Интерферометр для измерения линейных перемещений

Номер патента: 823846

Опубликовано: 23.04.1981

Авторы: Биенко, Буров, Чехович

МПК: G01B 9/02

Метки: двухлучевой, измере-ния, интерферометр, линейных, перемещений

...снабжен двумядополнительными парами регулируемыхмежду собой блоков отражательных призм, выполненных идентично основным и установленных симметрично от-.65 носительно каждой иэ них соответствендругой основной пары, двумя полупрозрачными пластинами, установлен-ными по ходу лучей перед входнойгранью каждой иэ дополнительных паррегулируемых блоков призм параллельно плоским зеркалам, установленнымперед входной гранью каждой из основных пар регулируемых блоков призмсоответственно, и светоделителем, выполненным в виде прямоугольной призмы с отражающими катентными гранямии установленным по ходу лучей переднаблюдательной системой.На чертеже представлена принципиальная. схема предлагаемого интерферометра.15Интерферометр содержит основание1,...

Номер патента: 1525445

Опубликовано: 30.11.1989

Автор: Старков

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, перемещений

...по амплитуде полупрозрачным слоем на отраженный пучок ",б" и проходящий "в" внутрь призмы. Проходящий пучок "в" отражается на гранях полного внутреннего отражения и возвращается обратно на полупрозрачную поверхность. Отраженные пучки а и б направляются вдоль оси Х и падают на гипотенузную грань отражателя 4. Пучок "б" преломляется, отражается на гранях отразателя 4 и возвращается параллельно самому себе вновь на светоделитель 3, где встречается с пучком "в", Оба пучка "б" и "в" делятся вторично по амплитуде, интерферируют и создают две системы интерференционных полос в плоскостях регистрирующих блоков 6 и 7.Пучок "а" падает на гипотенуэную грань отражателя 4 в месте полупрозрачного слоя, где делится нм по амплитуде нв два равных...

Номер патента: 149228

Опубликовано: 01.01.1962

Авторы: Голубкова, Коронкевич, Финкельштейн

МПК: G01B 9/02

Метки: интерферометр, концевых, мер, плоскопараллельных, проверки

...10, расположенные против измерительныхповерхностей концевых мер, покрыты светоделительным слоем 1 серебра или алюминия.Лучи, отраженные от передних поверхностей мер и светоделигельного слоя пластины, а также задних поверхностей и призмы, интерфсрируют. Картины интерференционных полос рассматриваются через наблюдательную систему, состоящую из объектива 12 и зрительной тру.бы 13 небольшого увеличения,терферометр пенсатор тип асшприть сак для тельного149228Отрицательная линза 14 вводится в ход лучей перед началом измерения. При этом можно видеть изображение входного зрачка, отраженного от передних и задних поверхностей концевых мер, а также от пластины 7 и призмы 10.По виду и взаимному расположеник интерференционных полос судят о...

Номер патента: 1578458

Опубликовано: 15.07.1990

Автор: Соколов

МПК: G01B 11/02, G01B 9/02

Метки: интерферометр, линейных, перемещений

...за счет воэможности задания требуемой точности измерения, например, при использовании в устройствах совмеще- ния для микролитографии.На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для измерения линейных перемещений.Интерферсметр содержит источник 1 света, полупрозрачные зеркала 2 и 3,расположенные на оси источника 1 света, уголковые отражатели 4 и 5 (уголковые отражатели могут состоять как из двух, так и из трех отражающих поверхностей), расположенные по обе стороны от полупрозрачных.зеркал 2 и 3, со смещением по оси Х друг относительно друга. Величина смещения а определяется размером в полупрозрачных зеркал (эеркало 2 не должно перекрывать пучки света, отраженные от отражателей 4 и 5, то есть ав/2) Один из уголковых...

Номер патента: 1000746

Опубликовано: 28.02.1983

Авторы: Милосердин, Ремизов, Сизов

МПК: G01B 9/02

Метки: двухлучевой, интерферометр, объектов, перемещений

...перемецений объектов; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.Двухлучевой интерферометр для . измерения перемещений объектов со держит монохроматический источник 1 света, узел разделения и рекомбинации опорного и основного пучков лучей, состоящий из плоских отклоняющих зеркал 2, 3, 4 и светоделительных пластин 5, б, 7, ближнюю к узлу разделения и рекомбинации двух пучков лучей систему неплоских отражателей с параллельным ходом лучей, состоящую из центрапьного зеркала 8 и главного вогнутого зеркала 9, выполненного в виде сегмента, симметричного относительно его диаметра, и дальнюю систему неплоаких отражателей, состояцую из главного вогнутого зеркала 10 и цент рального зеркала 11, Фотоприемники 12 для реверсивного счета интерференционных...