H01J 49/26 — масс-спектрометры или разделительные трубки

Номер патента: 1610519

Опубликовано: 30.11.1990

Авторы: Богданов, Китаев, Купряжкин, Куркин, Плетнев

МПК: G01N 27/62, H01J 49/26

Метки: веществах, кислорода, твердых

...давлений (1,5-2,5) 10 Па обеспечивает полное заполнение примесних вакансий. При понижении давления происходит неполное заполнение., а при повышении - дополнительное растворение в структурных вакансиях. Вре 55 мя насыщения 0,5-5 ч определяют по известной Аормуле (2) из условия обеспечения равновесия Последующее охбсн = (р)Ер + р(т)Бт + Ы%;40НеСР-Игде Г(р) = В(1 - еР)50 концентрация растворившегося гелия;концентрация вакансий;давление гелия;численный параметр. Время насыщения образца гелием можно определить, используя известную Аормулу1ю(2иди время насьшения;характерный минимальный размер образца;коэААициент дифАузии гелия. 4лаждение проводится со скоростью 90- 110 О/мин, При меньших скоростях происходит преждевременная дегазация...

Номер патента: 1615823

Опубликовано: 23.12.1990

Авторы: Давыдов, Корольков, Лепин

МПК: H01J 49/26

Метки: анализа, изотопного, масс-спектрометрического, рубидия, стронция

...сцелью сокращения и родолжительности анализа,ЗО снижения трудоемкости и упрощения способа, выделенные фракции рубидия и стронция смешивают, полученную смесь обрабатывают концентрированной плавиковой кислотой и наносят ее на первую ленту испарителя, а на вторую ленту испарителя наносят гидрофторид калия и далее регистрируют массспектрц рубидия при температуре 35 40 испарителя 168 + 7 С и температуре ионизатора 660 й 8 С, используя мэсовые числа 85 и 87 а,е,м., затем регистрируют масс-спектр стронция при температуре испарителя 380 + + 8 С и ионизатора 766 + 100 С, используя массовые числа 103, 105, 106, 107 а.е,м. Составитель В,КудрявцевТехред М.Моргентал Корректор Т.Палий Редактор Л.Зайцева Заказ 3993 Тираж 398 Подписное ВНИИПИ...

Номер патента: 1457716

Опубликовано: 23.12.1990

Авторы: Додонов, Карпов, Певзнер

МПК: H01J 49/26, H01J 49/44

Метки: заряженных, информационно-измерительная, исследования, потоков, частиц

...по массе либо по энергиив аналитической части спектроаналитического,прибора, попадает на входВЭУ 1., на выходе которого поянляютсяимпульсы электронного тока, поступа"ющие через резистор 2 на вход электрометрического усилителя 3. Величина тока ца выходе ВЭУ, который создается одной заряженной частицей,определяется ныражением:50 5где К - коэффициент усиления усилителя без обратной связи1 з - средний ток ВЭУ (А)К , - сопротивление обратнойсвязи электрометрического 10усилителя (Ом).С выхода электрометрического усилителя напряжение, пропорциональноесреднему электронному Току ВЗУ, поступает на аналоговый вход ИВК. Им"пульсы тока с выхода ВЭУ создают нарезисторе 2 импульсы напряжения, которые поступают на вход дифференцирующего...

Номер патента: 1624314

Опубликовано: 30.01.1991

Авторы: Изидинов, Разяпов

МПК: G01N 31/22, H01J 49/26

Метки: загрязнений, кремниевых, пластин, поверхностных, состава, структур

...а затем в режиме модулированной добротности.Введение добавки комплексообразователя обеспечивает, с одной стороны, повышение степени концентрирования и снижение потерь за счет образования устойчивых комплексов определяемых примесей в объеме фтористо-водородной кислотю, а с другой - визуализацию (возможность контроля) области локализации сухого остатка после испарения кислоты благодаря флуоресценции образовавшихся поверхностных комплексов при сканировании исследуемой поверхности излучением лазера в режиме свободной генерации с плотностью мощности, не превышающей значения, при котором происходит испарение вещества, Последующее воздействие лазером (предварительно оконтуренной области размещения анализируемой пробы) в режиме...

