Бернухов
Сканирующее интерференционное устройство с компенсацией фона
Номер патента: 1048307
Опубликовано: 15.10.1983
Авторы: Бернухов, Журавлев, Панкин, Федоринин
МПК: G01B 9/02
Метки: интерференционное, компенсацией, сканирующее, фона
...на два канала и установленные в каждом канате концевой отражатель, включающий в себя сферическоезеркало, а в одном из каналов - блокформирования двух взаимно дополняющихинтерференционных картин 2 1,Компенсация фона в известном устройстве основана, на взаимодействиидвух взаимно дополняющих интерференционных картин; получаемых с помощьюрасгров, входящих в блок формированияэтих картин и установленных в каждомканале устройства. При этом растрывыполнены в виде прозрачных и непрозрачных полос, ширина полос больше размера иэображения, а положение полос относительно оптической оси одного растраобратно положению полос второго растраНедостатками известного устройстмтвпяются низкая точность и помехоуотойчивость измерений, обусловленныепотерей...