C23C 14/00 — Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие

Номер патента: 1824455

Опубликовано: 30.06.1993

Авторы: Соловьев, Тюгашкина

МПК: C23C 14/00, C23C 4/00

Метки: алюминиевых, сплавов, упрочнения

...напыление покрытия обыч 5 но ведется с оптимального расстояния (дистанции), которое определяется следующимифакторами: она должна обеспечить прогревпорошка до температуры плавления материала в момент встречи с подложкой; обес 10 печить минимальное тепловыделение внапыляемую деталь и при этом не превышать границу. за которой частица начинаетостывать, Варьировать дистанцию напыления можно, изменяя скорость полета час 15 тиц, которая в первую очередь зависит отскорости плазменной струи и плотности напыляемого материала. Однако для группыматериалов, сходных по своим теплофизическим свойствам, в частности сплавов на20 основе меди, диапазон применяемых скоростей постоянен и, следовательно, дистанция напыления, обеспечивающая приданной скорости...

Номер патента: 1827396

Опубликовано: 15.07.1993

Авторы: Бодров, Жадкевич, Ковалев, Левин, Малашенко, Мовчан, Рыбников, Скляров, Чижик, Яковчук

МПК: C23C 14/00

Метки: жаростойкого, композиционного, лопатках, покрытия, турбины

...ОС, 8.ч + 820 С, 15 ч, с промежуточным охлаждением до 300 С. Из табл.1 и 2 видно, что по предлагаемому способу в заявленном диапазоне повышается корроэионная стойкость покрытия при одновременном сохранении удовлетворительной прочности сцепления керамики с металлическим слоем,Таблица 1 Термоциклическая прочность композиционного электронно-лучевого покрытия металл/керамика притеплослипах 520-850 С и нагрев-охлаждениедробеструйная уплотняющая обработка металлического покрытия микрошариками диаметром 100-200 мкм на сплаве Р 6 М 5 при 20 С в течение 3-5 мин;второй дифФузионный отжиг в вакууме при 1030 + 10 ОС, 2 ч.нанесение промежуточного связующего слоя толщиной 3-8 мкм с осаждением в вакууме из того же материала, что и основное...

Номер патента: 1827397

Опубликовано: 15.07.1993

Авторы: Акрымов, Карпова, Малашенко, Рабинович, Рыбников, Силенко, Сотников, Трофименко

МПК: C23C 14/00, C23C 14/02

Метки: газовой, жаростойкого, композиционного, лопаток, покрытия, турбины

...подслоя состава Со-Сг-А 1-У (СДП 11 А) толщиной 20 - 40 мкм испарением в вакууме,Нанесение второго металлического слоя состава Со-Сг-А 1-У (СДПЗА) 40 - 90 мкм испарением в вакууме.Диффузионный отжиг в вакууме при температуре 1050 С в течение 2-х часов, Операция сухой обдувки корундом.Последующее нанесение керамического слоя диоксида Лг, стабилизированного У 20 з толщиной 50 - 200 мкм, Дифф. отжиг 1030 С - 2 ч,Восстановительная термическая обработка по режиму: 950 С, 16 час.П р и м е р 2. Проводилось нанесение металлического подслоя состава Со-Сг-А 1-У (СДП 11 А) толщиной 20 - 30 мкм испарением в вакууме.Нанесение металлического подслоя составаа Со-Сг-А 1-У (СДПЗА) 40 - 80 мкм испарением в вакууме.Диффузионный отжиг в вакууме при...

Номер патента: 1834911

Опубликовано: 15.08.1993

Авторы: Андреев, Григорьев, Саблев

МПК: C23C 14/00

Метки: вакуумно-плазменного, нанесения, покрытий, установках

...ным траекториям, Разряд возбуждается между катодом 2 и анодом 5. На изделие для проведения процесса химико-термической обработки подают отрицательный потенциал от иСточника 10. Ионы азота ускоряются под воздействием потенциала к поверхности изделия, бомбардируют ее, очйщая поверхность и одновременно прогревая иэделие. Рри температуре иэделия свыае 400 С становится существенным процесс диффузии азота в изделие с образованием упрочнеыного поверхностного слоя. 8 процессе работы возможно образование дуговых пробоев на поверхности изделия, особенно в местах ззгрязнений на поверхности. При образовании дугового пробоя происходит скачок тока в цепи вйпрямителя 12, срабатывает токовое реле 3, отключая контактами Р 1 и Р 2 высоковольтный...

