Устройство для перемещения зеркала интерферометра

(Я)5 С 01 В 9/02 ГОСУДСЕНН 1 йПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ ИПРИ П(НТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ(5 4) УСТРОЙСТВО Д КАЛА ИНТЕРФЕРОМЕТ 7) Изобретение ьной технике и но в сканирующи я перемещения з тения являетсяЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ А относится к измериможет быть использ телва интерфркала.асширен ерометрах Целью изобие области ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ, 80 ы 1580157 А 1 применения за счет ограничения числ степеней свободы зеркала интерферометра. При измерении задаю-, приводному двигателю 5 периодическое движение с заданной частотой и амплиту дай, которое через шестерню 4 передается на обойму 3 шарикоподшипника и далее через упругие наклонные сте ни 6 на кольцо 7, и через упругие наклонные стержни 8 на кольцо 9 с зеркалом 10 интерферометра. Благодаря направляющему пазу 13 и штоку 11 зеркало 10 перемещается в осевом направлении без вращения в плоскости отражающей поверхности. 2 ил.Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в сканирующих интерферометрах для перемещения зеркала.Целью изобретения является расширение области применения.На фиг. 1 показана схема устройства для перемещения зеркала интерферометра; на фиг, 2 - вид А на фиг. 1.Устройство содержит основание 1, закрепленную на нем наружную обойму 2 шарикоподшипника, закрепленную на внутренней обойме 3 шестерню 4,приводной двигатель 5, упругие стержни 6, наклонно закрепленные на обойме 3, закрепленное на стержнях 6 коль цо 7 с наклонно закрепленными дополнительными упругими стержнями 8, закрепленное на стержнях 8 дополнительное кольцо 9, закрепленные на кольце 9 зеркало 10 и шток 11 со сферическим наконечником 12, размещенным в пазу 13. Угловые перемещения кольца 7 и обоймы 3 выбирают иэ соотношения3+Е фгде- угловое перемещение обоймы 3;угловое перемещение кольца 7;Е - жесткость стержней 8;Л - жесткость стержней 6.Благодаря пазу 13 и наклонному закреплению стержней 6 и 8 угловые Фперемещения кольца 7 сопровождаются осевым перемещением, котороЕ определяют по формулегде К . - радиус окружности, на которой размещены стержни 6;с( - угол наклона стержней 6 коси обоймы 3.Угловые перемещения кольца 7 обеспечивают осевое перемещение кольца 9, которое определяют по формулеН = К. уапцгде К - радиус окружности, на которой размещены стержни 8;О - угол наклона стержней 8 коси обоймы 3.,Осевое перемещение зеркала 10 определяется разностью перемещенийН и Н, и обеспечивает сканирование5по прямолинейной траектории и строгую ориентацию различных эон зеркала10 относительно оптической оси,Устройство работает следующим образом,Задают приводному двигателю 5 периодическое движение с заданной частотой и амплитудой, которое черезшестерню 4 передается на обойму 3 идалее через упругие стержни 6 на кольцо 7, и через упругие стержни 8 накольцо 9 с зеркалом 10. При этомблагодаря направляющему пазу 13 и штоку 11 зеркало 10 перемещается в осевом направлении без вращения в плоскости отражающей поверхности,Формула изобретенияУстройство для перемещения зеркала интерферометра, содержащее основание, закрепленную на нем наружнуюобойму шарикоподшипника, закрепленную на внутренней обойме шарикоподшипника шестерню, закрепленный наосновании приводной двигатель, кинематически связанный с шестерней, упругие стержни, закрепленные равномернопо окружности одними концами на внутренней обойме наклонно к ее оси, двакольца, установленные по разные сто роны от внутренней обоймы соосно сней, одно из колец закреплено надругих концах упругих стержней, идентичные основным дополнительные упругие стержни, одни концы которых закреплены на втором кольце, и зеркалос рабочей поверхностью, перпендикуляр-.ной к оси внутренней обоймы, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с цельюрасширения области применения, оно 45 снабжено радиально закрепленным навтором кольце штоком со сферическимнаконечником, размещенным в направляющем пазу, который выполнен на основании параллельно оси внутренней 50 обоймы, другие концы дополнительныхупругих стержней коаксиально закреплены на основном кольце, а зеркалозакреплено на втором кольце,1580157 Фиай Составитель В.ХаритоновТехред М.Ходанич Корректор М,яароши Редактор Н.Лазаренко Заказ 2003 Тираж 490 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СЧСР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101