Номер патента: 1628106

Опубликовано: 15.02.1991

Авторы: Оксеноид, Рамендик, Сильнов, Сотниченко

МПК: H01J 49/26

Метки: анализа, лазерного, масс-спектрометрического

...чиглд и нов рдзли - ЦЫХ ЭЛЕМЕНТОВ, ЧТО СттРДжлЕтСЯ В ПО- стоянстве .цдчеций КЧ, ЛГсо(тютя(Р значения ЕГЧ в этой О(ллсти лнигят от эф(Ьетститтности про(Рос он ионизл(цти и ускорения, Этд обллг.ть хлрлктери- ЭУЕтСЯ ЦДИЛУЧШЕй НОС ЦРСЧЦИМСС ТИ) РЕЗУЛЬтдтОВ ДцадцЛ ЦРИ ПОГтЯЦНОй с незлнисимо рдзмерл с 1, Рагс мотргццР различных физическх углов(тй но:дг - ствия излучения цл пробу и рлницлющихся при этом осцовц(,(х процсссов В ПЛдЗМР дОКдЗЫВЛС Т ВЫГСцтРц(й С 1 и с из об.(дс тс . 10 (;кь с. . с .и 108 Вт, см1(5 (т г(т-;(5(5 по - 2, т( - г ВыОн(5 точигт кон(чсг т сццГО анализа пробь цл цримгсСпособ реализонлц цл:лсрцгм маге спектрометре Э)ЛЛ, Испльзовдли стандартный образец состава СИс содержанием тримегей ца уровне 10 2 мас,7, в ц(ироком...

Номер патента: 1108954

Опубликовано: 30.03.1991

Авторы: Гурский, Чилипенко

МПК: H01J 49/26

Метки: анализа, изотопного, лития, масс-спектрометрического, состава

...температуру плавления образца108954 Измеренное значение 1.1/ 1. Номер опыта тПроба Р 2 Проба У 3 Проба У 4 Проба У 1 18,16+0,09 18)24+0,12 18,30+0,07 18,25+0,08 18,20+0,05 18,27+0,03 18)26+0,02 18,28+0,02 18,25+0,02 18,27+0,01 18,24+0)02 18,26+0,01 18,20+0, 11 18,18+0,08 18,25+0,05 18,31+0,08 18,27+0,05 18,28+0)02 18,27+0)02 18,25+0,02 18,26+0,01 18,28+0,02 8,26+0,01 18,25+0,02 123456 Редактор С,Титова Техред А.Кравчук Корректор С,Шевкун Заказ 1061 Тираж 310 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород) ул. Гагарина,101(450 фС) и рабочую температуру лентыиспарителя (450 ОС). В результате...

Номер патента: 1644255

Опубликовано: 23.04.1991

Авторы: Коненков, Коновалов, Кратенко, Могильченко, Черняк

МПК: H01J 49/26

Метки: детектор, ионов

...кривизны К и толщина 1 электрода 2 связаны соотношениемгК= + (д 2 д 1)(3)д 2 д 1 Уменьшение толщины 1 и, соответственно, К электрода 2 при фиксированных значениях Гз,2 Р приводит к тому, что часть отрицательных ионов, отражаясь полем сетки 9 ВЭУ, попадает в область между диафрагмой 1 и электродом 2 и не попадает на ВЭУ. Предпочтительным является выбор расстояния 1, удовлетворяющий условиюЕ= (0,5 - 1,0) Р. (4)Из соотношений (1) и (4) следуют ограничения, накладываемые на величину радиуса К через исходные величины д и Р.В значительной степени максимум количества попадающих на тороидальную поверхность электрода ионов зависит от расстояния 1 з. При конфигурации электродов, определяемых соотношениями (1) - (4), варьирование расстояния б...

