Сканирующий интерферометр

СОЮЗ СОВЕТСКИХоаюламнищи РЕСПУБЛИК 2 удАРстВенный кОмитет сссР делАм изОБРетениЙ и ОТКРьГ ОПИ ИЗОБРЕТЕН И Г:,с ъЕЛЬСТ вог кий ордена Тру политехничРФЕРОМЕТР ходу све(54) (57) 1. СКАНИРУЮЩИЙ ИНТ содержащий установленные по 4 Ф АВТОРСКОМУ С(56) 1. Королеввысокой разреша1953, с. 122.2. Авторскоепо заявке Ркл. С 01 В 9/02 ЯО 109909 тового пучка пары сканирующих подвижных и неподвижных полупрозрачныхзеркал, формирующих интерференционные максимумы пропускания в промежутках, образованных рабочими плоскостями зеркал, и выходную диафрагму,о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения светосилы и разрешающей способности, между парами полупрозрачных зеркал установлена система отклонения световых пучков, расположенная так, что входящий в нее ивыходящий из нее световые пучки перпендикулярны рабочим плоскостям зеркал, а центр выходной диафрагмы установлен в центре интерференционнойкартины.1099097 2. Интерферометр по п.1, о т л ич а ю щ и й с я тем, что система отклонения световых пучков выполнена в виде последовательно установленных по ходу светового пучка призм. 1Изобретение относится к оптико-интерференционным средствам измеренияи предназначено для исследованийспектрального состава оптических излучений, 5Известны интерферометры, представляющие собой два сопряженных эталонаФабри в Пе разной толщины (мультиплексы).Недостатком таких интерферометровявляется отсутствие сканированияспектра, что ограничивает воэможности применения чувствительных методоврегистрации,Наиболее близким к изобретению 15по технической сущности и достигаемому результату является сканирующийинтерферометр, содержащий установленные по ходу светового пучка парысканируемых подвижных и неподвижных 20полупрозрачных зеркал, формирующихинтерференционные максимумы пропускания в промежутках, образованных рабочими плоскостями зеркал, и выходнуюдиафрагму 2 1.25Недостатком известного интерферометра является малая светосила и низкая разрешающая способность, обусловленные тем, что оптические оси световых пучков в нем не перпендикулярны ЗОотражающим поверхностям зеркал и неодинаковы углы падения лучей на отдельные рабочие помекутки, Это приводит к потерям света, так как на центркруглой выходной диафрагмы интерферо- З 5метра не попадает излучение, соответствующее центрам интерференционныхмаксимумов отдельных промежутков. Поэтому в нем ограничены углы междуплоскостями рабочих промежутков и их щотолщины, определяющие величину разрешающей способности.Целью изобретения является увеличение светосилы и разрешающей способности интерферометра,Ф 3. Интерферометр по п.1, о т л ич а ю щ и й с я тем, что система отклонения световых пучков выполнена в виде последовательно установленных по ходу светового пучка призмы и зеркала,2Поставленная цель достигается тем, что в сканирующем интерферометре, содержащем установленные по ходу светового пучка пары сканирующих подвижных и неподвижных полупрозрачных зеркал, Формирующих интерференционные максимумы пропускания в промежутках, образованных рабочими плоскостями зеркал, и выходную диафрагму, между парами полупрозрачных черкал установлена система отклонения световых пучков, расположенная такг что входящий в нее и выходящий иэ нее световые пучки перпендикулярны рабочим плоскостям зеркал, а центр выходной диафрагмы установлен в центре интерференционной картины,При этом система отклонения световых пучков может быть выполнена в виде последовательно установленных по ходу светового пучка призм или призмы и зеркала.На фиг. приведена схема интерферометра с отклоняющей системой, выполненной в виде двух преломляющих клиньев, образованных прозрачными подложками зеркал; на фиг.2, - схема неселективной отклоняющей системы с двумя отражателями, в качестве которых можно использовать зеркала, призмы полного внутреннего отражения.Интерферометр содержит неподвижную пару зеркал 1 и 2, неподвижную нижнюю плиту 3, подвижную пару зеркал с призмами 4 и 5, подвижную верхнюю плиту 6, зеркала 7, призму 8 и выходную диафрагму 9.Зеркала 1 и 2 установлены на неподвижной нижней плите 3 параллелограммных направляющих. Зеркала 4 и 5 установлены на подвижной верхней плите 6, связанной с нижней плоскими пружинами, усиленными в средней части накладками, Тангенсы углов г и Ч между отражающими гговерхностями зерЗаказ 4340/29 Тираж 587 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5Филиал ППП "Патент", г.Ужгород,ул.Проектная, 4 3 1099 кал и направлением сканирующего перемещения пропорциональны толщинам интерферометра 11 иУстройство работает следующим об-, разом.Пучок световых лучей падает на первую пару полупрозрачных зеркал 1 и 4, преломляется отклоняющей системой, состоящей из клиновых подложек зеркал 4 и 5 (фиг.1). При этом ось светового пучка меняет направление таким образом, что становится перпендикулярной второй паре полупрозрачньпс зеркал. Система эффективна при использовании зеркал с диэлектричес- кими отражающими покрытиями. Имея малое поглощение, зеркала обладают заметной селективностью отражения. Благодаря преломляющим углам клиньев 4 и 5 происходит отклонение излучения рабочего спектрального диапазона на угол М + Ч (или У 2 -9 если подвижные зеркала 4 и 5 наклонены в одну сторону от направления смещения) .25В качестве отклоняющей системы возможно использование отдельной дополнительной призмы, системы двух клиньев с переменным преломляющим уг 097 4лом, изменение которого возникает при встречном вращении клиньев вокруг оптической оси, комбинаций призм и зеркал. Изображенные на фиг.2 оптические элементы позиций 4,8,7, 2 могут быть заменены одной призмой с двумя полными внутренними отражениями и полупрозрачными покрытиями на входной и выходной гранях (углы Ч иразных знаков).Предложенныи интерферометр позволяет снизить потери света за счет достижения перпендикулярности светового пучка поверхностям полупрозрачных зеркал. При этом происходит выделение излучения в центрах интерференционных максимумов, что дает выигрыш в величине светового потока. Все это ведет к расширению спектрального диапазона сканирования, снимает ограничения в величинах углов между плоскостями зеркал в отдельных парах и ограничения в толщинах рабочих промежутков между полупроэрачньии зеркалами. Предложенная конструкция интерферометра позволяет расширить область применения многолучевых интерферометров в спектральньос исследованиях,