Интерферометр для измерения децентрировки оптических систем

.801062513 А 3150 С 01 В 9 02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54)(57) 1. ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕЦЕНТРИРОВКИ 011 ТИЧЕСКИХ СИСТЕИ, содержащий расположенные последовательно источник излучения, держатель, предназначенный для закрепления измеряемой оптической системы,регистратор интерференционной картины и связанный с держателем привод, предназначенный для проворота держателя вокруг оптической оси интерферометра, о т л и ч а ю щ,и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения систем с малыми радиусами кривизны оптических поверхностей и многокомпонентных систем, он снабжен расщепителем излучения, уста новленным между держателем и регистратором.2, Интерферометр по и 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что расщепитель излучения выполнен в виде дифракционной решетки, а источник излучения - в виде осветителя и щелевой диафрагмы, ориентированной параллельЗ но штрихам решетки.Изобретение относится к контрольно-иэмерительной технике, предназначено для измерения децентрировки оптических систем и может быть использовано преимущественно в производстве, занятом изготовлением высококачественных объективов.Известно устройство для контролядецентрировки оптических компонентов по биению блика (биению изображения источника света) при вращении компонента ( 1 3.Недостатком этого устройства является низкая точность контроля,обусловленная тем, что биение бликаоценивается визуально без испольэо) вания измерительных приборов, а также отсутствие возможности контролядецентрировки многокомпонентых систем,Наиболее близким к изобретениюпо технической сущности являетсяинтерферометр для измерения децентрировки оптических систем, содержащий расположенные последовательноисточник излучения, держатель, предназначенный для закрепления измеряемой оптической системы, регистраторинтерференционной картины и связанный с держателем привод, предназначенный для проворота держателя вокруг оптической оси интерферометра 2 3.Недостатками известного интерферометра являются сравнительно низкаяточность измерения децентрировки систем с малыми радиусами кривизны оптических поверхностей, обусловленная тем, что интерференционные кольца в этом случае имеют слишком ма"лую ширину, а также сравнительнонизкая точность измерения децентрировки многокомпонентных систем,обусловленная наличием нескольких систем интерференционных колец, наложенных друг на друга.Целью изобретения является повышение точности измерения систем с 45малыми радиусами кривизны оптическихповерхностей и многокомпонентыхсистем. Поставленная цель достигается тем, что, интерферометр для измерения децентрировки оптических систем, содержащий расположенные последовательно источник излучения, держатель, предназначенный для закрепления измеряемой оптической системы, регистратор интерференционной картины и связанный с держателем привод, предназначенный для проворота держателя вокруг оптической оси интерферометра, снабжен расщепителем излучения, уста новленным между держателем и регистратором.Кроме того, расщепитель излученИя может бытьвыполнен в виде дифракционнай решетки, а источник излу чения - в виде осветителя и щелевой диафрагмы, ориентированной параллельно.штрихам решетки.На чертеже показана принципиальная схема интерферометра для измерения децентрировки оптических систем,Интерферометр содержит источник 1 излучения, держатель 2, расщепитель 3 излучения, регистратор 4 интерференционной картины и привод 5. Измеряемая оптическая система б закрепляется в держателе 2, Источник 1 излучения может быть выполнен, например, в виде осветителей и целевой диафрагмы, а расцепитель 3 излучения - в виде дифракционнорешетки. Привод 5 механически связан с держателем 2 и предназначен дляпроворота держателя 2 вокруг оптической оси интерферометра.Устройство работает следующим образом.Излучение от источника 1 проходит измеряемую оптическую систему б, разделяется расщепителем 3 на две или более части, которые интерферируют между собой и поступают в регистратор 4 интерференционной картины.Привод 5 проворачивает держатель 2 с закрепленной в нем оптической системой б вокруг оптической оси интерферометра.Проворотизмеряемой оптической системы б при наличии децентрировки приводит к изменению разности хода интерферирующих лучей, а следовательно, и к смещению интерференционных полос в плоскости регистрации. Регистратор 4 измеряет величину смещения интерференционных полос, соответствующую какому-либо углу поворота держателя 2. и определяет тем самым величину децентрировки оптической системы б. Ширина интерференционных полос определяется как параметрами расщепителя 3, так и взаимным распо- . ложением оптических элементов интерферометра, Изменяя положение расщепителя 3 относительно измеряемой оптической системы б, можно изменять расстояние между изображениями источника 1, образованными оптической системой 6 и расщепителем 3, а следовательно, и ширину интерференционных полос в плоскости регистрации при заданном расстоянии от измеряемой системы 6 до регистратора 4. Изменение параметров расщепителя 3 приводит к изменению чувствительности и точности. измерений - чем больше ширина интерференционных полос, .тем выше чувствительность измерений, Таким образом, можно обеспечить оптимальную ширину интерференционных полос для выбранного типа регист1062513 Составитель О. ФоминРедактор И. Николайчук Техред В.далекорей Корректор С.Шекмар Заказ 10204/41 Тираж 602 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Моск ва,ж, Раушская наб., д, 4/54 филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4 ратора 4 при максимальной чувствительности и точности иэмерений независимо от конкретных параметров оптических систем 6.Для наиболее полного использования мощности источника 1 излучения расщепитель 3 целесообразно выполить в виде дифракционной решетки,1,элучения - в виде осветителя иелевой диафрагмы, ориентированной нить в виде дифракционной решетки, а 10 источник 1 излучения - в виде осветителя и щелевой диафрагмы, ориентированной параллельно штрихам решет,ки.15 При этом чувствительность, а следовательно, и точность измерений тем выше, чем больше частота штрихов решетки.При использовании в качестве регистратора .4 фотоэлектрического датчика смещения интерференционных полос процесс измерений может быть автоматизирован,Снабжение интерферометра расщепителем 3 излучения, установленныммежду держателем 2 и регистратором4, обеспечивает возможность измененияв широких пределах ширины интерференционных полос при сохранении высокойчувствительности и точности измерений независимо от параметров оптической системы 6, чтоповнаает точностьизмерения децентрировки систем с малыми радиусами кривизны оптическихповерхностей. Наличие всего лишь одной системы интерференционных полоснезависимо от количества оптическихповерхностей, образующих систему,повышает точность измерения децентрировки многокомпонентныхсистем.Дальнейшее повышение точностиизмерений достигается за счет наиболее полного использования мощностиисточника излучения.Ф