Патенты с меткой «кремния»

Страница 12

Восстановитель для получения кристаллического кремния и силумина

Загрузка...

Номер патента: 1518301

Опубликовано: 30.10.1989

Авторы: Бабушкин, Быков, Нежданов, Овсянников, Попов, Сычева, Чернышев

МПК: C01B 33/02

Метки: восстановитель, кремния, кристаллического, силумина

...10-100 мм. Компоненты восстановительной смеси имеют следующие размеры кусков, мм: древесный уголь 6-80; нефтяной кокс, каменный уголь и торфобрикеты 0-70 мм.Торфобрикеты готовят следующим образок: нефтяной кокс в количестве 357, добавляют к подсушенному торфу, имеющеку влажность 19,8 Х и содержащ:,у золы не более 63. Крупность частиц нефтяного кокса и торфа составляет 0-6 мм. Подготовленную смесь торфа с нефтяным коксом брикетируют1 51830 Формула изобретения Таблица 1 Содержание Х Восстановитель ердый угЗола род Впаг 78,90,52,9,3 7,1 5,7 9,6 есный угол тяной к аменный угол орфобрикеты аелцОокаэателц эдаккк эалаэеее рецццк, 2 елэкэа 1 рас электроэкертцц, осстакоктелэцоьслесл,кг 92,5 9 г,7 г 1,о 13,0 0,467 2,69 1,93 12,57 г 1,о 1 о,о...

Формованное сырье для производства кремния в низкошахтной электропечи

Загрузка...

Номер патента: 1524806

Опубликовано: 23.11.1989

Авторы: Герт-Вильгельм, Роберт

МПК: C01B 33/02

Метки: кремния, низкошахтной, производства, сырье, формованное, электропечи

...при нагревании. зе смешивают со связующим вследствиеинтенсивного перемещения содермимогомешалки е При этом постоянный Цикл Вмешалке обеспечивает гомогенное распределение порошка. К полученной такимобразом лидкой смеси добавляют40 мас.Х песка и 50 иас.Х предварительно нагретого нефтяного кокса иполучаемую смесь месят в паровой атмосфере. Затем смесь перерабатываютв брикеты объемом 18 си при теипературе 104 С иа валковом прессе.Получаемое формованное сырье подвергают териообработке при температуре 500 С, в результате которой связукщее подвергается крекингу и в сырье образуются агломераты с коксовой структурой, которые имеют1524806 формула изобретения формованное сырье для производства кремния в низкошахтной электропечи, содераащее...

Способ получения кремния

Загрузка...

Номер патента: 1535825

Опубликовано: 15.01.1990

Авторы: Бегунов, Евсеев, Жабо, Покрывайло, Радченко, Скорняков, Черняховский

МПК: C01B 33/02

Метки: кремния

...15 Содершаиие вкремниипримесиРе,мас.Х Содерзаниев кремниипримесиГе, вносимое компонентами,мпоненты шихт Примечание Наименование Количество,мас.Х Пыль в вид кетов и-.3 3,82 0,382 Кварцит Древесна 36 32 0,225 а аблица следуемые шихты омпонент шихты и показатель 33 ют череэ летку и после застывания дробят.Зависимость качества кремния, расхода электроэнергии и производитель ности печи от количества введенной крупнодисперсной пыли в виде брикетов представлена в табл.2.Основные показатели выплавки кремния с добавками к шихте, очищенной от шелеэа кру"нодисперсной пыпи в виде брикетов в количестве 14, 21 и 32 мас.й, приведены в табл.3. Химический и гранулометрическийсоставы исходной пыли газоочистки,а такзе химический состав...

Способ получения диоксида кремния

Загрузка...

Номер патента: 1535827

Опубликовано: 15.01.1990

Авторы: Виноградов, Жигарновский, Каратаева, Лазарев, Панасюк, Тарасова

МПК: C01B 33/18

Метки: диоксида, кремния

...воздух в количестве80-100 л/ч на 100 г тетраиодида кремния и процесс ведут при 400-500 фС. Т а б л и ц аЗависимость выхода 510, от температурысинтеза и скорости подачи сухого воздуха Опыт Т, С Расход сухоговоздуха, л/ц Выход, Содержание 1., эмас.1 510 мас. Таблица 2Зависимость выхода 810, от температурысинтеза и скорости подачи кислорода 210 3,10- 1 ТО 6 1 О 400 450 500 380 99,0 99,3 99,3 81,6 1 2 3 5 6 7 8 1 О 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 400 450 500 380 520 400 500 38 О 520 400 500 380 520400 500 380 520 400 500 380 520 90 90 90 90 9080 80 80 80 100 ОС 1 ОО 10070 770 70120 120 120 120 98,8 99,5 99,3 76,8 99,3 98,9 99,3 72,3 цс )у.3 ц( 6." 7 98,9 70,5 76,9 62,1 76,8 90,8 95,461,9 91,1 3 1 С 4 101 О.о 110210 2 10 210 4 ф 10510 4 1...

