Устройство для контроля направляющих

ТРОЛЯ источник - Перо, х одна ями, при о метров ортогональноозрачной плажно. СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИ ПИСАНИЕ ИЗА ВТОРСКОМУ СВИДЕ(561,1. Голубкова В.Двойной лазерный интеделения положения обмеханическая промышлс. 29-31.2, Патент ФРГ2кл. Сг 01 В 9/02, опубл(54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОН НАПРАВЛЯЮШИХ, содержащее света, два интерферометра Фабр состоящих из пластин, обращенн к другой отражающими поверхност этом одни пластины обоих интерфе 1073565 нтролируемой подвижной другие, им соответствую- неподвижно, и. систему интерференционных потем, что, с целью повынтроля, в устройство доны две прозрачные пласрых соединена с контроой направляющей, а друподвижно, при этом пластров Фабр и - Перо выными, две из них устаьно друг другу на просоединенной с контролинаправляющей, а сооте другие пластины закреподна другой клиньями стине, установленной неустановлены на ко направляющей, а щие, закреплены отсчета смещения лос, отличающееся щения точности ко полнительно введе тины, одна из кото лируемой подвижн гая установлена не тины интерфероме полнены клиновид новлены параллел зрачной пластине, руемой подвижной ветствующие им дв ленына прподви1073565 Составитель В. Траут Редактор К. Волощук Техред И. Верее Корректор Л. Тяско Заказ 11797/37 Тираж 587 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР ло делам изобретений и открытий 3035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д, 4/5 Филиал ППП Гатент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в интерферометрических устройствах контроля для изготовления высокоточных направляющих интерференционных приборов.Известно устройство для контроля направляющих, содержащее источник света, двойной интерферометр Майкельсона и систему отсчета смещения интерференционных полос 11.Недостатком данного устройства является ограничение точности контроля свойствами двухлучевого интерферометра, что не позволяет определить отклонение от прямолинейности с точностью, достаточной для , создания сканирующего интерферометра. Наиболее близким к изобретению техническим решением является устройство для контроля направляющих, содержащее источник света, два интерферометра Фабри - Перо, состоящих из пластин, обращенных одна к другой отражающими поверхностями, при этом одни пластины обоих интерферометров установлены на контролируемой подвижной направляющей, а другие, им соответствующие, закреплены неподвижно, и систему отсчета смещения интерференционных полос 12.Недостатком известного устройства является ограничение точности контроля из-за отсутствия общего начала координат оптических осей интерферометров и пучка сравнения. Цель изобретения - повышение точности контроля.Поставленная цель достигается тем, что в устройство, содержащее источник света, два интерферометра Фабри - Перо, состоя.- щих из пластин, обращенных одна к другой отража 1 ошими поверхностями, при этом одни пластины обоих интерферометров установлены на контролируемой подвижной направляющей, а другие, им соответствующие, закреплены неподвижно, и систему отсчета смещения интерференционных полос, дополнительно введены две прозрачные пластины, одна из которых соединена с контролируемой подвижной направляющей, а другая установлена неподвижно, при этом пластины пнтерферометров Фабри - Перо выполнены клиновидными, две из них установлены параллельно друг другу на прозрачной пластине, соединенной с контролируемой подвижной направляющей, а соответствующие им две пластины закреплены ортогонально одна другой клиньями на прозрачной пластине, установленной неподвижно,На чертеже представлена схема устройства для контроля направляющих,Устройство содержит источник света 1,зеркала 2 и 3, объективы 4 и 5, прозрачныепластины 6 и 7, клиновидные пластины 8, 9и 10, 11, образующие два интерферометраФабри - Перо, объективы 12 и 13 и системуотсчета смещения интерференционных полос10 14, Прозначная пластина 6 соединена с контролируемой подвижной направляющей 15.Клиновидные пластины 8 и 10 установленыпараллельно одна другой на прозрачнойпластине 6, соединенной с контролируемойподвижной направляющей 15, а клиновид 15 ные пластины 9 и 11 закреплены на прозрачной пластине 7, установленной неподвижно.Устройство работает следующим образом.Монохроматический световой поток отисточника света 1 падает на два отклоняющих зеркала 2 и 3 и направляется на объективы 4 и 5, после которых два параллельных пучка лучей проходят прозрачную пластину 6, соединенную с контролируемой подвижной направляющей 5. Далее оба пуч 25 ка лучей входят в два интерферометра Фабри в Пе; образованных клиновидными пластинами 8, 9 и 10, 11, попарно закрепленныхна прозрачных пластинах 6 и 7 и образуютдве системы интерференционных полос, ортогонально расположенных в исходном по 30 ложении. Наружные отражающие поверхности пластин 8 и 10 параллельны однадругой, а наружные отражающие поверхности пластин 9 и 11 расположены под углом одна к другой, а их следы в плоскости,проходящей через наружные поверхности35 пластин 8 и О, ортогональны в исходномположении. Объективами 12 и 13 системыполос проектируются на плоскости системы.отсчета смешения интерференционных полос. При движении контролируемой направ 40ляющей 15 наружные отражающие поверхности пластин 8 и 10 наклоняются на одини тот же угол. Так как в исходном положении интерференционных полосы ортогональны,то смещение полос фиксируется относительно этого положения. Проводя последова 45 тельно измерения положения полос придвижении контролируемой направляющей15, определяют сразу по двум координатамих разворот.Устройство может быть использованодля контроля при изготовлении высокоточных направляющих для многолучевогоФурье-спектрометра.