H01L 21/00 — Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей

Номер патента: 526221

Опубликовано: 05.08.1978

Авторы: Банюлис, Шеркувене, Янушонис

МПК: H01L 21/00

Метки: структур, транзисторных

...пластины сструктурой для создания эмиттерв и контакта базы.Нв поверхности кремниевой пластины1 методом объемной фотолитографии формируют структуру 2 из неоднород;ого 4 Опримесного стекла, содержащего легируюший слой 3 с базовыми примесями, например боросиликатное стекло, нанесенное центрифугированием из легирующихкомпозиций, слой 4, экрвнируюший про- ,4тив окислительной,атмосферы при термическом окислении, например влюмосиликатное стекло, нанесенное реактивнымраспылением, и маскирующий слой 5, например слой двуокиси кремния, нанесенный высокочастотным распылением. Приформировании структуры всегда образуется клин 6 травления, который обусловливается изотропным травлением и зависитот соотношений скоростей травления слоев, 65от...

Номер патента: 286774

Опубликовано: 30.08.1978

Авторы: Авилов, Белоцерковский, Бенедиктов, Долгова, Ежов, Плаченов, Фогель

МПК: H01L 21/00

Метки: влагопглатитель

...баллонамн с влагопогло286774 Форлгу,га изобретения 25 35 Составитель М. СорокинаТехрел, О. Луговая Корректор А. ВласенкоТираж 960 Подписное11 НИИПИ Государственного кочитета Совета Министров СС .СССпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж.35. Раушская наб. л. 45Филиал ППГ 1 Патент, г. Ужгород, ул. Проекгная, 4 тгггслем, последнии поглоц 1 ает незначительное количество влаги и практицески полностью сохраняет свою первоначальную адсорбционную емкость.Возможность управления кинетикой адсорбции внутри прибора изменением соотношения компонентов позволяет использовать влагопоглотитель в приборах различного типа и размеров. В виде пленки влагопоглотитель занимает сравнительно с таблетками или консистентными смесями весьма малый...

Номер патента: 303925

Опубликовано: 30.08.1978

Авторы: Авилов, Белоцерковский, Бенедиктов, Долгова, Ежов, Плаченов, Фогель

МПК: H01L 21/00

Метки: влагопоглотителя

...сЭТ 1 О/1 1 10 исг .1 СТс) 1;)"Ь. Ь,ро 1 С ТОГО, .с)ГГ",;Н 3)СМ Ыц СиКОб 3:Г)З 35Яс) )Э) ЭОВс 1 Гьс(г)/. 3, 1)1, 3( Ц . )15Г ), ) Л Г) Г 1 Г ,1 Я т 35 , , 3: 3 . 3 с, 1( К3 ц Е Г 1 К и53, о)бц 1 аров волы Влд :ПИ Ггцтелем .б ",ос Гг)51 з(тора Оцрсл "5";"3 его осцовЦ 1":".с) 55 ТРЬ Ц СР)0 СГс);1 ПРЦ г З 10 ОБ,);ЦЦЦ5333(,С ггг" 3)Э)3 г С и 3. с(.Иовнс)ОКОгГ) И 0.3;(с) С ТОК)И РгС гг ВПС 3;)г":0 3 рьце;3:ярсява)ЭИТЕГЬНОЙг)С 0 ")Ь 3:;СО. 5 К а 1 СРЯЗМГОцСО. РЕГСНЕРЯ аД3;)ЦОВ С НаЦЕСЕЦЦОЙ В ЦЦК КОЧЦО 1 3;СД 51 с 30.Э ГГ 01 И ТС. и и ВЛ Я ЕТС 51 3 Д 1(,10 гИ 30,3 и)й Г пер;)ццсй тс);нологицеского процес 3.0)СГСГ)5 СТПЗЗПСИ црцбО)Э(ЭВ. ВОЗ. ЖНОС Ь цо 101 )ЭС НЕ)с 1 ПИИ Оа,1,)НОЬ С В а)31 ОГ,(ГИ 3 Е.3 ПОЗРОЛЯЕТ ИЭ:Ст НСОО.О И)А : ( 3 г.(,ив 1 С...