Способ получения легированного карбида кремния

Загрузка...

Номер патента: 1546421

Опубликовано: 28.02.1990

Авторы: Иванова, Плетюшкин, Прохоров

МПК: C01B 31/36

Метки: карбида, кремния, легированного

...в реактор. Разложение смеси происходит на поверхности графитового стержня ф 6 мм и длиной 120 мм, нагреваемого 21 4до Т = 1430 + 10 С; процесс продолжается 3 ч да образования легированного азотом слоя карбида кремния толщиной 1,25 - 1,30 мм, Удельное сопротивление его составляет 0,10 Ом-сми такое же при 1000 С,П р и м е р 4 (сравнительный), Впервый испаритель заливают 50 мл чистого метилтрихлорсилана и устанавлиовают температуру в нем равную 30 С,Во второй испаритель заливают 1 О млпропионитрила и охлаждают до темпеоратуры -40 С. Пропускают чистый водород над поверхностью метилтрихлорсилана со скоростью 12 л/ч, над поверхностью пропионитрила 2 л/ч.Образовавшаяся парогазовая смесь,в которой концентрация пропионитрила0,4 мг/л, а...

Расплав для электролитического получения металлического кремния

Загрузка...

Номер патента: 1546515

Опубликовано: 28.02.1990

Авторы: Бугаенко, Касяненко

МПК: C01B 33/021, C25B 1/00, C25C 3/34 ...

Метки: кремния, металлического, расплав, электролитического

...С, Электролиз велипри 470+10 С, Катодная плотностьтока 0,07-0,12 А/см . Полученный катодный осадок отделяли от катодадля удаления труднорастворимых фторидов, промывали водой и сушили прио100-120 С, В отмытом катодном осад 15ке методом рентгенофазового анализаустановлена фаза кремния, содержание которого в катодной группе былоравным 40,57., Выход по току 923,П р и м е.р 2. Электролиз состава с оптимальным соотношением компонентов, мас.7.: Б 10 3; К БР 14,45;КС 1 16,1; КВР 66,45, (температу-.ра плавления 475+5 С) вели при 485+Ф 1 0 С. Элек тролит про зр ач ный, достаточно термически устойчив. Потеоря массы при его нагреве до 550 Св течение 60 мин составила 1,1 Е,Катодная плотность тока изменяласьот О, 05 до 0,1 А/см ,...

Способ очистки диоксида кремния

Загрузка...

Номер патента: 1549917

Опубликовано: 15.03.1990

Авторы: Жигарновский, Кириленко, Коженков, Лазарев, Панасюк, Суховерхов, Фалькенгоф

МПК: C01B 33/12

Метки: диоксида, кремния

...марки ОСЧ составляет 3 минпри скорости потока 3 г/мин. При обработке 810, полученного из тетраэтоксисилана, скорость потока0,5 г/мин при том же времени, 1 табл,810 99, 3 . Содержаниесильныхгрупп после обработки 2 ас.%.Углерод отсутствует.П р и м е р 2. Эксперимент проводят аналогично примеру 1, толькоиспользуют диаксид кремния, полученный гидрализом тетраэтоксисилана,оТемпература реактора 120 С, скоростьпотока реагента 0,5 г/мин. Выход диоксида кремния 99,85 Х. Содержаниегидроксильных групп после обработки5 10 мас.%, Углерод отсутствует,Результаты остальных опытов и данные прототипа представлены в таблице,Таким образом, предложенный способпозволяет повысить чистоту продуктапо углероду и ваде и снизить энерго"затраты,1549917 Формула...

Способ получения ультрадисперсного порошка карбида кремния

Загрузка...