Номер патента: 1835433

Опубликовано: 23.08.1993

Авторы: Заборов, Селедков, Соловьев, Тучин

МПК: C23C 14/00

Метки: литейных, преимущественно, форм, штампов

...движения,Электронным лучом разогревают материал антиадгезионного слоя до температуры испарения и наносят слой толщиной 30 - 40 мкм на подложку.После нанесения антиадгезионного слоя электронным лучом вспомогательной пушки 10 разогревают подложку до определенной температуры, а затем электронным лучом пушки 2 доводят материал покрытия, находящийся в водоохлажденном тигле 3, до температуры испарения и проводят нанесение покрытия до толщины 2 мм. В течение всего процесса подложка совершает сложное движение, а именно: возвратно-поступательное в совокупности с вращатель При значениях Т пл, антиадгезионного слояТ пл. основного слоябольше 0,56, например, в случае Сц и М, это соотношений составляет 0,74, при съеме покрытия с подложки нарушается...

Номер патента: 1836487

Опубликовано: 23.08.1993

Авторы: Витторио, Джанфранко, Джованни

МПК: C23C 14/00

Метки: вакууме, гидрида, металла, металла,полученной, нанесения, пленки, пленкой, пленок, полученной, применение, способом, субстрата

...образец4 +с энергией 2,2 МеЧ и под углом 750. Как известно, эти два метода позволяют 50 определить концентрацию атомов в см, в результате чего можно сразу подсчитать стехиометрию гидрида, В данном случае получили величину соотношения Н/Т в интервале от 1,7 до 2. 55Анализ пленки при помощи малоуглового рентгеновского излучения подтвердил присутствие одной фазы гидрида титана, тогда как негидрированный титан имеет гексагонал ьную кристаллическую решетку. Анализ с помощью Оже-спектроскопиипоказал, что кислород содержится только ввиде примеси с концентрацией менее 1 ф,П р и м е р 2. На субстрат, представляющий собой стеклянную пластину размерами 5 х 5 см, была осаждена пленка гидрида титана при помощи того же оборудования и тем же...

Номер патента: 2001968

Опубликовано: 30.10.1993

Авторы: Радзевич, Румянцев, Шкиров

МПК: C23C 14/00, C23C 14/34

Метки: вакууме, декоративных, нанесения, покрытий

...используемых материалов и упрощение технологического процесса.Цель достигается выбором материала грунтовочного слоя, препятствующего газо- выделению из материала изделия, который в то же время должен обладать хорошей адгеэией, не содержать растворителей, взаимодействующих с материалом изделия и нарушающих структуру и рельеф его поверхности, скрыть все дефекты поверхности, возникающие при изготовлении и обработке иэделий, и обеспечить необходимое качество поверхности для последующей металлизации, В качестве грунтовочного слоя использован лак на основе смеси пентафталевых и нитроцеллюлозных составляющих с отвердителем при конкретном содержании исходных компонентов, Коэффициент термического расширения данного лака должен соответствовать...

Номер патента: 1494554

Опубликовано: 15.03.1994

Авторы: Дмитриев, Колпаков, Маслов, Новиков

МПК: C23C 14/00

Метки: абразивный, инструмент

АБРАЗИВНЫЙ ИНСТРУМЕНТ, содержащий металлическую основу и покрытие из алмазоподобного углерода, отличающийся тем, что, с целью повышения качества инструмента за счет увеличения твердости поверхностного слоя покрытия толщиной более 50 мкм, толщина наружного слоя алмазоподобного покрытия составляет 5 - 10 мкм, а между покрытием основы и наружным слоем размещен промежуточный слой из тугоплавкого металла толщиной 0,05 - 0,2 мкм.