Номер патента: 635536

Опубликовано: 30.11.1978

Авторы: Гюнтер, Юрген

МПК: H01L 21/00

Метки: ориентации, пластин, полупроводниковых, спосб

...1;ОЛМПЭОВО:НИКОНЫ. ПО.;10 ЖКД.;, КОГО,)ЫЕ ООЛЯП 310 т 1 з 23,ичныъ 1 и пост 051 нными репе ток, например, при выращивании йаАВР цаС)ЯА или на 62 Р. При облучении лазер НЫ.1 ИСТОЧНИКО СВЕТЯ ВСЛЕДСТВИЕ ЛдфРЯК- ц)1.1 .Язе:10 го,)тчд пд этоЙ сетке:1 ислокапиЙ 30311 икаст л:111)рЯкпионное изобрджеиие 0 в фо.,е лвук псрпен.1 икулярно )псрекрс)ци635536 Способ ориентаци 11 полупроводнеиковь.хпластин, преимущественно с эпитаксиальным слоем, имеющим сетку, дислокаций, включающий облучение их поверхности, наблюдение картины отражения на экране 15 с пеэекэестьем и перемещение пластин досовмещения картины отражения с перекрестьем шкалы, о т л и ч а ю щ и й я тем, что, с целью упрощения процесса ориентации и уменьшения потерь полупроводнико ного...

Номер патента: 646385

Опубликовано: 05.02.1979

Авторы: Райнхард, Франк, Хельга

МПК: H01L 21/00

Метки: объектов, перемещения

...зажимов; б - при односторонном закреплении; иа фиг. 6 - варианты устройства при параллельном соединении 20 наборов упругих пластин: а - при двустороннем закреплении зажимов; б - при односторонном закреплении.Устройство для перемещениясодержит пьезоэлектрический энем643полнепцый в виде набора пл.стинок 1, зажимы 2, пружины 3, соединяющие зажимы скорпусом 4.Элемент 5 соединяет пластинки с перемегцаемым объектом. Два наружных электрода 6 и средний электрод 7 соединяютпьезоэлектрический элемент с токоподводом 8. При подаче электрического напряжения упругие пластинки пьезоэлектрическогоэлемента прогибаются в зависимости от. полярности вверх или вниз, причем возможноеперекашивание зажимов компенсируется упругим прогибом...

Номер патента: 646386

Опубликовано: 05.02.1979

Авторы: Мякинченко, Цой

МПК: H01L 21/00

Метки: загрузки, кассету

...с рабочим органом О,на котором выполнены каналыдля загрузки деталей. Рабочий орган О снабжен пру.жинами 2, электромагнитом 3 вибропривода, направляющими пальцами 4 и опор.ными пластинками 5.Устройство установлено на основании 16.Работает устройство следуюшим обра.пм,В нижнем положении платформыв пазы б2 11 одпненое ул Проектная, 4 опорно-направляющих лаги 2 вдвигают кассету 7. 1 латформу перемещают в сторону сближения с рабочим органом О, кассета 7 входит в контакт с направляю 1 цими пальцами 14, а упоры 9 - с опорными планками 15. При этом пружины 3 дополнительно сжимаются, и опорно-направляющие лапки 2 отходят от опорных винтов 4. Включают магниты 13 вибропривода. Рабочий орган О получает вибрацию, направление которой...

