелями, которые через систему каналов соединены с емкостью для обрабатывающей жидкости. Это обеспечивает равномерную очис гкуповерхности.1.1 а чертежике изображено предлагаемое устройство, разрез.В кассете 1 размещены полупроводниковыеэлементы 2. Очищающий реагент, напримервысокоомная депоннзованная вода, подается вкамеру 3, Из камеры 3 очищающий реагентнаправляется через отверстия 4 в полость 5 кассеты, а затем через направленные под углом кольцевые щели 6 непосредствеццо к полупроводниковому элементу 2.Над каждым полупроводниковым элеме;пом 5 благодаря внешнему экрану 7 в рабочей полости ячейки создается одинаковый уровень очищающего реагецта для всех ячеек. Таким образом, о 11 ннаю 1 ций реагент, попадая в камеру 3, ранимерно распределяется по поло сти 5 кассеты н цз нее равномерно подаетсяк полупроводниковых элементам, обеспечивая непрерывное и практически равномерное растворение примесей н нх унос одновременно и непосредственно от поверхности полупровод пикового элемента.Наряду с очисткой поверхности полупроводниковых элементов устройство может быть использовано н для электрОхимической ОбрабОтКН МНОП 1 Х ПОЛунрОВОдцИКОВЫХ ЭЛЕМЕ 1 ПОь.20 Выбрав в качестве очищающего реагента соответствующий электролит и изготовив экран 7 из металла, устройство позволяет осуществить одинаковую электроявПческую обработку одновременно мнопгх полупроводниковых эле ментов благодаря одинаковому для всех ячеескассеты потоку элетролнта н одинаковому расстоянию от поверхности металлического кольца до поверхности полупроводникового элемента в каждой ячейке кассеты,383124 Предмет изобретения Составитель Н, ОстровскаяТехред Т. Ускова Редактор Т. Фадеева Корректор Е. Михеева Заказ 23806 Изд.604 Тираж 780 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская паб., д. 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2 Устройство для групповой обработки полупроводниковых элементов, содержащее касету для размещения обрабатываемых элементов и емкость для обрабатывающей жидкости,отлачаощееся тем, что, с целью повышения равномерности очистки поверхности, кассета выполнена в виде индивидуальных ячеек с кольцевыми экранами и кольцевыми щелями, 5 которые через систему каналов соединены семкостью для обрабатывающей жидкости.

Смотреть

Заявка

1638867

И. Г. Учайкин, Л. Н. Крылов, В. М. Минаев, В. П. Сутько, А. В. Ничуразов, Ю. А. Астафьев, А. Н. Думаневич Завод Электровыпр митель

МПК / Метки

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, полупроводниковых, элементов

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-383124-ustrojjstvo-dlya-gruppovojj-obrabotki-poluprovodnikovykh-ehlementov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для групповой обработки полупроводниковых элементов</a>

Похожие патенты