Номер патента: 1555279

Опубликовано: 07.04.1990

Авторы: Быканова, Вольдман, Кипарисов, Костюкова, Кравченко, Петров

МПК: C01B 31/36

Метки: карбида, кремния, порошка, ультрадисперсного

...10 об.% азота 4 ч. Для удаления углерода проводят отжиг порошка ЯС на воздухе при 600 С в течение 40 ч.Полученныйпорошок карбида кремния имеет следующие характеристики: сред-. ний размер частиц 0,2 мкм, максимальный размер частиц Й 15 мкм; содержание мас.%: кислород 0,4; свободный углерод 0,05; азот 1,5; алюминий 0,2; Ре 0,05. П р и м е р 2. .Смесь диодксида кремния с высокодисперсным углеродным компонентом в молярном соотноше ф нии 14, 0,5 мас.% порошка нитрида алюминия и водой брикетируют, сушат в течение 10 ч при 150 С и загрукаютов графитовый тигель, который помещают в печь. Продопжительность выдержки при 1450 С в протоке смеси аргона с 20 об,% азота 6 ч. Для удаления углерода проводят отжиг порошка ЯС на воздухе при 600 С в течение...

Способ получения диоксида кремния с органическим связующим

Загрузка...

Номер патента: 1562318

Опубликовано: 07.05.1990

Авторы: Кабанов, Сыркова, Цветков

МПК: C01B 33/12

Метки: диоксида, кремния, органическим, связующим

...его.модификации органическим связующим в однустадию,Взаимодействие осуществляют пристехиометрических молярных о:ношениях реагентов Иа ЯО . кис. та ир 1ПЦВ:ДХА в соответствии с реакцией,изображенной на чертеже.Для синтезированных образцов проводят испытания на прочность при р -тяжении, на прочность при сжатии,Определение условий формования образцов проводят с помощью ручного пресса с электрообогревом (диаметр поршня Я см, диаметр отверстия в прессформе 1 см). Прессование проводятв условиях: 1 = сопвС Р = чаг.ПрииерИолярноеПроцы:. -ИН 1 м Давление началаЬормования,кг/см отношениеПДА/1 а РОзв воднойфазе на сжатие на рас жение 1: 20 1; 10 1: 5 46 84 34 76 30 250 180 150 ливают 100 мл четыреххлористого углерода, содержащего 2,39 г ДХА...

Способ получения кремния

Загрузка...

Номер патента: 1564203

Опубликовано: 15.05.1990

Автор: Губенко

МПК: C03B 15/04, C03B 29/06

Метки: кремния

...мас.0 : 0,1;0,35; 0,03, 0,02 (табл. 1, опыты 8 - 12).Монокристаллы после отжига в режимах, как в примере 1, практически не ь еняют своега удельного сопоотивления,Выращивают один монокристалл по известному способу (прототип). Для получения заданного сопротивления монакрисгаллотжи га ют.П р и м е р 4, Выращивают монокристаллы кремния в условиях примера 1,Концентрация фосфора в шихте составляет210 см, Дополнительно вводят ТВа в17количествах 0,1; 0,03; 0,35; 0,02; 0,5 мас,%(табл. 1, опыты 14-18).Как видно из табл, 1, монокристаллыкремния, выращенные из расплава, содержащего дополнительно ОеВа, РЬВа илиТВа в предложенном интервале концентраций, обладают более высокой однородностью в обьеме слитков и имеют высокиезначения времени жизни...

Припой для пайки кремния с вольфрамом

Загрузка...

Номер патента: 1574416

Опубликовано: 30.06.1990

Авторы: Бадаев, Губин, Зенцов, Злотин, Лермонтова, Югова

МПК: B23K 35/28

Метки: вольфрамом, кремния, пайки, припой

...пластины и ухудшая свойства готовых изделий.Содержание кремния в припое в количестве 13 - 20 оь обусловлено необходимостью получения определенной величины зоны, обладающей заданным уровнем электрофизических свойств сплавной зоны кон1574416 13 - 200,26 - 1,10Остальное П р и и е р, Химический состав припоя, мас;М Величина Выход годных выпряприпоя,ф мительных элементовнаопе а иях,Величи прямого падения напряж( ния, В Кремний Ванадий Алюминий Снятиефаски Травление 13,0 17,0 20,0 12,0 21,0 17,4 1.2,3.4.5.6. 99-100 100 99-100 80 65 84Заказ 1747 Тираж 647 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород,...

Брикет для получения комплексных сплавов на основе кремния и марганца

Загрузка...