Номер патента: 646387

Опубликовано: 05.02.1979

Авторы: Вотинов, Мякинченко, Сачков, Штейн

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, загрузки, фланцем

...При этом выполненные в гнездах этого ряда опорные поверхности под фланец детали расположены в плоскости горизонтальной грани следующей ступени, а высота каждой ступени превышает высоту фланца летали.На фнг. 1 показан трафарет с ориентированными деталями, разрез; на фиг. 2 . - тр. фарет в изометрии.646.Э 7 Фиг, / ж г.г Составитель АТехред О. ЛупТираж 922 Каменнхнная Корректор ВПодписноеета СССРоткрытийя наб., д. 4/бул. Проектная, 4 Редактор Т. ОрловскаяЗаказ 122/42 уприяно ПНИИПИ Госудпо деламП ЗОЗгт, МоскваФилиал Г 1 ПП Пат рственного комит изобретений и Ж-З 5, Рауозска ент, г.,УжгородУстройство содержит трафарет 1, пред.ставляющий собой вибролоток со ступенями 2, на каждой из которых последовательно расположен ряд гнезд 3 для...

Номер патента: 646388

Опубликовано: 05.02.1979

Авторы: Вотинов, Мякинченко, Штейн

МПК: H01L 21/00

Метки: вибрационной, деталями, загрузки, кассет, стержневыми

...колебаний с механизма загрузки возможны заклинивания деталейЦель изобретения - повышение надежности процесса загрузки - достигается тем, что при вибрационной загрузке кассет стержневыми деталями, например выводами полупроводниковых приборов известным способом, включающим возбуждение рабочих колебаний на механизме нагрузки, посЛе возбуждения рабочих колебаний в течение 1 - 3 сек возбуждают колебания, амплитуда которых составляет 0,2 - 0,3 амплитуды рабочих колебаний.Загрузка деталей происходит при не. прерывном возбуждении в течение рабочего цикла рабочих колебаний амплитуды А. Иосле этого на механизме загрузки возбуждают колебания амплитуды А = (0,2 - 0,3) А в течение- 3 сек.Способ позволяет повысить надежность процесса загрузки...

Номер патента: 649065

Опубликовано: 25.02.1979

Авторы: Гриценко, Кашурников

МПК: H01L 21/00

Метки: микросхем, монтажа

...с верхними плечами Г-образных рычагов 19 и 44, установленных на диске 1 с воэможностью поворота относительно осей 29 и 42 (см.Фиг. 2),Нижние плечи рычагов 44 и 19 черезпальцы 22 и 40 входят в зацеплениес вилками 21 и 41 рычагов 23 и 36,закрепленных на плите 2 с возможностью поворота относительно осей 24и 38. Пружиной 25 (см. Фиг. 1) рычаг 23 прижимается к установленномуна валу управления 26 кулачку 27,управляющему горизонтальным перемещением сварочных инструментов 5.Аналогичным образом рычаг 36 соединяется с кулачком механизма верти"кального перемещения инструментов(на чертеже соединение не показано).Описанное соединение рычагов 23 и 36с рычагами 19 и 44 обеспечивает возможность перемещения диска 1 в плоскости плиты 2 по...

Номер патента: 661654

Опубликовано: 05.05.1979

Авторы: Полукаров, Шлифер, Штейн

МПК: H01L 21/00

Метки: виброзагрузки, кассеты

...направляющие отверстия 11 в верхней плите кассет. Ка загрузку кассеты подаются кассетоносителями 12 с рукояткой 13 и механизмом подъема, содержащим траверсу 14, перемещаемую. по направляющим колонкам 15 под действием,пружины 16 или тяги 17, взаимодействующей с кулачками распределительного вала (на чертеже не показан, На траверсе на осях 18 установлены план ки 19. В рабочем состоянии под тяжестью кассет, устанавливаемых на опорные лапки 20, планки занимают 1 горизонтальное положение.Опорные лапки соединены при помощи крепежных элементов 21, рези,новых амортизаторов 22 и планок 19 с траверсой 14, подпружиненной относйтельно станины 23. На "опорных 20 лапках 20 выполнены устуйы 24 для базирования кассет 9, которые для уменьшения шума...