Номер патента: 1661870

Опубликовано: 07.07.1991

Авторы: Грабовский, Еременко, Оксенойд, Пятахин, Рамендик, Сотниченко, Файнберг, Хромов

МПК: H01J 49/26

Метки: анализа, лазерного, лазерный, масс-спектрометр, масс-спектрометрического

...тока и предыдущим его значением из фиксатора 28 тока, которое определяет величину следующего приращения в регуляторе 32 приращений, полученную в сумматоре 33 приращений и вызывающую перемещение объектива 2 на этувеличину, По мере. приближения к максимальному значению тока разность и, следовательно, величина приращения уменьшаются, при прохождении че 1661870рез максимум тока знаки разности и перемещения сменяются на противоположные,обеспечивая установление максимальногозначения тока. Сигнал окончания поискамаксимума тока вырабатывается компаратором 30 окончания цикла в случае, еслиразность лежит в пределах, вырабатываемых формирователем 34 допустимых пределов изменения тока, исходя изнестабильности тока и числа импульсов усреднения из...

Номер патента: 664412

Опубликовано: 07.07.1991

Авторы: Готт, Темный

МПК: B01D 59/44, G01N 27/62, H01J 49/26 ...

Метки: анализа, масс-спектрометрического

...недостаткам магнианализа следует отнесттосилу прибора; необхной юстировки МА отновзаимовлияние рассеяни электрического полеметрии наобласть вну 01 И 27/62,В 01 0 59:/44Заказ 3048ВНИИПИ Государственн1130 Подписноениям и открытиям приая наб., д. 4/5 Тираж 326о комитета по изобрет Москва, Ж, Раушс Т ССС иааваиаюаВе ю т и аетт ааею аааааваевав а аПроизводственно-издательский комбинат "Патент", гУжгород, ул. Гагарина, 1 О 1 аа-дд аае Этодостигается тем, что потоквъщеленных ионов пропускают сквозьтвердую мишень, в которой потери " Ънергии ионов отличаются на величи 5ну, превышающую дисперсиюих потерь,"и определяют массы ионов путем срав" "нения полученных потерь с известнъяидля мишеней той же толщины и состава,Поток ионов,...

Номер патента: 1677735

Опубликовано: 15.09.1991

Авторы: Ленин, Русин

МПК: H01J 49/26

Метки: времяпролетный, молекул, молекулярном, пучке, скоростей

...которой происходит их регистрация, определяется по формулеЕпор = Ео (1+гпд / щмх)где пч - молекулярная Масса снаряда;тмх - молекулярная масса соли, 10Ео ="Ь+ ПИХ-СЭмО - энергия диссоциации молекулы соли на атомы;ПИх - потенциал ионизации атома Х;СЭм - сродство к электрону атома М. 15Скорость образования ионных пар Сз++Вг при энергии выше порога в рассматриваемом случае на 2 - 3 порядка превышаетскорость образования ионов в источникемасс-спектрометра вследствие большей 20плотности частиц в монитор-пучке. Еслиучесть, что сечение реакции образования ионных пар подчиняется уравнению о=А(Е - Епор)" /Е(п 2), то и риэнергиях выше пороговой чувствительность увеличивается еще на 1-2 порядка,На фиг. 1 и редста в- лена схема, реализующая...

