Интерферометр

)5 О 0 5)5 6 01 О НИЕ 31Н,Миро измерителььзовано для ний, в частерительных обретения - дения оптии выходом лазера 1 деГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИГКНТ СССР ПИСА ИЗОБРВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(57) Изобретениеной технике и можеизмерения линейнности в гравиметрсистемах станков сРповышение точносческой развязки мичтерферометра, П етельство ССВ 9/02, 1981ЕТРОтносится кт быть исполых перемещеии или в измЧПУ. Цель изти за счет ввеежду входомучок света лится на два на грани 4 со светоделительным покрытием. Отраженный пучок от грани 4 падает на световозвращатель б, проходит компенсатор 8 и через световозвращатель б возвращается на грань 4 с поперечным смещением. Прошедший через грань 4 световой пучок падает на грань 5 призмы 2, отражается.от нее и попадает на световозвращатель 7, После световозвращателя 7 пучок проходит компенсатор 8 и через световозвращатель 7, призму 2 БСвозвращается на грань 4 с поперечным смещением, равным смещению пучка, отраженного гранью 4. Благодаря поперечному смещению выходного пучка устраняется оптическая обратная связь. 3 ил.Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано дляизмерения линейных перемещений, в частности в гравиметрии или в измерительныхсистемах станков с ЧПУ, 5Цель изобретения - повышение точно-сти за счет введения оптической развязкимежду входом и выходом интерферометра;На фиг.1 представлена схема интерферометра, вид спереди; на фиг.2 - то же, вид 10слева; на фиг,3 - то же, вид сверху,Интерферометр содержит лазер 1, светоделительный блок, выполненный в видепризмы 2 БСи жестко связанной с нейпрямоугольной призмы 3 БР - 180, на малые 15грани 4 и 5 призмы 2 нанесены, соответственно, светоделительное и зеркальное покрытия, светоделители б и 7, оптическисвязанные с компенсатором 8 и, соответственно, с гранями 4 и 5 призмы 2, компенсатор выполнен в виде призмы БРижестко связан с большой прямоугольнойгранью призмы 2, и фотоприемник, установленный, по ходу совмещенных пучков (непоказан), 25Интерферометр работает следующимобразом.С лазера 1 когерентное излучение поступает на границу раздела воздух-стеклопод углом, близким к нормальному падению, на равнобедренную призму 3 с угломпри вершине 90, При этом траектория прохождения излучения не меняется, На малойграни 4 призмы 2 происходит деление потока излучения на два. Один поток, отразившись от светоделительного покрытия черезуголковый отражатель 6, попадает на ком-пенсирующую призму 8 и после отраженияпроходит все указанные элементы 4 и 3 вобратном направлении. Прошедший же через светоделительное покрытие поток проходит последовательно элементы 2, 7 и 8 впрямом направлении, После отражения вкомпенсирующей призме 8 лазерный лучпроходит элементы 7 и 2. Можно подобрать 45такое положение лазера 1, моноблока, состоящего из элементов 2, 3 и 8, при которомлучи, пришедшие от двух отражателей б и 7,совмещаются в точке на светоделительномпокрытии грани 4, в которой происходит 50 интерференция лучей, прошедших по периметрам измерительного и референтного плеч.Смещение уголковых отражателей в горизонтальной плоскости не вызывает смещения интерферирующих лучей и не приводит к потере информации о перемещении уголковых отражателей 4 и 7 в вертикальной плоскости. Наклоны уголковых отражателей, вызванные вибрацией, то же не влияют на качество сигнала интерференции. Наклоны моноблока интерферометра, состоящего иэ элементов 2, 3 и 8, не приводят к потере качества интерференционной картины,Благодаря поперечному смещению выходного пучка устраняется оптическая обратная связь, из-за которой часть энергии попадала в капилляр лазера и появлялась неопределенность значения длины волны светового пучка лазера. Формула изобретения Интерферометр, содержащий лазер, оптически связанный с ним светоделительный блок, выполненный в виде призмы БС-О, на одну малую грань которой нанесено светоделительное, а на другую - зеркальное покрытие, и установленный так, что световой пучок от лазера проходит через грань со светоделительным покрытием, два световозвращателя, выполненные в виде уголковых отражателей и установленные соответственно по одному в пучке. отраженном от грани со светоделительным покрытием, и в пучке, отраженном от грани с зеркальным покрытием, и фотоприемник, установленный после световозвращателей по ходу совмещенных пучков, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерений, он снабжен прямоугольной призмой БР, установленной между лазером и светоделительным блоком так, что гипотенузная грань прямоугольной призмы расположена на грани призмы БСО, и компенсатором. оптически связанным с обоими световозвращателями, выполненным в виде призмы ВР - 180 и установленным на большой прямоугольной грани призмы БС - О.1587327 Составитель М.МининТехред М,Моргентал Корректор В.Гирняк Редактор В.Данко Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Заказ 2411 Тираж 490 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5