Номер патента: 661655

Опубликовано: 05.05.1979

Авторы: Мякинченко, Огуз, Штейн

МПК: H01L 21/00

Метки: дозирования, кассета, стержневых

...выводов имеется склиз 16 и коробка 17, размещенная на основании 7.Работает устройство следующим образом.Стержневые выводы 3 загружаются в ячейки 2 корпуса любым известным способом, например, с применением вибраций до максимально возможного заполнения. Крышка 8 в данный момент отсутствует. Затем заполненный магазин закрепляется на поворотной стойке 4, которая в начальный момент находится в .откинутом положении(см.поэ.Б на Фиг.1, показано условно) . Поверх магазина устанавливается и фиксируется крышка 8, пазы 9 которой своими дозирующими кромками 11 с козырьками 13 образуют точные дозирующие объемы во всех ячейках (см,фиг.2и Фиг,3). Затем при подъеме вверх и наклоне вперед на 15-30 ф поворотной стройки 4 и ее фиксации и после включения...

Номер патента: 664243

Опубликовано: 25.05.1979

Авторы: Борецкий, Замбровский, Иванов, Семенов

МПК: H01L 21/00

Метки: выводов, групповой, контактным, контактных, монтажных, плат, площадкам, подгибки

...на фиг.3 " схематически дан вариант работы гребенок.15 устройство "содержит закрепленный на станине 1 корпус 2, в котором установен шарнирный четырехзвенник 3 с гибочным элементом 4,5соединенный с йриводным штоком б20 и стол 7 для размещения компонентов,причем гибочный элемент 4,5 выполнен в виде параллельных симметричных гребенок 8,9, которые установлены на рычагах 10, 11 шарнирногочетырехзвенника 3, причем зубья 12гребенок подпружинены пружинами 13,Зубья гребенок установлены на осях14( привода усилие Р передается ца шток 6, который воздействует на ,етырехзвеццик 3. При этом звенья цстырехзвеццика разворачиваютсявокруг осей. Нижние оычаги 10 и 11 поворачиваются вокруг общей оси, азубья 12, свободно установленные в 5каждом звене...

Номер патента: 669429

Опубликовано: 25.06.1979

Авторы: Иванов, Кормщиков, Огнев, Разживин, Сафронов, Фролов

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, загрузки, стержневых

...кромка совпадает с верхней плоскостью трафарета, а на нижней поверхности магазина выполнены трапецеидальные пазы, соосные отверстиям трафарета. Кроме того, 5дно каждой ячейки магазина выполнено 0- образной формы.разоваными симметричо сужающимися к отверстиям 7 поверхностями. На нижней поверхности магазиа 1 выполнены трапецеядальные пазы 8, а шибер 2 снабжен отверстиями 9, количество которых равно сумме отверстий 7 ячеек и отверстий 10 трафарета 3. Отверстия 10 трафарета снабжены ориентатором деталей в виде ножаПод трафаретом 3 размещена кассета 4, снабженная гнездами 12 для деталей3.Устройство работает следующим ооразом, Стержни 13 засыпают в магазин 1 и вклю о чают вибропривод 5. Под действием вибрации и формы ячеек 6 детали занимают...

Номер патента: 675486

Опубликовано: 25.07.1979

Автор: Штейн

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, загрузки, плоских

...горизонтальнойоси на угол 30 .Трафарет 1 представляет собой плас. 15тину с гнездами (отверстиями) 13, диаметр которых несколько больше диа"метра загружаемых деталей 14 (см. -Фиг, 2), а глубина гнезд выполняетсянесколько большей высоты деталей дляобеспечения попадания в гнездо трафарета не более одной детали.Устройство работает следующимобразом,Детали 14 засыпают в вибробункер,образованный площадкой 2, Г-образнойпланкой 5, и бортами 4 в количестве,в 3-5 раз превышающем количествоотверстий трафарета. Под трафарет 1угла загрузки, находящийся в горизонтальном положении, устанавливают 30две кассеты. Затем вибробункер нак"л няется вправо (см, фиг 3) наугл.Гдля первого пропуска детали и включается вибратор, Детали под действиемвибрации...