Номер патента: 1681340

Опубликовано: 30.09.1991

Авторы: Додонов, Додонова, Разников, Тальрозе, Чернушевич

МПК: H01J 49/26

Метки: анализа, времени, ионов, масс-спектрометрического, непрерывного, пролета, пучка

...5 10 15 20 25 30 35 Ионы, находящиеся в момент выталкивания в зазоре между выталкивающим электродом 7 и сеткой 8 и частично в зазоре между пластинами 11 и 12, выталкиваются однородным полем в пространство 5 дрейфа, где разделение ионов по массам осуществляют во времени пролета. После прекращения действия выталкивающих, вытягивающих и запирающих импульсов ионы от внешнего источника начинают поступать в область между электродом 7 и сеткой 8, Это происходит одновременно с разделением ионов по массам в пространстве 5 дрейфа, а энергию ионов подбирают такой, чтобы за время пролета ионами самой тяжелой массы пространства 5 дрейфа зти ионы как раэ успели бы заполнить область между выталкивающим электродом 7 и сеткой 8, т.е. эта энергия...

Номер патента: 1684830

Опубликовано: 15.10.1991

Авторы: Жуков, Завилопуло, Снегурский, Шпеник

МПК: H01J 49/26

Метки: атомном, компонента, молекулярного, пучке, содержания

...раве патепиалу обпасти иоцизаЦии), то пРи ЕЕЕ +с(Е, иовы атомной и молекулярной КОМПцЕт будут ряСПрЕ,с)ЕЛЕНЫ ПрЕИМуыествецца в плоскости пересечения ЦУ (КОЕ( И В аЛЛИЗдтаР МаСС-СПЕКтР 0- метсл попасть це гмос,т здесь ЕУ еЕ,- эцер ци зтсекроцоес, иоцц (д - ;т 1 и пигсацидиии компонентов пучка .т (. тн (, т(1(цм. 1 та КаеаЕтея ИаИЗИзот(яццт, д: . тов молекулярнойто их распределениеГ.тт ., я.ТИЧЕСКИ цзотрОПЫМ ПаГПЛМ, То ПГЭВОЛЕЕТ ЧаСтИ ИХгь в яцдлизатар масс-сц.тГ,кцОбря.(ам, цдсчр, (г(. -(г пл пропускацие ццовт т,Д м( Ц ГОЕ Ц ЦЗМЕ 1)НЯ таК ЭТИХ ИОНОВк(т:)е:т;т,т с помпью измерителя блонного та 1, .(аж 0 определить содерН(т)ЦИЕ МаЛЕКУЛЯР 0 Г КМПОЦЕтя В Игхапцом пучк(,цл 5 сечение пр(1, га писсасиятивцой иоцизации при )ц ргиц ЕЕ зпектр...

Номер патента: 1690023

Опубликовано: 07.11.1991

Авторы: Иванов, Мамырин, Федичкин

МПК: H01J 49/08, H01J 49/26

Метки: анализа, газового, масс-спектрометр

...продуктов реакции будет равно отношениюР 1 ЯгРг 0116 АРассуждая аналогичным образом, можно получить, что давление продуктов реакции о камере анализатора будет меньше посравнению с их давлением в камере катода31о 0 116, А Раэ .Следовательно, результирующееуменьшение давления в камере анализатора продуктов реакции на катоде в заявляемом устройстве по сравнению с известным(т,е, увеличение достоверности анализа и)будет равно,оз(0,116 А о51При проектировании масс-спектрометра на основе заявляемого изобретения ставилась цель достичь повышениядостоверности анализа за счет уменьшения5 10 в камере анализатора давления продуктов реакции на катоде в 100 О раз,Площадь отверстия камеры катода определялась размерами поперечного сечения...

Номер патента: 1698916

Опубликовано: 15.12.1991

Авторы: Белкин, Груич, Джурахалов, Морозов, Пичко, Умаров

МПК: H01J 49/14, H01J 49/26

Метки: анализа, количественного, кристаллических, послойного, твердых, тел

...атомы мишенив направлении, практически перпендикулярном плоскостям падения и рассеяния ионов, т,е. рассеянные и распыленные частицы пространственноразделены, вследствие чего увеличивается отношение сигнала к Фону, чтоприводит к увеличению чувствительности анализа в 10 раз,Кроме того, при скользящих углахпадения ионов облегчается анализ распыленных компонент твердой кристаллической мишени в связи с тем, что онивылетают в определенном азимутальномнаправлении ( 1. = 85 + 5 ) по отношению к плоскости рассеяния пучка. Спомощью моделирования на ЗВИ в приближении парных столкновений былиисследованы траектории ионов Аг сЕ = 7 кэВ, испытывающих скользящеерассеяние ф = 5 ) на поверхностимонокристалла Си (100) ( 110), атакже образование...