Номер патента: 1723827

Опубликовано: 15.06.1994

Авторы: Горбунов, Кононов, Коськина, Новиков, Шайн

МПК: C23C 14/00

Метки: нанесения, покрытий

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ, содержащее корпус и размещенные в нем нагреватель, тигель с исходным материалом наносимого покрытия и выходное сопло, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет уменьшения размеров наносимых частиц, разброса фракционного состава и повышения однородности свойств покрытия, нагреватель выполнен в виде автономного источника высокоэнтальпийного газа или плазмы, а сопло установлено в корпусе с возможностью перемещения относительно источника газа или плазмы.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно снабжено дополнительным автономным подвижным источником высокоэнтальпийного газа или плазмы, размещенным в корпусе соосно с соплом.

Номер патента: 1552676

Опубликовано: 30.06.1994

Авторы: Капустин, Станишевский, Точицкий

МПК: C23C 14/00

Метки: вакууме, металлизации, поверхности, полимерных

СПОСОБ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛИМЕРНЫХ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ, включающий предварительную очистку поверхности, нанесение промежуточного слоя и покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения адгезии покрытия, в качестве промежуточного слоя наносят пленку углерода толщиной 5 - 250 нм со скоростью осаждения 2 - 20 нм/мин.

Номер патента: 1291009

Опубликовано: 30.06.1994

Авторы: Зеленковский, Перекатов, Селифанов, Точицкий

МПК: C23C 14/00, H05H 1/34

Метки: возбуждения, генераторе, импульсном, плазмы, разряда, электроэрозионной

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВОЗБУЖДЕНИЯ РАЗРЯДА В ИМПУЛЬСНОМ ГЕНЕРАТОРЕ ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННОЙ ПЛАЗМЫ по авт. св. N N 1168070, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности устройства и увеличения срока службы, оно дополнительно снабжено сферическим или шарнирным подшипником, одно из колец которого установлено соосно с катодом и закреплено, а держатель изолятора смонтирован на подвижном кольце подшипника соосно с ним и соединен с поджигающим электродом.

Номер патента: 1671057

Опубликовано: 30.09.1994

Автор: Ряхин

МПК: C23C 14/00, H01C 17/00

Метки: белого, керамических, микрозагрязнений, обнаружения, поверхности, подложек, резисторов, тонкопленочных, цвета

СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ МИКРОЗАГРЯЗНЕНИЙ НА ПОВЕРХНОСТИ КЕРАМИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК БЕЛОГО ЦВЕТА ДЛЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ, включающий термическое испарение в вакууме и конденсацию материала-анализатора на поверхности подложки при комнатной температуре и последующее выявление микрозагрязнений путем визуального контроля наличия темносерых участков конденсата материала-анализатира на поверхности подложек, отличающийся тем, что, с целью повышения технологичности, в качестве материала-анализатора используют цинк, а его термическое испарение и конденсацию осуществляют при величине вакуума (3,99 - 13,3) 10-3Па.

Номер патента: 1580852

Опубликовано: 09.06.1995

Авторы: Зыков, Качанов, Марущенко, Фареник, Юнаков

МПК: C23C 14/00

Метки: вакууме, диэлектрических, мишеней, поверхностей

СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ В ВАКУУМЕ, включающий бомбардировку мишеней ускоренным пучком положительных ионов и компенсацию заряда электронами катода-нейтрализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки за счет улучшения однородности обработки и снижения вносимой дефектности, на поверхность катода-нейтрализатора подают положительный потенциал (B), выбираемый из выражения5 kТ e < E; < U,где k постоянная...

Номер патента: 1137775

Опубликовано: 27.11.1995

Автор: Левченко

МПК: C23C 14/00

Метки: пленок, сегнетоэлектрических

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, включающий распыление исходного материала в среде кислорода и осаждение его на нагретую подложку, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических свойств пленок, процесс осаждения проводят циклично, при этом после каждого цикла осаждения температуру подложки и давление кислорода увеличивают до температуры не более 0,8 температуры плавления исходного материала и до давления не более 26664,4 Па соответственно, проводят термообработку пленки, снижают температуру подложки и давление кислорода до первоначальных значений и проводят следующий цикл осаждения.