Номер патента: 702432

Опубликовано: 05.12.1979

Авторы: Комаров, Никулин, Поярков

МПК: H01L 21/00

Метки: перемещения, пластин, полупроводниковых

...1 1 Зили кратный етому расстоянию, вакуумныйноситель 3, совершающий возвратно-постунательное перемещение привода. Вакуумный носитель 3 выполнен в виде пологоФ20П-обравного вахвата с наклонными отверстиями на верхней плоскости, Рабочийстол 4 установлен на валу 5 в корпусе6. Вал 5 с помощью шестеренки 7 входит в вацепление с рейкой 8, установленГ3 7024ной неподвижно. Устройство также содержит эксцентрик 9, микроскоп 1 О,Устройство работает следующим ооразом.Вакуумный носитель 3 П-образнымзахватом заходит под выбранную пластину 2 кассеты 1, В это время в полостьвакуумного носителя 3 подают вакуум,удерживая пластину 2 на вакуумном носителе 3, который перемещают к рабочему столу 4. С помощью эксцентрика 9поднимают рабочий стол 4, при...

Номер патента: 712871

Опубликовано: 30.01.1980

Авторы: Переяслов, Юдин

МПК: H01L 21/00

Метки: загрузки, кассету, ориентированной, радиоэлементов

...кассет 14 для каждого направления полярности диодов заходят в промежутки между барабанами 2 и звездочками 7. Поворотом барабанов 8 заводят выводы диодов в первую пару клемм 15 кассеты 14. После этого кассету перемещают по направляющим. Вращаясь, барабаны 2 одновременно со звездочками 7 прп помощи сегментов 4 перегружают диоды из желобков13 во все клеммы кассеты,Формула изобретения5Устройство ориентированной загрузки радиоэлементов в кассету, преимущественнодиодов с акснальными выводами, содержаи;ес транспортно-загрузочный механизм вО виде накопителя с установленными на еговыходе барабаном с пазами и сегментами,охватывающими барабан с торцовых сторон, отличающееся тем, что, с цельюповышения прозводптельности работы, оно15 снабжено...

Номер патента: 712872

Опубликовано: 30.01.1980

Авторы: Кифорюк, Матков

МПК: B41F 17/16, H01L 21/00, H01L 21/77 ...

Метки: маркировки, торцев, цилиндрических

...лотке,Работает устройство следующим образом.Транзисторы 6 под собственным весом20 непрерывным потоком по лотку 7 подаютсяв зону маркирования, При этом транзистор,подошедший к маркировочному ролику 3,на который прп вращении наносятся отпечатки клише 2, захватывается дисками 4.25 Захваченные транзисторы, не выходя изтранспортирующего лотка 7, перемещаютсяпо нему на позицию маркирования. Маркировка на транзистор наносится при возникновении контакта между маркировочным30 роликом 3 и транзистором 6,712872 Формула изобретения Составитель Г. Падучи Редактор Грузова Техред А. Камышникова Корректор В. Дод Тираж 857 СССР по делам изобретен Раушская наб., д. 415Подписнои открытий ипография, пр, Сапунов В случае нарушения непрерывности потока...

Номер патента: 714548

Опубликовано: 05.02.1980

Авторы: Ошемков, Стеценко, Хоптянов

МПК: H01L 21/00

Метки: контактное

...находится в форме шарика 11 на конусной поверхности конического отверстия 6, переходного между отверстиями 4 и 5 разных диаметров.Прй поступательном движении транзистора в направлении, перпендикулярном плоскости расположения подвижных контактов 8 - 9 первым контактирует вывод транзистора, расположенный против высокого контакта 9, затем контактируют остальные выводы транзистора. Транзистор, перемещаясь в том же направлении, прогибает мембрану 7 контактами 8 - 9. Подвижный контакт своим толкателем 10 цилиндрической формы толкает шарик ртути 11. При этом часть ртути затекает в отверстие 5 и касается неподвижного контакта 2. Первым контактирует шарик ртути, принадлежащий высокому контакту 9. Неподвижные контакты служат для подсоединения...

