Способ определения рельефа поверхности

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1)5 6 01 В 9/02, 11/24 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ТЕЛ ЬСТВУ АВТОРСКОМУ С 2 ение объаммы. Пое волны, льны ампа волн Аи 1 инам волн: К,и) Аи = Яиаие Интенсивностьинтер тины, полученной в реэул ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(71) Научно-исследовательский институт неврологии, нейрохирургии и физиотерапииМинистерства здравоохранения БССР и Институт физики АН БССР(56) Авторское свидетельство СССРМ 1522867, кл. 6 01 В 9/023, 1989.(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РЕЛЬЕФАПОВЕРХНОСТИ Изобретение относится к области метрологии и может найти применение при бесконтактном контроле рельефа поверхности голографическими способами, основанными на использовании поглощающих сред.Целью изобретения является расширение информативности способа за счет опредлеления абсолютного рельефа поверхности, т.е. абсолютной удаленности точек поверхности объекта от некоторой плоскости, включая как величину, так и направление ее рельефа,Способ осуществляется следующим образом.Объект помещают в прозрачную камеру, в которой находится резонансная среда, и освещают коллимированными пучками когерентного излученияс длинами волн Л 1 иА 2, Для выполнения равенства пространственных частот регистрацию голограммы производят по схеме во встречных Ы 1629749 А 1(57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения рельефа поверхности объекта.Цель изобретения - расширение информативности способа за счет обеспечения возможности определения рельефа поверхности. Для этого помещают объект в камеру, содержащую поглощающую жидкость, и освещают его двумя пучками когерентного излучения различных длин волн. Записывают голограмму объекта,а при ее восстановлении регистрируют распределение интерферен.ционных полос, по которому определяют относительный рельеф и их контраст, по которому определяют абсолютный рельеф.в пучках, Восстанавливают изображ екта с зарегистрированной гологр следняя восстанавливает дв амплитуды которых пропорциона литудам отраженных от объект (где п 1 = 1, 2), соответствующих дл1 дщ - 4 Л ( - (и и, -где Ви - коэффициент отражения;аи 1 - амплитуда света, падающего на резонансную среду для освещения объекта;да - сдвиг фазы;г - расстояние от поверхности резонансной среды до точки объекта;. пи 1, ки - действительная и мнимая части комплексного показателя преломления.Ффереционной кар ьтате интерфе(4) Таким образом, койтраст Р связан с абсолютным рельефом поверхности. Соответственно, расстояние между интерференционными полосами указывает на относительную ра 3 ность между точками поверхности объекта, а контраст этих полос характеризует абсолютную удаленность соответствующих точек объекта от границы раздела поглощающая среда - окружающая среда. Составитель В.БахтинТехред М,Моргентал Корректор М.Шароши Редактор Н,Бобкова Заказ 431 Тираж 387 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 ренции двух восстановленных волновых фронтов, имеет вид1 = (Д 1+Д 2) (Д 1+Дг). (2)После подстановки (1) в (2) и ряда преобразований получим 5- вал 1=(В 1 а 1) е 1 +(В 2 а 2) е 2 +(3)Максимальную 3 макс и минимальную мин интенсивности получают, когда косинус становится равным 1 и -1 соответственно. Из выражения (3) видно, что восстановленное иэображение объекта покрыто системой интерференционных полос, По этой картине полос либо прямо с голо графического изображения, либо с фотографии с помощью денистометра, матрицы фотоэлементов, телевизионного монитора измеряют распределение интенсивности интерференционных полос, в частности иэ меряют значения интенсивностей в максимумах и минимумах этих полос, а также расстояния между ними. Зная расстояния между максимумами (минимумами) полученной интерферограммы и глубинное 30 расстояние Л Е, которое определяет относительное расстояние по высоте между соседними линиями, определяют рельеф поверхности, По значениям интенсивности в максимуме макс и минимуме 1 мин интерференционных полос, используя формулуР макс - мин1 макс + минопределяют контраст Р интерференционной картины, который в соответствии с вы ражением (3) в случае использования в качестве иммерсии поглощающей среды имеет,видР =(сп (4 Лг( - :( -- -;( - )+1 п р 1 а 1 )3 Формула изобретения Способ определения рельефа поверхности, заключающийся в том, что объект, помещенный в камеру, содержащую поглощающую среду, освещают объект коллимированными пучками когерентного излучения и с длинами Л 1, А 2 волн, восстанавливают полученную голограмму, осуществляют анализ интерференционной картины на восстановленном изображении и по распределению интерференционных полос судят об относительном рельефе поверхности, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения информативности за счет определения абсолютного рельефа поверхности, при анализе интерференционной картины дополнительно определяют значения интенсивности максимумов и минимумов этой картины, по значениям которых рассчитывают обсолютный рельеф поверхности.