Интерферометр для измерения линейных перемещений

ЕТЕН 8 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИ К АВТОРСКОМУ СВИ(56) Авторское свидетельство СССРР 1017916, кл. Г 01 В 11/00, 1979.(57) Изобретение относится к измерительной технике, конкретно к интерферометрам для измерения малых0,5 мкм) перемещений. Цель изобретения - уменьшение габаритов.,упрсщение конструкции и расширение областииспользования за счет размещенияполупрозрачных зеркал внутри междууголковыми отражателями, симметричного расположения элементов интерФерометра относительно оптической 8015784 оси, а также за счет воэможности задания требуемой точности измерения.Интерферометр содержит оптическисвязанные между собой источниксвета, первое полупрозрачное зеркало 2, второе полупрозрачное зеркало3, два уголковых отражателя 4 и 5,а также приемник 6 света." Световойпучок от источника 1 света делитсяна опорный и измерительный пучкиполупрозрачным зеркалом 2 и послеотражения от уголковых отражателей4 и 5 они соединяются на зеркале 3.В зоне приемника 6 света формируетсяпеременная во в 1 емени интерференционная картина. Приемник 6 светавырабатывает импульсы, число которых пропорционально перемещениюодного иэ уголковых отражателей. 1ила1578458 приемника 6 образуется интерференциальная картина в виде чередующихсятемных и светлых полос (пятен). Приемник 6 света вырабатывает импульсы,число которых пропорциональнс перемещению отражателя 4.Изменяя размер С таким образом,чтобы увеличивалось число отражений 1 О от отражателя 4 и 5, можно. выбиратьтребуемую погрешность измерения. Изобретение относится к измерительной технике, конкретнее к интерферометрам для измерения малых .(О,5 мкм) перемещений.Пель изобретения - уменьшение габаритов, упрощение конструкции и расширение области использования за счет размещения полупрозрачных зеркал внутри между уголковыми отражателями, симметричного распсложения элементов интерферометра относительно оптической оси, а также за счет воэможности задания требуемой точности измерения, например, при использовании в устройствах совмеще- ния для микролитографии.На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для измерения линейных перемещений.Интерферсметр содержит источник 1 света, полупрозрачные зеркала 2 и 3,расположенные на оси источника 1 света, уголковые отражатели 4 и 5 (уголковые отражатели могут состоять как из двух, так и из трех отражающих поверхностей), расположенные по обе стороны от полупрозрачных.зеркал 2 и 3, со смещением по оси Х друг относительно друга. Величина смещения а определяется размером в полупрозрачных зеркал (эеркало 2 не должно перекрывать пучки света, отраженные от отражателей 4 и 5, то есть ав/2) Один из уголковых отражателей 4 расположен на перемещающемся в направлении У объекта (который на чертеже не показан). Приемник 6 света расположен по оси источника 1 света,Интерферометр работает следующим образом.Световой пучок источника 1 света делится полупрозрачным зеркалом 2 на опорный, прошедший через светоделительную поверхность, и измерительный - отраженный от нее. Измерительный пучок, отражаясь поочередно от отражателей 4 и 5, соединяется с опорным на .зеркале 3, При перемеще" нии отражателя 4 по оси У в зоне Интерферометр может найти применение, например, в устройствах совмещения для микрслитографии, гдеперемещающийся координатный стол сполупроводниковой пластиной можетиметь, например, три стадии совмещения. Первая " в диапазоне 100 мм, 2 О вторая - в диапазоне 1 мм .и третья -в диапазоне 1 мкм. Для ускоренияпроцесса совмещения и повышения еготочности каждую стадию совмещенияцелесообразно проводить со своей 25 дискретностью ( точностью) измерения.Благодаря воэможности перемещенияполупрозрачных зеркал 2 и 3 схемаинтерферометра позволяет выбиратьи устанавливать требуемую точностьизмерения. Формула и э обретения Интерферометр для измерения ли-нейных перемещений, содержащий оптически связанные источник света, дваполупрозрачных зеркала, расположенные во взаимно перпендикулярныхплоскостях, два уголковых отражателя,4 О расположенных друг напротив друга сосмещением, и приемник света, о т -л и ч а ю щ и й с я тем, что, сцелью уменьшения габаритов, упрощения конструкции и расширения об-ласти использования, полупрозрачныезеркала расположены между уголковыми отражателями с возможностью перемещения, а источник и приемниксвета размещены на оси, проходящеймежду уголковыми отражателями,1Л,Лобзова" Составитель Техред Л.се Редактор Л.Пчолинская рдюкона Корректор И.Муска Заказ 1905 Тираж 499 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям н открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5