Згуровская
Система автоматического управления процессом окисления кремния
Номер патента: 1602859
Опубликовано: 30.10.1990
Авторы: Бидюк, Жолнарский, Згуровская
МПК: C01B 33/12, G05D 27/00
Метки: кремния, окисления, процессом
...в, в блоке 9 умножается 45 на постоянный мнохштель (, (например,Я = 2) и записывается новое значение Ч, и 1(Ч,) до тех пор, пока це будет выполнено условие 1(Ч",)1(Ч) . При этом, если на выходе блока 14 сравнения будет сигнал "1", то управление передается первому блоку 9 умножения. Если же на выходе блока 14 сравнения появится сигнал "О", то управление передается второму блоку 15 сравнения, в котором анализируется ; условие 1(Ч ) - 1(Ч )Р, где 3 - погрешность, с которой поддерживается в рабочей зоне печи профиль с59 6концентрации примеси С . Если дан- ное условие не выполняется, -о значение ( умножается во втором блоке 10,умножения ца постоянный множитель(например, Р = 0,1), и это новое значение записывается в первый блок 7 памяти,...
Способ устранения воздействий посторонней облученности при светотехническом контроле поверхности материала
Номер патента: 470736
Опубликовано: 15.05.1975
Авторы: Згуровская, Карилер, Римм, Халликсоо
МПК: G01N 21/02
Метки: воздействий, контроле, облученности, поверхности, посторонней, светотехническом, устранения
...материала 4 падает также излучение постороццих источников 10, которое имеет постоянную и переменную составляющие амплитуды по времени, Таким образом, суммарная облученность поверхности материала состоит из переменной составляющей модулированного луча 3 постоянной и переменной составляющих посторонних источников 1 О. При данной мощности источцика 1 ца поверхности материала достигается наибольшее отношение амплитхд облученности от модулированного луча 3 и от посторонних источников 10, так как неселективный модулятор 2 только прерывает лучистый поток, не уменьшает его силы прц пропускании. Через селективный модулятор 6 проходит излучение отраженного луча 5 только с теми длинами волн, которые пропускаются его селективными элементами....