Номер патента: 1574664

Опубликовано: 30.06.1990

Авторы: Аревадзе, Джапаридзе, Майсурадзе, Цкитишвили, Чубинидзе

МПК: C22C 33/00

Метки: брикет, комплексных, кремния, марганца, основе, сплавов

...(варианты 1-5) 45;35:20; 57:30: 13;70:25:5; 55:20:25 и 57:40:3 (мас,Х),Состав известных брикетов соответствует варианту 6,1 40С целью проверки влияния предложенных брикетов на технологические показатели процесса для получения комплексных сплавов на. основе кремния и марганца в печи мощностью 45 1000 кВА проведены опыты по выплавке сплавов высококремнистого силикомарганца с алюминием и кремний-марганец-кальций-алюминий (СМнКА).П р и м е р 1 Получение Высоко 50 кремнистого силикомарганца.Из-за нехватки марганца в брикетах для поддержания его содержания в сплаве в пределах 55-607. к шихте было добавлено соответствующее количество шлака углеродистого ферромарганца бесфлюсоной плавки.Состав колош-шихты по вариантам опытов приведен в...

Способ фотометрического определения кремния в деионизованной воде

Загрузка...

Номер патента: 1575111

Опубликовано: 30.06.1990

Авторы: Богословская, Пилипенко, Соломина, Терлецкая

МПК: G01N 31/22

Метки: воде, деионизованной, кремния, фотометрического

...по градуировочному г построенному в координатах1575111 3концентрация БО (мкг/л)", где ДЛ- , разность между максимальным значекием отражения и измеренным для конкретной пробы. В анализируемом растворе найдено 5,00,7 мкг БО /л при и " 5, Р0,95;.относительное стандартное отклонение составляет ОфПримеры, выполненные в условиях примера 1 для остальных катионныхповерхностно-активньг; веществ (КПАВ 1)/ приведены в табл. (введено 2,5 мкгБ 3.0 /л, и = 5, Р = 0,95). 11 ро 1 олжение табл. 22 100,0 Пятно на фильтреокрашено неравномерно и фотометрирование невозможно 1 О Таблица 3 НайденоБО,Время сорбции,мин.Таблица Найдено Б 10Х+ -,мкг/л 20 мкг/л 2,30,4 2,10,5 2,6+0,5 1-2 2,1+1,0 4,8+0,8 2,8+0,4 4-5 2,710,42,3+0,535 5,0+0,7 5-6 4,00,5 6-7 2,8+0,4...

Способ получения аминофункциональных олигоорганосилоксанов, содержащих аминогруппы, соединенные с атомом кремния связью кремний-азот

Загрузка...

Номер патента: 1578146

Опубликовано: 15.07.1990

Авторы: Блохина, Жданов, Завин, Сцибиорек, Хойновский

МПК: C08G 77/26

Метки: аминогруппы, аминофункциональных, атомом, кремний-азот, кремния, олигоорганосилоксанов, связью, содержащих, соединенные

...ф 10 моль). Раствортермостатируют и выдерживают привыбранной температуре (21 ФС), периодически отбирая пробы на анализ.Отбор проб производят под вакуумомв предварительно вакуумированныепробоотборники в герметичной системе. Анализ проб производится методом газожидкостной хроматографии (ГЖХ), Контролируется расход ГЛЦТС и ДМБАС. В результате процесса образуется гомологический ряд соединений общей формулыР 1 Б (СОНЕ)1 х-а Бд-ю ППГХО (СЬНз)1-((Т)где К = СНзрК 2: Н, Э-(СН,)810-,и = 1, 2, 3х =.2.В начале процесса среди них преобладают продукты присоединения 1, 2,3 и т.д. молекул мономера-ГМЦТС, таккак введение добавок краун-эфиров повышает нуклеофильность активных центров и происходит сближение величинконстант скорости роста и...

Способ получения пленок оксида кремния

Загрузка...

Номер патента: 1326119

Опубликовано: 23.07.1990

Автор: Шкляев

МПК: H01L 21/31

Метки: кремния, оксида, пленок

...с давлением остаточных газов - 10 Па. В качестве источника Б).О используют пластины кремфния с,ориентацией поверхности (100),удельным сопротивлением .1 Омсм иразмерами 20 50,6 мм. Пластины устанавливают в танталовые зажимыи нагревают пропусканием тока. Напротивпластин на расстоянии 120 мм на одномиэ электродов устанавливают подложку.Осаждение пленок прОводят при температуре подложки 300-350 К, Кислороднапускают в реакционную камеру с помощью, вентиля-натекателя, содержаниепримесей в нем менее 13, ПроводятОсаждение пленки в следующем режиме:мощность высокочастотного разряда И=2= 4 Па. Пленка растет со скоростью:86 А/мин.П р и м е р 2. Осаждают пленкив режиме Ч = О,З,Вт/смф Т = 1550 Кк Р = 1 15 Па, Скорость ростапленки .40 А/мин.П р.и...

