329601

Союз Советских Сокиелистических РеспубликЗависимое от явт. свидетельстваМ. Кл. Н 011 7,68 Заявлено 26 Х.1970 ( 144248226-25) с присоединением заявкиПриоритетОпублцковао 09.11.1 Э 2. Бюллетень МДата опубликования описания 11.1 т.192 комитет по дедам изобретеиий я сгкретийори Сосете Ыииистрое СССАвторыизобретенон Ю. В. Голованов, Л. М. Кукушкин и Л. Е. Шевелев Заявитель РЕЗЦОВАЯ ГОЛОВКА СКРАЙБЕРНОГО СТАНКА Изобретение относится к оборудованию для полупроводникового производства.Известны скрайберные станки с резцовымц головками, предназначенцые для нанесения ри сок.Основным недостатком резцовых головок известных установок является то, что при скрайбировании возникает усилие давления резца на обрабатываемую пластину, действующее перпендикулярно к плоскости скрайбированця и приводящее к выкрашивани 1 о материала па обрабатываемой (скрайбируемой) поверхностц.Целью изобретения является повышение качества обработки полупроводниковых пластин.Для этого в предложенной резцовой голов- КЕ ПРУжтНа МЕХаНИЗМа ПРИжИМа ОД 1 ЦМ КОЦ- цом прикреплена к корпусу резцовой головки, другим - к резцсдерткателю, благодаря чему усилте нрцжгнмя леиствует в плоскости скрацбирования,На фиг. 1 показана предложенная резцоВая головка; т 1 а ф Г. 2, 3 - то же, Вариант, вид сбоку и сверху.Резец 1 жестко закреплен в резцелержателе 2, котсрый посредством шарнира т смонтцрова на корпусе 4 резцовой головки. К резцедержателю 2 жестко прикреплен ОЛИН кОнсц пруж 11 ны б, другой конец которой соединен с регулировочным вц;том б. Резец 1 производит скрайбцрование полупроводниковой пласт 1 шы 7. Направленце перемещения резцовой головки относительно обрабатываемой пластины показано стрел кой А, При скрайбцрованцц вози:кает силасопротивления резанию Рдействующая перпендикулярно режущей кромке резца. Во избежание отжима резца 1 от обрабатываемой поверхности полупроводниковой пластины 7 10 сила Р, уравновешивается силой Рз, создаваемой пружиной 5 (величина силы Р. устанавливается посредством регулцровочного винта б). Условие равновесия сил Р, ц Р определяется, исходя из равенства цх момстов от носительо шарп:1 ря 8: Р, а=Р,д,где а ц а - плечи сцл Р, ц Р отос:тельно шарнира. 20Используя метод параллельного перемещения сил, установим, что ня резец 1 действуот сила Р, и момент Рос (где с - плечо сцлы Р.относительно точки переноса), В свою оче рель, резец 1 воздействует на обрабатываемую полупроводниковую пластину 7 с силой п 11 ижимя Рприж равной по Величине силе Рз и имеющей противоположное направление: Рппяж - Р 2.30 Сила прижима Рр, действует в плоскостискрайбцрованця н 1 юэтому не вызьвает вы) К Р Я Ш13 с1 1и .с 1 . , )с 1, 1 с 1с,) и1 0с,.. , ) - верхност).Резец 1 не)03,)ОДЕ,ен сх) я 101 и).,сс).с креплен посредством стопс;)ев о в:штя, Б )езЦедержателе . Рс сЦ 1.