Номер патента: 1709203

Опубликовано: 30.01.1992

Авторы: Казакевич, Смирнов

МПК: G01N 27/62, H01J 49/26

Метки: газовых, гелия, концентрации, смесях

...так как напуск чистогпровеояемой смеси в течеискатедится при атмосферном давлфторопластовую пленку типа Фрая практически непроницаема длзов, кроме гелия,Способ осуществляют следующим об зом.Натекатели для чистого гелия и проверяемой смеси продуваются воздухом и фиксируют нулевой сигнал течеискателя аО. После этого в течение 50 - 60 с продувается натекатель с меньшей проницаемостью чистым гелием с избыточным давлением 0,05 0,1 кгс/см, Через 5 - 10 с после продувкигфиксируется сигнал на чистый гелий ане. Повторно продувается этот натекатель воздухом в течение 1 - 2 мин и фиксируется/нулевой сигнал ао. После этого в течение 50 - 60 с продувается другой натекатель проверяемой смесью давлением 0,05 0,1 кгс/см.,- -.:.ираж ПодписноеВЯИ 1...

Номер патента: 1711260

Опубликовано: 07.02.1992

Авторы: Вайсберг, Голубовский, Дубинский, Походня, Черепин, Швачко

МПК: H01J 49/26

Метки: вторично-ионный, масс-спектрометр

...на внутренней поверхности пОлого электрода 13. В этом режиме работы масс-анализатора применение сетчатого отражателя позволяет устранить фон, который в случае сплошной поверхности отражателя создается вторичными электронами и эмиттируемыми ею под действием неотразившихся положительных ионов и других частиц, прошедших через анализатор 5. Ускорение к электроду 10 положительные ионы выбивают из него электроны, которые после ускорения к ускоряющему электроду 15 регистрируются фотоумножителем 19.10 20 ройству электрод 13 позволяет измерятьионные токи без энергоанализа и усиленияфотоумножителем, что повышает динамиче 30 35 В режиме анализа отрицательных ионов необходимое распределение потенциала вионно-оптическом тракте...

Номер патента: 1711261

Опубликовано: 07.02.1992

Авторы: Антонов, Пальцевич, Походня, Смиян, Упырь, Швачко

МПК: G01N 33/10, H01J 49/26

Метки: водорода, количественного, масс-спектрального, материалах, твердых

...затем используют при анализе образцов с неизвестным содержанием Н)диф. Этот анализ выполняют с той же последовательностью операций, как и в случае образца-копии; по верхность анализируемого образца очищают ионной бомбардировкой, определяют зависимость тангенса угла наклона кривой вт - 0 перэ) для ионов Н, интегрируют полученную зависимость, а затем по градуировочной зависимости определяют содержание Н 1 диф.Анализ остаточного водорода выполняют с использованием стандартных образцов. Для этого после очистки поверхностиобразца ионной бомбардировкой измеряютв одинаковых условиях тангенсы угла наклона линейной части зависимости 1 вт " т 0 перв)для вторичных ионов Н на стандартном ианализируемом образцах. Сопоставляя полученные величины,...

