Интерферометр

ЕТЕНИЯ измерительции интерферешетками, и учных исслеых условиях оверхностей прозрачных С (Л ние надежзадания веов,рианты кон- интерфероналожения ракционных неплоскопаину 1. нанеажательные а фиг.З плав интерфешелетты) и на фиг.4 одГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗО К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС(54) ИНТЕ РФЕ РОМ ЕТР(57) Изобретение относится к измерительнойтехнике и предназначено для исследованиякачества поверхности. Цель изобретения -Изобретение относится кной технике, точнее к конструкрометров с дифракционнымиможет быть использовано в надованиях и в производственндля исследования качества иизделий и неоднородностей всредах.Цель изобретения - повышности интерферометра за счетличины сдвига волновых фронтНа фиг,1 - 5 изображены ваструкций (волновых фронтов)метра; на фиг,б - схемыволновых фронтов в двух дифмаксимумах.Интерферометр содержитраллельную прозрачную пластсенные на ее поверхности отрдифракционные решетки 2 и 3 (стина 3 выполнена сплошной,рометре на фиг.5 - в видеподложку 4. В интерферометре повышение надежности. Эта цель достигается заданием величины сдвига волновых фронтов, Излучение отражается одной из решеток, нанесенной на пластину, выполненную в виде эшелетты или мозаики из двух совмещенных одна с другой матриц прозрачных элементов в виде полостей или штабиков, расположенных заданным образом, и распределяется по дифракционным максимумам. Различие в величине смещения волновых фронтов, отраженных от обеих решеток, определяет величину сдвига максимумов в интерференционной картине. б з.п. ф-лы, б ил. на из поверхностеи пластины плоская, а другая имеет форму поверхности вращения, В интерферометрах на фиг,2 - 5 пластина выполнена в виде мозаики из двух совмещенных одна с другой матриц 5 и б прозрачных элементов в виде параллельных полос с различными показателями преломления.В интерферометре (фип.З - 5) одна из матриц выполнена в виде параллельных полостей 7, В интерферометре на фиг.4 часть 8 пластины 1 выполнена плоскопараллельной (9 - падающее излучение, 10 и 11 - излучение, отраженное соответственно от "внутренней" и от "наружной" дифракционных решеток,Работу интерферометра можно рассмотреть на примере интерферометра с эшелеттой (фиг.5), Падающее излучение 9, отражаясь от "наружной" решетки 2, распределяется по дифракционным максимумам, причем направление а 2 на максимум и-го порядка определяется выражением в 1 п а 2 = и л, /б, где б - шаг решетки, 1640529длина волны излучения. Излучение, отразившееся от решетки 3 в максимум того же и-го порядка, направлено под углом а 1, определяемым выражением зи а= (п- -2 Ь)/О, где Л- разность глубин друх соседних полостей. Видно, что аа р, Кроме того, из сопоставления выражений для гхоз и а 2 следует, что разность а 2 - адля различных дифракционных максимумов различна, Следовательно, различна и величина смещения волновых фронтов, отраженных от решеток 2 и 3. Таким образом, в максимумах разных порядков одновременно образуются интерференционные картины с различной величиной сдвига.Величина сдвига волновых фронтов в максимумах в интерферометре задается заранее самой конструкцией и может быть определена с высокой очностью, что повышает точность измерений. Формула изобретения 1, Интерферометр, содержащий дифрэкционную решетку, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности дифракционная решетка выполнена на поверхности неплоскопараллельной прозрачной пластины, на другую поверхность которой нанесена другая дифракционная решетка так, что обе решетки смещены одна относительно другой,2. Интерферометр по п,1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что пластина укреплена на подложке,3, Интерферометр по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения контрастности интерференционной картины, пластина выполнена в виде мозаики не менее чем из двух совмещенных о;,н с другой матриц прозрачных злемвнтов в видепараллельных полос с различными показагелями преломления и с отражающим сло 5 ем, нанесенным на одну из внешнихповерхностей пластины и не противолежащую ей поверхность пластины,4, Интерферометр по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения10 контрастности интерференционной картины,пластина выполнена в виде мозаики не менее чем из двух совмещенных одна с другойматриц прозрачных элементов в виде расположенных параллельно штабиков с различ 15 ными показателями преломления и сотражающим слоем, нанесенным на одну извнешних поверхностей пластины и на противолежащую ей поверхность пластины,5, Интерферометр по п,1, о т л и ч а ю 20 щ и й с я тем, что, с целью повышенияконтрастности интерференционной картины, пластина выполнена в виде мозаики неменее чем из двух совмещенных одна с другой матриц прозрачных элементов, выпол 25 ненных у одной из матриц в виде полостейв форме расположенных параллельно канавок или цилиндрических каналов.6. Интерферометр по п,1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения30 контрастности интерференционной картины, одна из дифракционных решеток выполнена в виде эшелетты,7, Интерферометр по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения35 яркости интерференционной картины в одном из максимумов, одна из поверхностейпластины выполнена плоской, а другая - ввиде поверхности вращения,,Козориз Техред М.Моргентал Корректор А.Обр акт Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 1 Заказ 1012 Тираж 393 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5