Восстановительная смесь для выплавки кремния

Загрузка...

Номер патента: 1579898

Опубликовано: 23.07.1990

Авторы: Варюшенков, Елкин, Зельберг, Леонов, Ратманов, Скорняков, Сметанин, Хейфец, Чалых, Черняховский, Щапов

МПК: C01B 33/02

Метки: восстановительная, выплавки, кремния, смесь

...месям для выплавки кремния,бретения - повьппение выкачестве кремнеземсодеожащегриала используют кварцит,Подготовка шихтовых материал включает стадии дробления и отсеваДревесный уголь подают крупностью 0-60 мм нефтяной кокс - 1-5 мм,(54) ВОССТАНОВИТЕЛЬНАЯ СМЕС ДЛЯВЫПЛАВКИ КРЕМНИЯ(57) Изобретение относится к цветнойметаллургии, в частности к восстановительным смесям для выплавки крем"ния, и позволяет повысить выход кремния и снизить расход электроэнергии,Восстановительная смесь содержит бурый уголь при следующих соотношенияхкомпонентов, мас.%; древесный уголь5,5-15,0; нефтяной кокс 8-12; древесная щепа 46-4; каменный уголь17,5-33,0; бурый уголь 3-25. 1 табл,каменный уголь - 1-151579898 да электроэнергии, она дополнительносодержит бурый...

Реактив для выявления ликвации кремния в железоуглеродистых сплавах

Загрузка...

Номер патента: 1582052

Опубликовано: 30.07.1990

Авторы: Батурская, Гладкова, Дементьева, Лисняк

МПК: G01N 1/32

Метки: выявления, железоуглеродистых, кремния, ликвации, реактив, сплавах

...проведения металлографического анализа качества металлов. Цель изобретения - снижение стоимости реактива при повышении его экологичности. Готовят реактив состава, мас,0 ь: хлористый натрий 0,01 - 0,02; анодная активированная вода при рН 2 - 3 остальное, Предлагаемый состав позволяет выявить внутрикристаллическую ликвацию кремния в железоуглеродистых сплавах; он дешевле известного и исключает влияние вредных паров на человеческий организм и окружающую среду. 1 табл. ваннои поверхнос крывал поверхност 2 мм. Поверхност протирали ватным шлифа из реактив пленки. После трав в спирте и высушивТравлению под го чугуна. Использование предлагаемого реактива позволяет выявлять внутрикристаллическую ликвацию кремния в высокоуглеродистых.сплавах...

Способ определения кремния

Загрузка...

Номер патента: 1582123

Опубликовано: 30.07.1990

Автор: Гришко

МПК: G01N 31/22

Метки: кремния

...0,08. ляют на 10 мин. Затем экстрагируют в течение 2 мин 2 мл бутилового (изобутилового) спирта. Органическую, фа эу отделяют, переносят в кювету и из меряют термолинзовый сигнал. Соде ние кремния в пробе находят по предварительно полученной градуиров й характеристике. Предел обнаружения р вен 0,1 мкг. При использовании в качестве индуцирующего лазера азотного лазера с длиной волны излучения 337,1 нм найдено кремния 2,06+0,07 мк Относительное стандартное отклонение равно 0,035 (Р = 0,95, п = 5).П р и м е р 2, В делительную воронку объемом 10 мл помещают 1 мл анализируемого раствора, содержащего1582123 позволяет в 3,4 раза снизить предел обнаружения, в 100 раз сократчть время определения кремния и упростить 5способ за счет...

Способ получения -дигидроксиорганосилоксанов с гидридными группами у атома кремния

Загрузка...