редста 3)5 с Г ссбОЙ МЕТЯЛсЕЕСОНМО ОЕ:Рс)БК С 1;:Г:НД,ГСКМ Х ВО Сто ВКО 11, В и с Т 0 0 у 10 Б М 0 Е Т:10 03:., н 1;1 з 1 Я З, ИМЕЮЩЕШ НЕСКОГЕЬКО с;СЖУНЕНХ 1 ЯНР; )Ц - держатель 2 через шяр)ш;) .) Зякрснлс 1;корпусе 4 резцовой голозк Шерн:.р се)сто. из двух шар:коз 9: .Щджнм:ого Б:нТее О. Через рсзцсдержатель 2 )рохо,е:т:."и1, обеснечивающе 1 е поворот резцсдер)к:Оля вертикаль:Ой плоскост:. ) Ке)рнус ( .)хе)дн Бинт 12, предназначеннь:й для:сс)С,нс:.5: резцовой головки в вертекалы:он нл 001,00 Г ЕпрИ Е 11 стрОЙКС нс 1 Т;)СоуСму 10 Луонну сх)Яйбировееия). Резцовая: оловка;мсптирова:1:; ня ОснОВя н и и 15 ск;) ан берно ГО стя: кя.1 ЕЕхс НИЗМ ПРИ)КЕ)1 с РСЗЦс. ( 00)с 0 Я 1 Ь 1 Б ЯС- мой полу:роводн)ксвои нлеЕсгипе Бьп:олнен виде горизонталь:-Еой нружипь: е), од:ш коне: которой крепится к шт:фту 14, жестко смонтированном на резцсдержее;"с,с 2, и д;угой конец - к подБиже 10"; 1 Яйхе 1 э, нерез 1 сеца 10- йся по регулировочному Бинту 1). Зеет е)ЕЕЕТ ТОЛЬКО ВРЯЩЯТЕЛЬНОЕ ДБНЖСНС.сЙЕ(а.етеремещается в:азу корпуса:. :о на:,яв- ЛЯЮЩИМ ПРИ ВРЯЩСННЕ 1 ВИНТсРаоотаст резцовая голозке .лсл. 1)е;н) образом.РЕЗЦОВЯЯ ГОЛО 3 Ксз УСГЯ;1 с 113) .Е.СС 51 3 НЕ - правляющих ос:ования 13 ск;)ябсрпогс сгя 11- ка, а обрабатываемая хо.-.,рс 3 одн 1;.:, пласт:ена закрепляется па его Гол:кс.От ОСПОВя)1:я 13 зсзцозя 5 ГООБЕ(сс:Ол)1;се 30 зврятн 0.1:Остунятегы 10 е евее(сс с 1:с н. тельно полупрозе)д.ен(озо:.1 Ь.а, 1:н.,:,з;ом ПОЛ 7 ПРОБОДНЕКОБ 01;ЕлсСт:ПС 0 Г П).".НКСИНЕ:ОС,) НО О,1 11 НХЯ СЭСОЕЦЯЕТС 51 ДВИЖЕНИС .0 1.:1;1, .ЕЯ;) с 13 л:.1 с котОООГО соснДПХУ:1 ЯР О;1:3 ЕЕКС.:1 О РСЗЦ 0130 ГОЛОВКИ.рсзульта."1;, обрбатывясмую поверх нос ь холу.:рс)одннко ой нля тн:ы нано ятся3 О.н:пом 1 )сезес 3; я голо 1 ка нсремегцаетс 510 )НОСИ С; Ь 0 ОСНО:3 Е .Я) ДЛ 51 .)ОСС:1 СЧСН ИЯ т СОМС)ЕСН 1,".,О.НЬ екпс).ЕОЕЗОБЯН.51, БЕНЕХ)Х 30 .) рсзсЦ ) к)с;.н Г 51;3 )сзцедерекателе 2 так.мООРЯЗО)1, ЧТОСЫ ГС РЕЖУЩЯЯ Г,)Я 13 Ь СОЗНс 1 ДЯЛ 1ня.:)я лншем дви)кснЕя резцовой головки.н;том 1 резцеде)жатсль 2:сворачиваетсяцглыо СОВ.Ес:пения сГО зср Г:1 кагьной Осе гГОПКО: Со: 01 КОСНОВСНИЯ РСЗЦЯС ГОЛЧПРО.;0,1 ннковс 11:ласт:ной. 31:ПЕозе 6, персмсща:о- .11:мян.(3 1 Г) "Оз Еястся 1 рсоусмое 3 сиг 1 пс .:,) П)1(1 мя резца .1 к 1:олупроводн.коое. )лясгеПс: р. сс сиреб:Еров;.Пне. УснгИс н")е)К 1- "0 МсОДбЕРЯЮТ ТЯКИЕМ ООРЯЗОМ, ТООЕ Н)ЕДОГБ)ят 1:ть отж:м резцаОт полу ро.одниковой пластины нри скрайб:ровапии н обе;нечнть :иОСЕЕЕС Нд ПОЛ,Озо ,Н 1: КОБ) О;г ЯСЕНУСОК ЕД,Нс,(ОзЕ ,Л,0:1.Ы НО:300:1 ОЗС;)ХНО 01 Г;: сааб)",сн 51, . . е д м е т .1 3 с 0 р сс 11 я Рсзееое я Оловка скра 1 берного стан:(Я,30 Д.РЖс 1 ЕЯ 51 .3(ОР 1:УС, ПЯРНИР 1-:О ЗЯКРС:ЛСННЬ)Й329601 Риг,Х ставитель В. Гришинекред Т. Ускова Корректоры: Е, ДавыдкинаЕ 1 т веточкина Редактор Т. Орлов ипография, пр. Сапунова Заказ 853/15 Изд,219 Тираж ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прМосква, Ж, Раушская паб., д, 4 8 Подписное Совете Мшп 1 стюв СССР