Номер патента: 718872

Опубликовано: 29.02.1980

Авторы: Зак, Трасковский

МПК: H01L 21/00

Метки: грунтовой, загрузки, плоских

...полупроводниковых приборов, содержащее бункер и механизм загрузками деталей в видегрупповой вакуумной присоски, выполненной с возможностью перемещения в горизонтальной и вертикальной плоскостях,снабжено механизмом ориентации, выполненным в виде основания, покрытого мягким упрупим материалом, например пенополиуретаном, а групповая вакуумная присоска установлена с возможностью совер 25 шения вращательных движений и взаимодействия с поверхностью основания механизма ориентации,На чертеже дан общий вид устройствас разрезом для лучшего показа конструк7188723гУстройствосодержит груйпоЪтйгваку-, Ф о р м у л а и з о б р е т е н и яумную присоску, включающую трафарет 1Устройство для групповой загрузкиеталяи " ор 1 г чоских деталей...

Номер патента: 720573

Опубликовано: 05.03.1980

Авторы: Вотинов, Мякинченко, Цой, Чернушкин

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, загрузки

...изображены ви бробунк ер и пит атель с упругими захватами в положении, при котором осуществляется зажим деталей, находящихся в гнездах вибробункера; на Фиг.2 - питатель, в положении, при котором осуществляется перенос деталей на кассету; на фиг.3 - питатель в положении, при котором осущест - вляется укладка деталей в кассету. Б.М.Чякинченко,К,Г,Цой, В.С,Вотинов и Г.Е,ЧернушкинИИПИ Заказ ,0234/42 щираж 844 Подписно Филиал ППП лфтн Захваты . навешены в гнездах1 ланок 2 и 3 питателя. Планка 2 мс,е занимать относительно гланки 3трн различных положения без нару 1 Е:НЯ СООСПОСтИ ИХ ГНЕЗД,На захватах 1 установлены с во: -;.:О; в :;.ностью перемещения вдоль осейэа;.ватов ине.ционные массы в видевтулок 4,. В вибробункере 5 и...

Номер патента: 723695

Опубликовано: 25.03.1980

Авторы: Федак, Шарко

МПК: H01L 21/00

Метки: выводов, монтажу, подготовки, радиоэлементов

...с профилирующими поверхностями, установленных на упомянутых шкивах, 20На фиг. 1 изображен общий вид устройства; на фиг. 2 - транспортирующий механизм устройства; на фиг. 3 - механизм формовки выводов. Устройство содержит механизм загрузки в виде вибробункера 1, транспортирующий механизм, содержащий лоток 2, направляющую 3 и две бесконечные фрикционные ленты 4, натянутые на шкивах 5, механизм флюсования 6, механизм лужения 7 и механизм формовки, содержащий два профилирующих ролика 8 и 9, установленных на шкивах 5.Устройство работает следующим образом.Радиоэлементы из вибробункера 1, ориентированные выводами вниз, поступают в лоток 2, где захватываются лентами 4 и перемещаются вдоль лотка, проходя позиции флюсования, лужения и формовки....

Номер патента: 731495

Опубликовано: 30.04.1980

Автор: Староверов

МПК: H01L 21/00

Метки: ориентации, полупроводниковых, приборов

...обхватывающей часть ротора, расположенную в зоне ориентации, н перекры 15 вающей его пазы, причем расстояние между планками превышает половину суммыдиаметров прибора и его вывода.На фнг, 1 показано предлагаемое устройство для ориентации полупроводниковых20 приборов, общий внд; на фнг. 2 - сечениепо А - А на фнг. 1; на фиг. 3 - сечение поБ - Б на фиг. 1,Устройство содержит механизм перемещения приборов, выполненный в виде ро 25 тора 1 с пазами 2 для загрузки приборов,механизм поворота приборов, выполненныйв виде фрнкцпонной планки 3, закрепленной неподвижно с помощью держателя 4, нкронштейна 5 на основании 6 и служащей.2 Тираж 857 каз 762/1 О Поиск дписное ипография, пр. Сапунова,направляющей планки 7, установленной на...