Номер патента: 1512173

Опубликовано: 27.09.1996

Авторы: Буданова, Бурматнов, Гречанюк, Лунев, Мовчан, Неизвестных, Самсонов, Чирков, Чухин, Шавкунов

МПК: C23C 14/00

Метки: покрытия, теплозащитного

Способ получения теплозащитного покрытия, включающий нанесение жаростойкого подслоя из сплава никель-хром-алюминий-иттрий и внешнего керамического слоя из стабилизированного диоксида циркония методом электронно-лучевого испарения, вакуумный отжиг и окислительный отжиг, отличающийся тем, что, с целью повышения термостойкости и контроля прочности сцепления керамического слоя с подслоем, окислительный отжиг проводят при 700 780oС в течение 1-3 ч с последующим охлаждением на воздухе.

Номер патента: 1485666

Опубликовано: 20.01.1997

Авторы: Карпов, Пучкарева, Теплоухов, Тимошников

МПК: C23C 14/00

Метки: ионно-плазменных, покрытий, упрочнения

Способ упрочнения ионно-плазменных покрытий, включающий обработку поверхности изделия ионами азота с последующим осаждением покрытий из нитридов или боросилицидов металлов конденсацией с ионной бомбардировкой, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытий и прочности сцепления покрытия с подложкой, обработку поверхности изделия проводят путем облучения пучком ионов азота с энергией 3 10 кэВ в течение 10 45 мин, а после нанесения покрытия проводят облучение изделия -квантами дозой 107 - 108 рад при 10 300oС.

Номер патента: 1491025

Опубликовано: 27.04.1999

Авторы: Игошев, Николаев, Табаков, Шестернинов

МПК: C23C 14/00

Метки: быстрорежущих, инструментов, сталей, упрочнения

Способ упрочнения инструментов из быстрорежущих сталей, основанный на вакуумно-плазменном нанесении покрытий, содержащих соединения металлов четвертой и шестой групп Периодической системы элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости инструментов, покрытие наносят в два этапа, сначала при 580-650oC, затем при 250-300oC, причем на первом этапе покрытие наносят толщиной, составляющей 15-25% от общей толщины покрытия.

Номер патента: 1506925

Опубликовано: 27.04.1999

Авторы: Езерский, Кудюров, Николаев, Табаков, Шерстнев

МПК: C23C 14/00

Метки: инструмента, повышения, режущего, стойкости

Способ повышения стойкости режущего инструмента, включающий очистку инструмента в вакуумной камере, распыление катода вакуумно-дугового испарителя в среде реакционного газа, конденсацию покрытия на поверхность инструмента с ионной бомбардировкой, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологического процесса, катод выполняют из алюминида металла IV-VI групп Периодической системы элементов с содержанием алюминия 50 - 80 ат.%.

Номер патента: 1536850

Опубликовано: 20.05.1999

Авторы: Игошев, Николаев, Табаков, Шестернинов

МПК: C23C 14/00

Метки: износостойкости, инструментов, повышения

Способ повышения износостойкости инструментов, включающий вакуумно-плазменное нанесение покрытия в два этапа, сначала при температуре, превышающей температуру нанесения покрытия на последующем этапе, толщиной, составляющей 15 - 25% от общей толщины покрытия, с последующим нанесением покрытия при 250 - 300oC, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости твердосплавных инструментов, на первом этапе наносят покрытие при 650 - 700oC.

Номер патента: 1135223

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Веревкина, Субботин, Табатадзе

МПК: C23C 14/00

Метки: ионно-плазменного, металлических, нанесения, пленок, тонких

Способ ионно-плазменного нанесения тонких металлических пленок преимущественно на полиэтилентерефталатную подложку путем распыления ионами аргона в вакууме материала мишени и осаждения его на движущуюся подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет улучшения их оптической прозрачности, электропроводности и адгезии к подложке, осаждение ведут при плотности тока разряда 0,8 - 1,2 мА/см2 и скорости осаждения распыляемого материала 0,37 - 2,1 10-7 г/см2 с, при этом скорость движения подложки составляет 1...