Номер патента: 1595855

Опубликовано: 30.09.1990

Авторы: Аверьянов, Быльев, Зайд, Закиров, Лебедев, Лукашенко, Шахмаева

МПК: C08G 77/24

Метки: атома, гидридными, группами, дигидроксиорганосилоксанов, кремния

...Послесушки и отделения от СаС 1 получают150 г (96) целевого продукта,П р и м е р 3. В условиях примера1 в раствор 70,9 г НаСОв 330 гводы при 10 С прикалывают смесь, состоящую из 100 г (85 мол,) МТФПДХСи 9,6 г (15 мол.Ж) МДХС. По окончанииприкапывания реакционную смесь перемешивают еще 30 мин при 25 ОС. Послесушки получают 78,4 г (984) целевогопродукта.П р и м е р 4. В условиях примерав раствор 86,11 г НаСО в 540 гводы при 5 С прикапывают смесь, состоящую иэ 100 г (70 мол.Ъ) МТФПДХСи 23,36 г (30 мол.Ж) МДХС. По окончании прикапывания смесь перемешивают еще 30 мин при 25 С. После сушкиполучают 83,5 г (96) целевого продукта,4П р и м е р 5 (контрольный),В условиях примера 1 в раствор84 г БаСО в 650 г воды при 15"Сприкапывают смесь,...

Способ выделения трихлорсилана и четыреххлористого кремния из смеси хлорсиланов

Загрузка...

Номер патента: 1597341

Опубликовано: 07.10.1990

Авторы: Данилевский, Крикавцов, Силаков, Тищенко, Фалькевич, Шварцман

МПК: C01B 33/107

Метки: выделения, кремния, смеси, трихлорсилана, хлорсиланов, четыреххлористого

...1-й стадии выделения тетрахлорида кремния имеет ф 1200 мм с 64 40 тарелками. Из куба этой колонны продукт подают на стадию обезвреживания, а из дефлегматора на 1-ю стадию очистки трихлорсилана в количестве 80- 130 кг/ч совместно с исходнои смесью45 хлорсилан 08Паровую фазу из куба колонны первой стадии выделения и очистки тетрахлорида кремния (ТК) направляют в ,конденсатор, расположенный на верхней отметке, где пары конденсировались, а конденсат направляют в нижнюю часть второй колонны1200 мм с 64 тарелками для выделения и очист 55 ки тетрахлорида кремния. Кубовый про.дукт этой колонны подают на стадию обезвреживания полисиланхлоридов, а из дефлегматора отбирают чистый тетрахлорид кремния,Полученный целевой продукт - трихлорсилан...

Способ производства кремния

Загрузка...

Номер патента: 1602391

Опубликовано: 23.10.1990

Авторы: Альвин, Вишу

МПК: C01B 33/02

Метки: кремния, производства

...инертный газ типа аргона или азо Ота, или смесь восстанавливающего иинертного газа.Двуокись кремния, которую подаютв плазму или которая в смеси с твердой восстанавливающей добавкой можетбыть использовано для частичного заполнения реактора, берется в,видекварца в его многих разновидностях,встречающихся в природе, или в видерасплавленной двуокиси кремния в еемногих разновидностях, Двуокись кремния берут в виде порошков, гранул,кусков, гальки, шариков или брикетов.В качестве твердой восстанавливающей добавки, которая подается в плазму, и твердой восстанавливающей добавки, которая частично заполняет реактор, выбирают черный уголь, древесный уголь, кокс, уголь, деревянныебрикеты. Применяют твердую восстанавливающую добавку в виде...

Способ селективного травления нитрида кремния

Загрузка...

Номер патента: 1297665

Опубликовано: 23.10.1990

Авторы: Осинов, Стратиенко

МПК: H01L 21/3065

Метки: кремния, нитрида, селективного, травления

...относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления полу проводниковых приборов.Целью изобретения является исключение подтрава нитрида кремния на обратной стороне пластины за счет снижения рабочего давления,П р и м е р. Селективное травление нитрида кремния проводят на тестовых пластинах в условиях серийного производства, На кремниевые пластинье КДБО с ориентацией 100 вреакторе пониженного давления осажодают нитрид кремния толщиной 50 ОА,затем при помощи Фотолитографии Формируеот рисунок из Фоторезиста, после Данный способ позволяет получатьв заявляемом диапазоне состава реа".гентов скорость травления нитридакремния от 350 А/миндо 650 А/мин,при этом селективность соответственно равна 9:1 и 6-.1.При...

Система автоматического управления процессом окисления кремния

Загрузка...