Номер патента: 731496

Опубликовано: 30.04.1980

Автор: Бурханов

МПК: H01L 21/00

Метки: выводов, контактное, подключения, радиодеталей

...размещены дпэлект 5 рическое основание 2 с поворотной шайбой3 и контактные элементы, выполненные ввиде спиральных пружин 4 с изгибами наконцах, один из которых - радиальныйС-образный с акспал 1 ным окончангем 5,0 расположенный в пазу 6 корпуса 1, а второй радиальный 7 установлен с возможностью упругого перемещения в щелевых пазах в виде секторных щелей 8, пересекающих на разной высоте гнезда 9 для размс 5 щения выводов подключаемой радподсталп,Отверстия 10 снабжены щелевыми пазамп 11, выходящими радиально на наружную поверхность основания 2 по касательной к отверстиям 10,0 Секторные щели 8 имеют округлую вершину 12, направляющую радиальньш изгиб 7.Гнезда 9 расположены коаксиально в основании 2 относительно его оси с размера 5 ми,...

Номер патента: 731497

Опубликовано: 30.04.1980

Авторы: Мякинченко, Сачков

МПК: H01L 21/00

Метки: групповой, загрузки, радиодеталей

...- то же, вид Устройство для групповои загрузки деталей содержит вибробункер 1 с трафаретом 2, снабженным рядами основных гнезд 3 и дополнительных гнезд 4. Ряды гнезд разграничены перегородками 5. Дополнительные гнезда 4 выполнены в виде подвижных стержней 6, размещенных с возможностью перемещения в вертикальной плоскости. Конфигурация дополнительных гнезд 4 соответствует конфигурации основных гнезд 3.Устройство р тает следующим образом.В цикле загрузки стержни 6 находятся в верхнем положении, т. е, форма конфигурации гнезд 3 и 4 одинакова. Партия деталей 7 из вибробункера 1 под действием направленных колебаний перемещается в направлении стрелки А по поверхности трафарета 2, заполняя гнезда 3 и 4. Избыток деталей удаляется. В результате...

Номер патента: 744788

Опубликовано: 30.06.1980

Авторы: Афанасьев, Барташевич, Власенко

МПК: H01L 21/00

Метки: манипулятор

...соответственно опорной направляющей и ведомой каретки;а, в - длины плеч рукоятки управления.По окончании процесса совмещения кон-тактной рамки с кристаллом относительно инструмента 17 включается устройство 4 фиксацииопорной направляющей, которое зф закрепляет опорные направляющие 2 на неподвижном основании 1. Если необходимо производить при совмещении объектов коррекцию по углу, то включают устройство 16 фиксации редуцируюшего устройства, закрепляющее тяги 11 и 12 между собой и д устройство 9 фиксации поворотного шарнира, которое фиксирует поворотный шарнир 8 на основании 1. Затем, отключив устройство 4 фиксации опорной направляющей и На чертеже показана схема манипулятора для совмещения двух объектов относительно третьего по Х, У и...

Номер патента: 746775

Опубликовано: 05.07.1980

Авторы: Игнатов, Сосновских

МПК: H01L 21/00

Метки: вибробункер, ориентации, полупроводниковых, приборов

...р рующего элемента 4. выступами ориентирующего элемента приНаиболее характерные положения при- движении не соприкасается, боров: В положении Х вывод "дприбора приВывод дф находится ближе осталь перемещении соприкасается с выступом 7 ных к ориентирующему элементу. ориентирующего элемента, который разво, Вывод брасположен ближе дру- рачивает прибор вокруг своей оси в эадангих к ориентирующему элементу. ное ориентированное положение.6 Вывод грасположен ближе других 10 В положении Й вывод 8 прибора сопк ориентирующему элементу.рщасается с выступом ориентирующегоды о= и г расположены па- элемента, но до ориентированного положе раллельно ориентирующему элементу. ния прибор не доворачивается, попадаетйР. Выводы Р и 8 параллельны на копир 8,...