Номер патента: 1721663

Опубликовано: 23.03.1992

Авторы: Артамонов, Оксенойд, Сотниченко, Тюрин

МПК: H01J 49/08, H01J 49/26

Метки: анализа, лазерного, масс-спектрометрического

...зада 15 чей выбирают иэ числа закрытых элементы,подлежащие обнаружению, идентификациии определению, Затем определяют изотопный состав примесных элементов, присутствующих в пробе, и значения п 1/г в20 масс-спектре, которые не закрыты ионамиосновы и примесей. Исходя из этого, выбирают ряд дополнительных элементов К, которые в соединении с элементом,подлежащим определению Х, образуют+25 ионы ХК, изотопы которых попадают насвободное место в масс-спектре (т.е. массахотя бы одного из изотопов получаемогосоединения должна быть на пустом месте вмасс-спектре). Далее, используя таблицы30 энергий разрыва химических связей (3), выбирают из полученного ряда элемент К снаибольшей энергией диссоциации соединения ХК . Элемент К вводят в пробу в...

Номер патента: 1365988

Опубликовано: 30.05.1992

Авторы: Зуев, Кунин, Скрябин

МПК: H01J 49/26

Метки: газообразующих, концентрации, локального, примесей

...для нзпуска необходимого колицества кислорода, поэтому синхроимпульс подается на расширитель им.пульсов, увелйчивающцй его до 1 О ,10с. 40Мощности этого импульса недостаточно длявыключения ТЭЯ. Поэтому зз расширителемимпульсов расположен электронный ключ,открывающий питание ТЭЯ на время действия расширенного импульса.Работа устройства осуществляется следующим образом.Исследуемый образец 3 помещают в камеру 1, откачиваемуа системой 8 откачкидо давления (1,00,5) 10 " Пз, После подготовки устройства к рзооте с помоцью лазерного микроскопа 4 выбцрзют ца поверхности образца участок для анализа. Нз ТЭЯ5 подают напряжение, полярность которогосоответствует выведецию кислорода из ячейки в атмосферу. Включают блок 9 управления, Блок 9...

Номер патента: 1316484

Опубликовано: 30.05.1992

Авторы: Зуев, Кунин, Михайлова, Скрябин

МПК: H01J 49/26

Метки: газообразующих, концентрации, локального, примесей

...углекислого газа. Полученная в результате воздействия ла" зерных импульсов газовая смесь откачивается и м сс-спектрометр, который регистрирует пардиальньде давления газов (Н, О, Б и СОд ). По отношению парцнального давления углекислого газа к объему кратера судят о концентрации углерода в анализируемом участке.Устройство для осуществления предложенного способа, включающее лазерный микроекоп, расположенный над вакуумной камерой с оптическим окном, и масс-спектрометр, соединенный с вакуумной камерой, сожержит лазер с Фокусйрующей.линзой, зеркало для отклонения излучения лазера соосно с излучением лазерного микроскопа, электронный блок управления лазером и лазерным микроскопом и фольгу иэ кислородсодержащего мате" риала,...

Номер патента: 1417607

Опубликовано: 30.05.1992

Авторы: Зуев, Кунин, Скрябин

МПК: G01N 27/62, H01J 49/26

Метки: азоту, газоаналитических, калибровки, систем

...технологии егонанесения;высокая стабильность соединенияТ 1 Ы определяет практически,неограниченную во Времени годность образ"ца для калибровки;низкой концентрацией азота (посравнению с покрытием) в сталях боль".шинства марок.Объет кратера Ч складывается изобъема испаренного покрытия (Ч)и объема основы (Ч) рЧ Ч+ Чттта масса выделившегося азоташ " Со Чтт ф С ь о ргде С - объемная концентрация азота В ОСНОВЕ.14176Проведенные ка шлифах исследования показали, что при условии Ъ/Н ) 10 объем 7 с большой точностью можно вычислить по формуле цилиндра, т.е.бпй 2ЧН9 где Ь - глубина кратера.Для нитридотитановых покрытий 1,толщиной от 10 икм) на стальной поц" ложке это условие при плотности мощности (Р) большей. 3 10 Вт/смВозрастание...

