Устройство для многократных отражений в двухлучевом интерферометре

1578456 г гг=- " -у+аа - г йу - уа -тель 2, устройство 3 многократныхотражений, содержащее собираюций элемент 4 в виде линзы (фиг, 1) или вогнутого зеркала (фиг. 2), плоский отракатель 5 и зеркало 6, связываемоес контролируемым обьектом 7, Отражатель 5 при использовании в качествеоптического собирающего элемента линзы (Фиг. 1) размецен на прямой, проходяцей через центры зеркала 6 и линзы 4 а расстоянии от центра линзы,равном Мг Г 1 2 3г= ---- а +уг,где Г - фокусное расстояние линзы;а - расстояние между зеркалом илинзой;- расстояние от зеркала до опти ческой оси линзы.При использовании в устройство, вогнутого зеркала (фиг. 2) плоский отражатель 5 размещен па расстояни 25 от центра вогнутого зеркала и.го оптической оси,Интерферометр также содержит отракатель 8 в виде уголкового отракаг=-ля (фиг, 1) или в виде плоскогозеркала Фиг. 2) и блок 9 приема ирегистрации интерференционного сигнала. Конкретный вид отражателя 8 определяется необходимостью обеспечения цсовпадения лучевых путей информативного и опорного пучков при их сложении. Для согласования оптических схемустройства и интерферометра могутбыть использованы дополнительныеплоские зеркала 10 и 11 .(Фиг. 1).Излучение источника 1 делйтся све оделителем на два пучка, один иэ ко-торых направляется на отражатель 6,50а другой - в устройство 3 многократных отражений па зеркало б. Послеотражения от зеркала этот пучок отклоняется собирающим оптическим элементом 4, попадает на отражатель 5и возвращается после вторичного отклонения собирающим элементом 4 назеркало 6. После многократного отра"жения от зеркала 6 пучок попадает на,светоделитель 2, где совмецается с опорным сигналом, пришедшим с отражателя 8, и образует интерФеренционную картину, которая регистрируется, блоком 9.Изобретение позволяет повысить виброустойчивость интерферометра за счет того, что лучи, отражаемые зеркалом 6, собираются оптическим элементом 4 на зеркале,.благодаря чему уменьшается вероятность ухода интерферируюцих лучей за пределы чувствительной плоцадки фотоприемника. Одновременно повышается пространственное разрешение устройства, поскольку отражение всех лучей происходит от небольшого участка поверхности зеркала б.Поворотом отражателя и его поворотом .совместно с собирающим элементом 4 относительно центров зеркал 5 и 6 появляется возможность изменять количество отражений от зеркала б,и, тем самым, изменять чувствительность интерферометра. Формула изобретения 1. Устройство для многократных отражений в двухлучевом интерферометре при контроле, содержащее зеркало, предназначенное для установки на объекте, оптический собирающий элемент и отражатель, о т,л и ч а ю " щ е е с я тем, что, с целью повышения виброустойчивости и пространственного разрешения, отражатель и зеркало расположены в сопряженных точках собирающего элемента, а отражат тель выполнен плоским и установлен с возможностью поворота относительно его центра и совместного с собирающим элементом поворота относительно центра зеркала. 2. Устройство по п. 1, о т л ич а ю ц е е с я тем, что собирающий элемент выполнен в виде линзы, отражатель размещен от центра линзы на расстоянии г, равном г а а.Иг= -- -а +уа-Й где г - Фокусное расстояние линзы; а - расстояние между зеркалом и линзой; у - расстояние от зеркала до оптической оси линзы,а зеркало, линза и отражатель распо1578456 6и от его оптической оси на расстоя- нии 1 О г --- у +а а-Г ложены так, что их центры лежат на одной прямой.3. Устройство по п. 1, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что,собирающий элемент выполнен в виде вогнутого зеркала, а отражатель размещен от центра вогнутого зеркала на .расстоянии т, равном йу/а-Гфгде Г - Фокусное расстояние вогнутого зеркала;а - расстояние между отражателеми вогнутым зеркалом вдолвоптической Ьси;у - расстояние отражателя до оптической оси вогнутого зеркала.1578456 Составитель В.КлимовТехред П,Сердюкова ректор И.Кучерявая Редактор Л.Пчолинс ственног 113035 ельский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. на, 10 роизводственно-изд Заказ 1905 ВНИИПИ Гос Тираж 490митета по изобретениям и сква, Ж, Раушская наб Подписное крытиям при ГКНТ СССРд. 4/5