Номер патента: 913911

Опубликовано: 20.07.1999

Авторы: Коник, Куценко, Печкин, Решетько, Субботин, Шишханов

МПК: C23C 14/00, H05H 1/00

Метки: напыления, плазменный, реактор

Плазменный реактор для напыления, содержащий камеру, по крайней мере два плазмотрона, установленные в стенке камеры, систему подачи напыляемого материала, отличающийся тем, что, с целью повышения качества напыления и экономичности процесса, камера выполнена сферической формы, а точка пересечения осей плазмотронов совпадает с центром камеры.

Номер патента: 884482

Опубликовано: 10.11.1999

Авторы: Васильев, Герасименко, Ободников

МПК: C23C 14/00, H01L 21/24

Метки: диэлектриках, металлических, покрытий, полупроводниках, создания

Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках, включающий нанесение металла на подложку и последующий нагрев, отличающийся тем, что, с целью исключения нагрева подложки, уменьшения глубины проникновения металла в подложку, нагрев осуществляется импульсом СВЧ-излучения мощностью импульса, обеспечивающей плотность поглощенной энергии 0,1 - 6 дж/см2, длительностью импульса менее 10-5 с и частотой излучения, определяемой по формуле: где d - толщина металлического покрытия; - проводимость данного металла;

Номер патента: 1779073

Опубликовано: 27.01.2000

Авторы: Баертуев, Водопьянов, Кашапов, Кожевников, Козик, Нестеренко, Покушалов

МПК: C23C 14/00, C23C 14/58

Метки: износостойкого, покрытия

Способ получения износостойкого покрытия, включающий последовательное осаждение на изделие первого слоя из нитрида переходного металла, промежуточного оксидного слоя и второго слоя из нитрида переходного металла, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытия, слои из нитрида переходного металла наносят ионно-плазменным методом, толщиной 2 - 3 мкм, промежуточный слой наносят методом термолиза металлоорганического соединения, причем в качестве оксида промежуточного слоя используют оксид кремния, толщиной 0,25 - 1,0 мкм, а после нанесения второго слоя нитрида полученную структуру облучают гамма-квантами дозой (1 - 5)

Номер патента: 1455761

Опубликовано: 10.03.2000

Авторы: Афанасьев, Жутяев, Комиссаров, Кудашев, Махлин, Поляков

МПК: C23C 14/00

Метки: нержавеющей, поверхности, стали, финишной

Способ финишной обработки поверхности изделий из нержавеющей стали, включающий облучение поверхности ионами инертного газа с энергией 5 - 10 кэВ в вакууме, отличающийся тем, что, с целью повышения класса чистоты обработки поверхности, сокращения длительности обработки и одновременного повышения упрочения поверхности, облучение ведут ионами азота интенсивностью (3-9) 1414 ион/см2 с, дозой (8 - 12) 1017 ион/см2 при температуре не более 200oC и...

Номер патента: 1487486

Опубликовано: 27.09.2000

Авторы: Сидоренко, Штенников, Яриков

МПК: C23C 14/00

Метки: внутреннюю, длинномерных, нанесения, поверхность, покрытий

Устройство для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность длинномерных изделий, содержащее нагреватель, проволочный испаритель, с одного конца жестко закрепленный на траверсе и размещенный соосно обрабатываемому изделию и механизм компенсации термического расширения испарителя, размещенный на другом его конце, отличающееся тем, что, с целью повышения качества изделий за счет исключения изгиба в процессе нанесения покрытия, оно дополнительно снабжено механизмом компенсации термического расширения изделия в виде двух коаксиальных втулок, подпружиненных одна относительно другой, причем одна из них жестко закреплена на траверсе.

