Способ получения пленок оксида кремния
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1326119
Автор: Шкляев
Текст
(51 ОБРЕТЕН Сей ТОРСН водников Нанея мето" ектронсия,на,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Институт физики полупроСО ЛН СССР(56) Лнохии Б.Г, и Бакун А.Всение пленок двуокиси кремнидом окисления моносилана, Злная промьппленность, 1973, Вс. 70-75,Окисление, диффузия, эпитПод. ред, Р,Бургера и Р.ДоноМ.: Мио, 1969, с. 76-78.(57) Изобретение относится к полупроводниковой микроэлектронике, в частности к методам получения диэлек трических слоев. Цель изобретения улучшение диэлектрических характерис тик пленок, Пленки оксида кремния осаждают на подложке при 300-350 К. Подложку располагают иа высокочастот ном электроде и возбуждают газовьп 3 разряд плотностью мощности 0,3 - 1,0 Вт/см . В качестве молекулярногойисточчика окиси кремния служат пластины кремния, нагретые в кислороде до 1420-1550 К, Нагревают кремниевые пластины пропусканием через них тока Процесс ведут при давлении 1,15 - 4,0. Па.13269 Редактор А,Бер Техред И.ПоповичКорректор Г.Решетник Заказ 2489 Тираж 460 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская иаб д, 4/5Производственно"полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул, Проектная, 4 Изобретение относится к техноло"гик полупроводниковой микроэлектронике, в частности к методам получения диэлектрических слоев.Цепь изобретения - улучшение диэлектрических характеристик пленок.П р и м .е. р 1. Осаждеиие пленококсида кремния проводят в высокова.куумной системе с давлением остаточных газов - 10 Па. В качестве источника Б).О используют пластины кремфния с,ориентацией поверхности (100),удельным сопротивлением .1 Омсм иразмерами 20 50,6 мм. Пластины устанавливают в танталовые зажимыи нагревают пропусканием тока. Напротивпластин на расстоянии 120 мм на одномиэ электродов устанавливают подложку.Осаждение пленок прОводят при температуре подложки 300-350 К, Кислороднапускают в реакционную камеру с помощью, вентиля-натекателя, содержаниепримесей в нем менее 13, ПроводятОсаждение пленки в следующем режиме:мощность высокочастотного разряда И=2= 4 Па. Пленка растет со скоростью:86 А/мин.П р и м е р 2. Осаждают пленкив режиме Ч = О,З,Вт/смф Т = 1550 Кк Р = 1 15 Па, Скорость ростапленки .40 А/мин.П р.и м е р 3, Осаждение пленкив режиме И = 0,7 Вт/смТ = 1550 Ки Рб = 2 Па проходит со скоростью35 А/мин,П р и и е р 4, 11 ри условиях М =. ф 1,0 Вт/см , Т = 1420 К и Ров1,15 Па Скорость осаждения пленкисоставляет 7 А/мин. П р и м е р 5. В режиме 1) в , 1,0 Вт/см , Т 1550 К и Р 4 Па наблюдается осаждение пленки со скоростью 25 А/мин,1еПленки, полученные в условиях высокочастотного газового разряда,имеют большую величину напряжения10 пробоя 3-5 1 О В/см, Эти пленки хабрактериэуются малыми величинами то. -ков утечки, которые при комнатнойбтемпературе в поле 3 10 В/см имеютвеличину 10А/смф. Диэлектрическая1 Б проницаемость пленок, полученных ввысокочастотном газовом разряде, сохраняет одинаковое значение., равноей 4, 2, как при 300 К, так и при 77 К.Это показатель того, что эти пленки20 плотные, беэ порПолучаемый составпленок близок к термическому 81 О,так как характеризуется таким же показателем преломления,25 ФОрмула изобретения Способ получения пленок оксидакремния, включающий создание потока.окиси кремния на подложку путем на- ЗО грена пластин кремния в кислороде иосаждение пленок оксида кремния наподложку при 300-350 К, о т.л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюулучшения диэлектрических характеристик пленок Осаждение проводят Ввысокочастотном газовом разряде плотностью мощности 0,3-1;О Вт/см наэлектроде, на котором расположенаподложка пластины кремния нагревают 40 до температуры 1420-1550 К, а давление кислорода поддерживают в диапа"зоне 1,15-4,0 Па.
СмотретьЗаявка
3980786, 26.11.1985
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ СО АН СССР
ШКЛЯЕВ А. А
МПК / Метки
МПК: H01L 21/31
Метки: кремния, оксида, пленок
Опубликовано: 23.07.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1326119-sposob-polucheniya-plenok-oksida-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения пленок оксида кремния</a>
Предыдущий патент: Способ определения стехиометрии бинарных соединений элемента
Следующий патент: Устройство импульсного питания ускорителя
Случайный патент: Способ нагрева и плавки железосодержащего материала