Интерферометр

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИДЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 19) (11) 1 698 А зсю С 01 В 9/02 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ АВТОРСК ВИДЕТЕЛЬСТВУ 1.НагибинаТрудовоготочной де итут детельство ССС 9/02, 1978 (пр ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Ленинградский оКрасного Знамени инсмеханики и оптики(54)(57) ИНТЕРФЕРОМЕТР по авт.св.Р 879289, отличающийсятем, что, с целью повьппения точности,он снабжен призмой АР, установленной между регистрирующимблоком и параллелепипедом, гипотенузная граньпризмы АРсовмещена с гранью параллелепипеда, имеющей полупрозрачноепокрытие, а главное сечение призмыпараллельно главному сечению параллелепипеда.нохроматического излучения делится на два пучка светоделительной гранью 7 параллелепипеда. Один из образовавшихся пучков, прошедший грань 7 параллелепипеда в прямом направлении и призму 3, остается параллельным входящему пучку и попадает на угол" ковый отражатель 4; второй пучок, отраженный гранью 7, направляется к уголковому отражателю 5 второй меньшей гранью 8 параллелепипеда. Оба отражателя 4 и 5 направляют световой поток к отражающей поверхности 9 параллелепипеда, отразившись от которой и пройдя отражатели 4 и 5 й обратном направлении, световые пучки объединяются на светоделительной грани 7 параллелепипеда и направляются на фотоэлектронный умножитель, При изменении разности хода в интерферометре благодаря двухлучевой интерференции происходит амплитудная модуляция светового потока, падающего на фотоэлектронный умножитель и по изменениям фототока судят о перемещении одного из отражателей 4 или 5 (в случае измерения линейного перемещения) или об угловом положении объекта (при установке обеих уголковых от" ражателей на поворачивающемся объекте) .Выполнение светоделительного блока в виде параллелепипеда и призмы АРпозволило обеспечить требуемую параллельность направляемых к отражателям 1 11069Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным измерителям линейных и угловых смещений объекта.По основному авт,св. Ф 879289 из"вестен интерферометр, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического излучения и светоделительный блок, оптиЧески связанныес ним два уголковых отражателя, один из которых укрепляется на объекте, и регистрирующий блок, Светоделительный блок выполнен в форме параллелепипеда, на однуиз меньших граней которого нанесено полупрозрачное покрытие, на вторую меньшую грань и одну из больших граней, обращенную куголковым отражателям, - зеркальное, светоделительный блок расположен так, что излучение от источника проходит через грань с полупрозрачным покрытием, а излучениЬ, отраженное от другого уголкового от ражателя, падает на меньшую зеркальную грань 11 .Недостатком известного интерферометра является недостаточно высокая точность из-за существенного влияния низкого уровня контрастности интерференционной картины, обусловленного расходимостью интерферирующих пучков..Цель изобретения - повышение точ" ности за счет увеличения контрастности интерференционной картины путем обеспечения параллельности лучей, выходящих из светоделительного блока.Поставленная цель достигается тем, что интерферометр, содержащий последовательно расположенные источник монохроматического йзлучения и светоделительныи олок, оптически связанные с ним два уголковых отражателя, один из которых укрепляется .на объекте, и регистрирующий блок, а светоделительный блок выполнен в форме параллелепипеда, на одну из меньших граней которого нанесено полую прозрачное покрытие, на вторую меньшую грань и одну из больших граней, обращенную к уголковым отражателям, зеркальное, светоделительный блок расположен так, что излучение от ис точника проходит через грань с полупрозрачным покрытием, а излучение, отраженное от другого уголкового отражателя падает на меньшую зеркальную грань, снабжен призмой АР, ус тановленной между регистрирующим блоком и параллелепипедом, гипотенузная грань призмы АРсовмещена с 84 2 гранью параллелепипеда, имеющей полупрозрачное покрытие, а главное сечениепризмы параллельно главному сечениюпараллелепипеда.На чертеже изображена оптическаясхема интерферометра.Интерферометр содержит источникмонохроматического излучения, светоделительный блок 2, выполненный в видепараллелепипеда, призму 3 АР,уголковые отражатели 4 и 5 и регистрирующий блок 6 в виде фотоэлектронного умножителяПризма 3 АРустановлена междурегистрирующим блоком 6 и параллелепипедом, гипотенузная грань призмыАРсовмещена с меньшей гранью 7параллелепипеда, имеющей полупрозрачное покрытие, а главное сечение приз"мы 3 параллвльно главному сечениюАпараллелепипеда,Интерферометр работает следующимобразом.Световой поток от источника 1 моВ предлагаемом интерферометре благодаря указанному выше выполнениюСоставитель Л.ЛобзоваРедактор Е.Папп Техред Л.Коцюбняк Корректор О.Тигор Заказ 5743/27 Тираж 587 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5 Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4 3 1106984 4 световых пучков, не снижая, при эТом. светоделительного блока исключено достигнутои стабильности оптической влияние расходимостиинтерферирующихлучей и, как следствие, достигнутоповышение контрастности интерференционной картины, приводящее к повышению точности;