Плетюшкин

Номер патента: 1546421

Опубликовано: 28.02.1990

Авторы: Иванова, Плетюшкин, Прохоров

МПК: C01B 31/36

Метки: карбида, кремния, легированного

...в реактор. Разложение смеси происходит на поверхности графитового стержня ф 6 мм и длиной 120 мм, нагреваемого 21 4до Т = 1430 + 10 С; процесс продолжается 3 ч да образования легированного азотом слоя карбида кремния толщиной 1,25 - 1,30 мм, Удельное сопротивление его составляет 0,10 Ом-сми такое же при 1000 С,П р и м е р 4 (сравнительный), Впервый испаритель заливают 50 мл чистого метилтрихлорсилана и устанавлиовают температуру в нем равную 30 С,Во второй испаритель заливают 1 О млпропионитрила и охлаждают до темпеоратуры -40 С. Пропускают чистый водород над поверхностью метилтрихлорсилана со скоростью 12 л/ч, над поверхностью пропионитрила 2 л/ч.Образовавшаяся парогазовая смесь,в которой концентрация пропионитрила0,4 мг/л, а...

Номер патента: 145106

Опубликовано: 01.01.1962

Авторы: Горин, Иванова, Плетюшкин, Славина

МПК: C23C 10/06

Метки: карбида, кремния, нанесения, покрытий

...технический водород. Подачу кремнеорганического соединения в систему с постоянчой скоростью производят путем его испарения из испарителя б с постоянным уровнем. Водород, проходя над поверхностью вещества, уносит его пары в реакционную камеру, В качестве реакционной камеры используют водоохлакдаемую кварцевую трубу (колпак) или какой-либо другой герметический сосуд, Нагрев обрабатываемой детали 7, находящейся в реакционной камере 3, производят или с помощью токов высокой частоты печей сопротивления или непосредственным пропусканием электрического тока через детали простейшей формы, Получающисся при реакции газообразные продукты удаляют через гидрозатвор в вытяжную систему,Нанесение покрытий карбида кремния производят следующим...