Номер патента: 1602859

Опубликовано: 30.10.1990

Авторы: Бидюк, Жолнарский, Згуровская

МПК: C01B 33/12, G05D 27/00

Метки: кремния, окисления, процессом

...в, в блоке 9 умножается 45 на постоянный мнохштель (, (например,Я = 2) и записывается новое значение Ч, и 1(Ч,) до тех пор, пока це будет выполнено условие 1(Ч",)1(Ч) . При этом, если на выходе блока 14 сравнения будет сигнал "1", то управление передается первому блоку 9 умножения. Если же на выходе блока 14 сравнения появится сигнал "О", то управление передается второму блоку 15 сравнения, в котором анализируется ; условие 1(Ч ) - 1(Ч )Р, где 3 - погрешность, с которой поддерживается в рабочей зоне печи профиль с59 6концентрации примеси С . Если дан- ное условие не выполняется, -о значение ( умножается во втором блоке 10,умножения ца постоянный множитель(например, Р = 0,1), и это новое значение записывается в первый блок 7 памяти,...

Способ получения кремния

Загрузка...

Номер патента: 1604738

Опубликовано: 07.11.1990

Авторы: Евсеев, Елкин, Зельберг, Леонов, Махалов, Покрывайло, Скорняков, Чалых, Черняховский, Щапов

МПК: C01B 33/02

Метки: кремния

...кВт. ремния восстанавли щим материалом при вой стадии 1700 -- при 200 - 2200 С.ывно, образующийся ерез летку и после и этом удельный раставляет 19,8 тыс.кВт.ч кремния. В печи двуокись квается углердсодержатемпературе на пер1850 С и на второйПроцесс ведут непреркремний выпускают чзастывания дробят. Прход электроэнергии сосна 1 т выплавляемого САНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ1604738 Формула изобретения Зависимость удельного электросопротивления шихт, расхода электроэнергии и про изводительности печи от количества введе 1. ного в шихту кремнеземсодержащего сырья фракции - 1,0+0,08 мм, а также результаты по известному способу представлены в табл. 1,В табл. 2 представлены результаты пла. вок в зависимости от фракционного состава мелкодисперсной части...

Способ получения эпитаксиальных слоев кремния

Загрузка...

Номер патента: 1604870

Опубликовано: 07.11.1990

Авторы: Балюк, Ковалев, Крыжановский, Лозовский, Овчаренко, Юрьев

МПК: C30B 19/00, C30B 29/06

Метки: кремния, слоев, эпитаксиальных

...1. Пластины имеют диамето 30 мм. Как и в примере 1, из пластин формируют композицию, которую п,мещают в муфельную печь, Рядом с композицией располагают навеску алюминия массой 600 мг. Печь нагревают до 850 С и вводят при этой температуре в зазор между пластинами расплав алюминия. Снижают темпе ратуру до 650 С и фокусируют при этой температуре на поверхности пластины- источника лазерные лучи от пространственно разнесенных нескольких стеклонеодимовых источников излучения. Дли на волны облучения 1,06 мкм. Через 3 мин облучение композиции прекращают, охлаждают печь до комнатной тем-пературы. В полученном эпитаксиальном слое кремния, легированном алюминием, полностью отсутствуют микрозоны, а плотность дислокаций составляет 2,9 х х 10...

Способ травления структур поликремний-окисел кремния

Загрузка...

Номер патента: 1421189

Опубликовано: 23.12.1990

Авторы: Айвазов, Немой

МПК: H01L 21/308

Метки: кремния, поликремний-окисел, структур, травления

...37,5 Па.Выключают генератор и устанавливаютанодное напряжение, соответствующееЯудельной мощности разряда 0,12 Вт/см .Эту стадию процесса ведут в течениевремеиир определенного из аиалитйческого выражения, исходя иэ заданногоухода размера элементов относительномаски. В табл. 1 и 2 приведены даи"иые, обосновывающие выбор режимовтравления на каждой из стадий про"цесса,Определение коэффициентов Ы ипроизводят следующим образом.Поскольку зависимость Ч, от Бтр в режимах второй стадии определяетсявыражением Чр то графике Б+Ъзависимости 1/7(Б) представляет собой прямую линию, Из наклона прямой, построенной по экспериментальным данным для режима второй стадии, вычисляют величину ос, а значение 1 Ь - путем экстраполяции к значению Б.=...

Способ получения высокодисперсного материала на основе диоксида кремния

Загрузка...

