Сканирующая система интерферометра

/02 ОПИС ОБРЕТЕНИЯ ЬСТ 8 ОМУ СВИД В(прототип). 36 Бю 88. 8) иде,тельство СС3 3/06, 1975 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРГЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТЮ(54) (57). С)ИННРУЩАЯ СИСТЕМА ИНТЕРфЕРОИЕТРА, содержащая газостатическую опору, средстводля перемещения зеркала, выполненное в виде поплавка, размещенного в гаэостатической опоре, источник сжатого га-.за и привод, связанный с поплавком,о т л и ч а ю щ а я с я тем, что,с целью увеличения диапазона сканирования, она снабжена штуцером,установленным с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оси его выходного отверстия, вход штуцера подключен к источнику сжатого газа, распределительной камерой с двумя. выходами, вход которой подключеч к выходу штУцера, и рычагом, связанным одним койцом с поплавком, другим - со штуцером, газостатическая опора выполнена в виде двух радиальных гаэостатических подшипников, каждый иэ которых. содержит две камеры подвода смазки одна иэ которых подключена вЫходом к соплам подшипника, расположениьи с одной стороны осевой плоскости, общей для двух подшипников, другаяк соплам подшипника, расположенным щ с другой стороны плоскости, а каждый иэ выходов распределительной камеры соединен с накрест лежащими камерами разных подшипников.50 На чертеже представлена сканирующая система интерферометра,Сканирующая система интерферометра содержит гаэостатическую опору 1., средство для перемещения зеркала.2, выполненное в виде поплавка 3, размещенного н газостатической опоре 1, источник 4 сжатого газа,привод 5, штуцер б, установленныйс возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оси его ныходного отверстия, вход штуцера бподключен к источнику 4 сжатого газа, распределительную камеру 7 сдвумя выходами, вход которой подключен к выходу штуцера б, рычаг 8,60 65 Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и можетбыть использовано н интерференционных приборах, н частности в спектрометрах Фурье и Фабри-Перо.Известна сканирующая система ин"терферометра, содержащая газостати-,ческую опору, средство для перемещения зеркала, выполненное в ниде поплавка, размещенного в.газостатической опоре, источник сжатого газа и 10привод, связанный с поплавком 1 .Недостатком известного устройства является небольшой диапазон сканиронания вследствие перекоса зеркала возникающего эа счет перераспределения нагрузки на опору приперемещении поплавка,Цель изобретения - увеличение диапазона сканирования,Поставленная цель достигается 20тем, что сканирующая система интерферометра, содержащая гаэостатическую опору, средство для перемещения зеркала, выполненное н виде поплавка, раэмещенного в газостатической опоре, источник сжатого газа ипривод, связанный с поплавком,снабжена штуцером, устанонленным с возможностью перемещения в плоскости,перпендикулярной оси его выходногоотверстия, вход штуцера подключен кисточнику сжатого газа, распределительной камерой с двумя выходами,вход которой подключен к выходу Штуцера, и рычагом, связанным однимконцом и поплавком, другим - со35штуцером, гаэостатическая опора выполнена н виде двух радиальных газостатических подшипников, каждыйиэ которых содержит дне камеры подвода смазки, одна, иэ которых .подключена выходом к соплам подшипника,расположенным с одной стороны осевойплоскости, общей для двух подшипников, другая - к соплам подшипника,расположенным с другой стороны плоскости, а каждый из выходов распределительной камеры соединен с накрест лежащими камерами разных подшипников,связанный одним концом с поплавком3, другим - со штуцером б,неподвижное зеркало 9 интерферометра, Гаэостатическая опора 1 выполненав виде двух радиальных газостатических подшипников ( не обозначены),один из которых содержит дне камеры10 и 11 подвода смазки, а другой -две камеры 12 и 13 подвода смаз. -ки. Каждая из камер 10 и 12 подключена выходом к соплам (не обозначены) подшипника, расположеннымс верхней стороны осевой плоскости,общей для двух подшипников, каждаяиэ камер 11 и 13 - к соплам подшипника, расположенным с нижней стороны плоскости, а каждый из выходовраспределительной камеры 7 соединенпосредством тройников 14 и 15 снакрест лежащими камерами 10,13 и11,12 разных подшипников,Сканирующая система интерферометра работает следующим образом.1Сжатый гаэ, например воздух,отисточника 4 через штуцер б, распределительную камеру 7, тройники 14и 15, камеры 10 - 13 поднода смазки и через сопла газостатическихподшипников поступает н зазор между поверхностями газостатическойопоры 1 и поплавка 3, При этом поплавок 3 всплывает и оказывается всостоянии перемещаться беэ трениявнутрн опоры 1. Перемещение зеркала 2 осуществляется приводом 5.В исходном положении поплавок 3сбалансирован относительно горизонтальной оси, и при этом положение штуцера б относительно входараспределительной камеры 7 таково,что но всех камерах 10 - 13 подводасмазки создается одинаковое давление. В процессе сканирования осущест-вляется перемещение поплавка 3 сзеркалом 2 под действием привода 5.ОдновРеменно с этим с помощью рычага 8 перемещается штуцер б, которыйперераспределяет подачу газа н распределительную камеру 7 таким образом, что в нижней камере подвода смазки, в сторону .которой движется .поплавок 3, и в верхней камере подводасмазки, от которой он удаляется,давление газа увеличивается, а в двухостальных камерах давление уменьшается, Например, при движении поплавка3 Вправо давление в камерах 11 и12 увеличивается, а н камерах 10 и13 уменьшается,В результате этого формируются.вращающие моменты, неличина и направле-, ние действия которых при любом положении поплавка 3 компенсируют его разбалансировку, тем саьым сохраняя гогиэонтальное положение оси поплавка4 1044965 Составитель Б. ПотаповРедактор Н.Стащишина ТехредА,Бабинец Корректор А.Повх Заказ 7532/37 Тираж 602 ВНИНПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Подп ис но е филиал ППП фПатент, г.Ужгород, ул. Проектная, 4 3 на всей длине его перемещения. Тем,самим угловое положение зеркала 2,при перемещении остается неизменнымпо отношению к зеркалу 9, и контрастность интерференционной картины не уменьшается в процессе сканирования. Таким образом, выполнение газо- статической опоры в виде двух ра- диальных подшипников и введение штуцера, распределительной камеры и рычага, установленных описанным образом, позволяет увеличить диапазон сканирования.