Номер патента: 1742900

Опубликовано: 23.06.1992

Авторы: Белавин, Звонков, Тимофеев

МПК: H01J 49/26

Метки: изотопов, разделения

...- я/еВР,где Р - радиус кривизны силовых линий магнитного поля; я - энергия поперечного по отношению к направлению магнитного поля движения иона; е - заряд электрона. При выполнении условия ЧдрОЧ 11а ( - длина области неоднородного магнитного поля; а - диаметр потока плазмы; Ч 1 - скорость продольного движения ионов) селективно нагретые ионы выходят из области, занятой плазмой, ионная компонента которой состоит из холодных невыделяемых ионов других изотопов, идущих в отвал, Ввиду низкой энергии ионов этих изотопов и электронов их дрейфовое смещение за время прохождения участка неоднородного магнитного поля мало по сравнению с а, Пространственное разделение ионов раз- ных изотопов позволяет провести их рекомбинацию в достаточно...

Номер патента: 1755332

Опубликовано: 15.08.1992

Авторы: Дацко, Земсков, Стукан, Шишленко

МПК: H01J 49/26

Метки: изотопного, магнитного, приемник, сепаратора

...14 в ней для установки дополнительного ленточного электрода 4, поверхность 4 которого установлена эаподлицо с облучаемой поверхностью стенки 13. 5 10 Электрод 4 закреплен на стенке 13 кармана через отверстия 15 с помощью изолятора 5 с колпачками 5 и винта 5.Устройство работает следующим образом.В карманы 1 приемника вводят изотопные пучки. Настройка изотопных пучков по карманам 1 осуществляется по величине соотношения суммарной силы тока 1 пр всех пучков на приемник к силе тока 1 п,э. на настроечный электрод, т.е. 1 пр /1 п,э,.Настроечный электрод 2 размещают в фокальнай плоскости изатопной плеяды пучков между двумя соседними масс-линиями (пучками). Настройка осуществляется по+минимуму тока 1 п.э. на настроечный электрод при...

Номер патента: 1756972

Опубликовано: 23.08.1992

Авторы: Гамаюнова, Коппе, Физгеер

МПК: H01J 49/26

Метки: анализа, диэлектрических, кристаллов, масс-спектрометрического

...пучка первичных ионов и площади входной диафрагмы системы сбора вторичных ионов позволяет сохранить условия выбивания и сбора вторичных ионов, исключая влияние 30 35 40 45 50 55 ионов меди, ее поверхностных и обьемных загрязнений и их соединений с медью, компаундов, образующих вследствие взаимного перезапыления образца и сетки, а также ионов, выбиваемых с поверхности держателя, что приводит к повышению достоверности результатов анализа.При несоблюдении соотношения указанных параметров 3231 45 э происходит снижение достоверности результатов анализа эа счет влияния ионов, выбираемых изматериалов держателя,На фиг,1 схематически изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг,2 - в большем масштабе часть устрайствэ, включающая...

Номер патента: 1780131

Опубликовано: 07.12.1992

Авторы: Котиков, Смирнов, Тихомиров

МПК: H01J 49/26

Метки: диагностики, масс-спектрометрическое, плазмохимических, процессов

...камеры 1 с линией 2 безмасляной откачки и линией 3 напуска газовой смеси, системы промежуточной дифференциальной откачки и блока масс- анализатора (БМА).Система промежуточной дифференциальной откачки содержит промежуточную 5 10 15 20 25 30 35 40 камеру 4 и линию 5 промежду гочной безмасляной откачки.Промежуточная камера 4 соединена с реакционной камерой 1 посредством фланца 6.На фланце 6 со стороны реакционной камеры 1 расположен термостатируемый электрод-подложкодержатель 7, электрически изолированный от фланца 6 и реакционной камеры 1. В зависимости от технологического процесса, реализуемого в реакционной камере 1, электрод-подложкодержатель 7 может быть заземлен, служить ВК-электродом, находиться под потенциалом. Внутри...