Номер патента: 1618732

Опубликовано: 07.01.1991

Авторы: Альтер, Белоус, Гагуа, Нестор, Песин, Печуро, Попова, Соколовский, Хабер

МПК: C01B 33/18

Метки: высокодисперсного, диоксида, кремния, основе

...разложение сырья, Образу ющиеся твердые продукты выводят из реактора и направляют на отделение от непрореэгировавшего сырья. Твердые продук, ы промывают спирто-бензольной смесью в аппарате Сокслета для полного уделения непрооеагировавшего ТАОС и высушивают.Прокаливание полученных материалов ведут в токе инертного газа.Прокаливание полученных при электрокрекинге ТАОС продуктов приводит к изменению их структуры; происходит частичное выделение углеро з из твердого раствора и его осаждение на поверхности д,е, в виде пленки, благодаря которой резко возрастает устойчивость полученных материалов в агрессивных средах.Физико-химические свойства твердых продуктов электрокрекинга приведены в табл. 1,Значения кислотостойкости и щелоче- стойкости...

Способ получения кремния

Загрузка...

Номер патента: 1515795

Опубликовано: 07.01.1991

Авторы: Бабичев, Назарова, Страшинский

МПК: C30B 23/02, C30B 29/06

Метки: кремния

...до давления10 арпа. При установке реактора напротив его отФормула изобретения Преимущества предлагаемого способа по сравнению со способом-прототипом, заключается в том, что предлагаемый способ позволяет получить цэ элементарного кремния мишени, фильтСоставитель Б, БезбородоваРедактор 11.Самерхацова Техред Л.Олийнык Корректор Т.Палиц Заказ 673 Тираж 254 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета ло иэобретениям и открытиям при ГЕНГ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., и. 4/5 Производственно-иэдательсний комбинат Патент", г.ужгорол, ул. Гагарина, 10 3 1)1579верстия располагают подложку для чистого кремния,Реактор цэготавливают иэ тацталас толщиной стецок 50 мкм. Применяют5токовый нагрев. Подложку изготавливают из тантала. Помещенную...

Способ управления технологическим процессом выплавки кремния в электропечи

Загрузка...

Номер патента: 1631243

Опубликовано: 28.02.1991

Авторы: Зарак, Петухов, Радченко, Ратманов, Смородинов

МПК: F27D 19/00

Метки: выплавки, кремния, процессом, технологическим, электропечи

...взвешив я каждой порции на почтовых весах,Расход углерода на выплавку 1 т к ния составлял Ств = 1800 кг. В ходе пл определяли зависимость изменения отношения твердого углерода к кварциту в шихСтвте, К - . от изменения отношенияЬО 2 В ходе опытной плавки в течение 6 месустановлено, что изменение отношения К на 1,5% приводит к изменению отношения Лц 5 ммна 1 О при прямопропорциЛЧ 5 ональной зависимости, т.е,соответствует А = 1800 х 0,015 для печи 1000 к Вт.Тогда величину корректировки К в шихЛцте при малых изменениях - возможноРЯопределить по следующей зависимости: где - установленное отношение для Лр данной печи; А - коэффициент печи; Лц фактическое замеренное отноЯЮ 1 шение.Например, отношение за час раЛЦ 1ЯЮ4 ммботы печи стало равным...

Способ получения ультрадисперсного порошка карбида кремния

Загрузка...

Номер патента: 1636334

Опубликовано: 23.03.1991

Авторы: Вольдман, Кипарисов, Костюкова, Кравченко, Петров

МПК: C01B 31/36

Метки: карбида, кремния, порошка, ультрадисперсного

...стеза приводит к уменьшению энергоНагрев смеси до 1000 С атмосферном давлении ар грев от 1300 до 1400 С ростью 1 град/мин в пот гонаи 10 об.% водорода потока 5 л/ч, что позво живать в печном прсстра ное давление 50 кПаПр ность выдержки при 1400 50 кПа составляет 6 ч. свободного углерода про порошка ка р бид а кр емния при 600 С в течение 40Полученный порошок к имеет следующие характе1636334 1Выдеркка прн конечной темпера- туре Характернстнка конечного продукта потоке аргояа содерванем водород Содерканне мас,Х упельПлотностьпеченннквделнсс Хт теоретн"еского ко ста ость 1 точпото- яаеа ар-дав"1 она, леня ч кПа око .ростьнагренаядолам- поверя"льность, ность,а 7 г вобод- кеого уг- ерода авлеастнп кПа градl аСО 04 О 05 005 940,3 О,...