Номер патента: 748580

Опубликовано: 15.07.1980

Авторы: Жеребцов, Лапин

МПК: H01L 21/00

Метки: кассет, кремниевых, перегрузки, пластин, транспортирующих

...сверху лодочки, снимается. За 1 Юной лодочки из однорядного устройства для груженную пластинами ло перегрузки; на фиг. 5 - планка, . в диффузионную печь для произведенияУстройство состоит из корпуса, состав-. диффузионных процессов. ленного из соединенных между собой эле- После окончанияон ания химических, литограментов (блоков) 1,-имеющих пазы 2 для фических, диффузионных операций произ- полупроводниковых пластин. Причем в бло- водится обратная пер р ках выполнены штифты 3 и отверстия 4 ц спортную двухрядную тару. Описанный продля соединенных блоков между собой, Сред- цесс перегрузки повторяют в обратном поства для изменения шага между пластинами рядке.выполнены в виде накладных планок 5 в, Транспортная и опера н набореотличающиеся...

Номер патента: 750614

Опубликовано: 23.07.1980

Авторы: Детлеф, Дитер, Петер, Хельмут

МПК: H01L 21/00

Метки: контактному, подготовки, экспонированию

...чаши 9. Концентрично прижимному столу 1 размещено наружное кольцо 10, которое может перемещаться вдоль общей симметрической оси относительно прижимного стола 1. Общая поверхность соприкосновения 11, выполняющая функцию направляющей, расположена ступенчато, так что прижимной стол 1принимает форму гриба, а наружное кольцо 10 - форму чаши. Полость 12, образованная поверхностями стола 1 и наружного кольца, соединена с системой откачкипосредством канала 13. Канал 14 соединенс откачной системой.Принцип действия и технологические операции заключаются в следующем,При наложении полупроводникового диска 3 поверхность прилегания наружного кольца 10 находится снизу поверхности 2 прижима. При ориентировании поверхность прилегания наружного...

Номер патента: 752558

Опубликовано: 30.07.1980

Авторы: Блях, Запесоцкий, Кирсанов

МПК: H01L 21/00

Метки: травления, химического

...с зубчатым венцом камеры.На чертеже изображено устройство, общий вид.Устройство для химического травлениясодержит цилиндрическую камеру 1, в которой установлены зубчатые колеса 2 сгнездами 3, и съемную кассету 4, причемкамера снабжена зубчатым венцом 5. Кассета 4 соединена с приводом 6,Устройство работает следующим обра зом. На кассету 4 с зубчатыми колесами 2 отдельно помещают полупроводниковые пластины защитным покрытием вниз, В камеру 1 заливают травитель. Кассету 4 с пластинами опускают в камеру 1 с травителем, при этом кассета 4 посредством муфты входит в зацепление с центральным приводом 6, а шестерни 2 - с венцом 5. Посредством привода 6 через муфту кассете 4 передают вращательное движение, при этом зубчатые колеса 2, обегая...

Номер патента: 765907

Опубликовано: 23.09.1980

Авторы: Трегубов, Штейн

МПК: H01L 21/00

Метки: группового, ориентирования

...плита б выполнена подвижной в горизонтальной плоскости и снабжена сквозными отверстиями, каждое из которых выполнено в виде двух взаимно перпендикулярных сообщаю щихся пазов 7 и 8. При этом короткий паэ 8 смещен к центрудругого, длинногопаза 7 на величину, равную ди аметру детали. Под ориентирующей плитой б размещена кассета 9 с гнездамИ 10, которая установлена на вибраторе 11 с приводом вращательных колебательных движений.Устройство работает следующим образом.Детали 5 засыпаются навалом в бункер 2 на поверхность трафарета 1, С помощью вибратора 11 детали на чинают двигаться и вращаться на поверхности трафарета, и встречая на своем пути фигурные отверстия 4, запацают в них. Процесс ориентирования деталей на трафарете заканчивается...