Номер патента: 1524534

Опубликовано: 27.09.2000

Авторы: Алабушев, Барабанов, Дудова, Колыбалов, Крючков, Мубояджян, Пайкин, Помелов, Прилепский

МПК: C23C 14/00

Метки: защитных, нанесения, покрытий

1. Установка для нанесения защитных покрытий преимущественно на лопатках газотурбинных двигателей, содержащая корпус вакуумной камеры и расположенные в ней держатель, охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала, анод, защитный экран охлаждаемого катода и возбудитель катодного пятна, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, улучшения качества и повторяемости наносимых защитных покрытий, охлаждаемый катод выполнен в виде цилиндрических обечаек, последовательно укрепленных по высоте на цилиндрическом стакане, который соединен с полым электроизоляционным штоком, соединенным вне вакуумной камеры с приводом, охлаждаемый катод снабжен расположенным соосно в полости...

Номер патента: 1658652

Опубликовано: 20.12.2000

Авторы: Мубояджян, Помелов, Сучкова

МПК: C23C 14/00

Метки: жаростойкого, комбинированного, покрытия

1. Способ получения комбинированного жаростойкого покрытия преимущественно на лопатках турбин, включающий осаждение в вакууме внутреннего слоя покрытия из сплава на основе никеля, содержащего кобальт, хром, алюминий и редкоземельный элемент, последующее осаждение внешнего слоя покрытия из сплава на основе алюминия, содержащего в качестве легирующей добавки никель, при содержании в каждом из слоев алюминия в количестве 20 - 80 г/м2 и толщине внутреннего слоя покрытия 30 - 100 мкм и последующий вакуумный отжиг, отличающийся тем, что, с целью увеличения стойкости покрытия к сульфидной коррозии в области температур 800 - 1000oC и сохранения высокой жаростойкости при...

Номер патента: 1565063

Опубликовано: 20.03.2001

Авторы: Гашинин, Гусев, Демкин, Нестерова

МПК: C23C 14/00

Метки: износостойкого, покрытия

Способ получения износостойкого покрытия, основанный на ионно-плазменном напылении слоем нитрида титана на поверхность изделия, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия, сначала формируют слой с повышенной твердостью толщиной 5 - 8 величин среднеарифметического отклонения профиля исходной поверхности изделия при отрицательном напряжении на изделии 150 - 180 В, затем наносят слой с пониженной твердостью при напряжении на изделии, равномерно уменьшающемся до 20 - 50 В за время t = (1,5 - 2)tтв, где tтв - время напыления твердой части слоя покрытия.

Номер патента: 1267819

Опубликовано: 20.02.2002

Авторы: Белоус, Картмазов, Павлов, Сафонов, Смирнов

МПК: C23C 14/00

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

1. Способ нанесения покрытий в вакууме путем регулируемого испарения материала покрытия за счет его нагрева электронным пучком, ионизации паров испаряемого материала путем зажигания в них разряда при подключении одного из электродов источника разрядного напряжения к испаряемому материалу с регулированием степени ионизации током разряда, а энергии ионов - напряжением смещения на покрываемом изделии, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности при низком значении температуры изделия, ионизацию паров испаряемого материала осуществляют несамостоятельным дуговым разрядом при подключении к испаряемому материалу отрицательного электрода источника разрядного напряжения.2....

Номер патента: 1527949

Опубликовано: 20.08.2005

Авторы: Аникеев, Конаков, Леонов, Паладин, Фадеев, Чигрин, Щитов

МПК: C23C 14/00

Метки: износостойкое, инструмента, покрытие, режущего

Износостойкое покрытие для режущего инструмента, содержащее слой карбида титана, нанесенный на основу газофазным методом, последовательно размещенные слои хрома или молибдена и нитрида хрома или нитрида титана, нанесенные методом конденсации в вакууме с ионной бомбардировкой, отличающееся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытия, слои тугоплавких металлов и нитридов металлов выполнены чередующимися с отношением толщин слоев металлов и нитридов металлов 1:1-1:5 при толщине слоя хрома или молибдена 0,05-0,1 мкм, при этом отношение толщин внутренних слоев металлов и нитридов металлов равно 1:1, а отношение толщин внешних слоев - 1:5.