Номер патента: 1781728

Опубликовано: 15.12.1992

Авторы: Пивоваров, Ченакин, Черепин

МПК: G01N 23/225, H01J 49/26

Метки: анализа, количественного, примеси, твердом, теле

...См, а исходная концен-. трация изотопа М составляет соответственно См, то в состоянии динамического равновесия процессов ион нога внедрения и распыления полная концентрация изотопа М в поверхностном слое с учетом его до- . полнительного внедрения ионным легированием до насыщения будет превосходить исходную концентрацию М в Ю разСм ам См443)м ам ам, аму - природная распространенность, соответственно, изотопов М и Му элемента М;Яр, Мр - средний проецированный пробег первичных ионов изотопа М+ и их 5 страгглинг, соответственно;е - заряд электрона.Физическое обоснование предлагаемдго способа заключается в следующем, При ионной бомбардировке твердого тела пуч ком ионов иозтопа М его концентрация в приповерхностном слое в любой момент ....

Номер патента: 1786537

Опубликовано: 07.01.1993

Авторы: Комаров, Новосельцев

МПК: H01J 49/26

Метки: внутренних, газов, колебательных, молекул, нейтральных, температур

...и Т 45 апазоне темп 200-1000 С=830 С (кривая 2): Че = 50 эВ и- данныеопределяется изменением по внутреннейэнергии возбуждения, Образование вторичЧапка и Каминского 1961 г 4, Че = 50 эВ.;(3), (а, - Рэл (Е,Т) по данным Чапка и Камин-ных продуктов при этом(пиролиз) не наблюещего потенциал ионизации (ПИ) СзНв. 50 при этом постояндается. щая относительная ионизуемость50 при этом постоянна.Видно, что а случае СзНа. Рэл(Е,Т) не на- ДВИИ пиролиз С 2 На наблюдается дажемного изменяется с температурой. при Т = 230 С, П и агр (В)при =, ри нагревании камеры (Вотйосительные интенсивности всех линий вПеРед количественной обРаботкойотйосител ные нте с особычно проводят качественнУю идентифи- м,с. С Н не мен юм,с. 2 4 не меняются, кроме...

Номер патента: 1802380

Опубликовано: 15.03.1993

Авторы: Мрочек, Романчук, Семенкевич

МПК: H01J 49/26

Метки: заряженных, установках, частиц, электровакуумных

...входе, а диафрагма 14 на выходеплазмовода, Детектор частиц 6 подсоеди-.нен к датчику масс-спектрометра 5 и через "0блок управления 8 к двухкоординатному самописцу 7, Экран 11 расположен в вакуумной камере и предохраняет плазмовод 3 отвоздействия плазмы. Магниторазрядныйнасос 9 соединен с датчиком масс-спектраметра 5 и служит для автономной откачки.Блоки питания 12 и 13 предназначены длясоздания магнитного и электрического поляплазмовода 3, Питание источника плазмыосуществляется блоком 15, Элементы устройства 5-9 и 12-15 расположены вне вакуумной камеры,Устройство работает следующим образом.25Вакуумную камеру 2 откачивают до давления не более 10 Па, включают магниторазрядный насос 9 и откачивают датчик масс-спектрометра 5 до давления не...

Номер патента: 1830556

Опубликовано: 30.07.1993

Авторы: Качан, Чеджемов

МПК: H01J 49/26

Метки: газовой, масс-спектрометрического, смеси, состава

...и точности способа были проделаны в течение недели на масс-спектрометре МХ 1321 анализы той же смеси гелий+неон, В каждом эксперименте было использовано одно и то же количество смеси газа равное 3,95 10 м Па. Получение отношения ионного тока гелияк ионному току неонаи среднее значение приведены в табл,З.Второй пример использования изобретения заключался в следующем. При том же объеме резервуара напуска, что и в первом примере, проводимость отверстий диафрагмы напуска (их число) была увеличена так, что для гелияР/Ч было равно 6,798 10 с 1 и для неонаГ/Ч=2 634 10с 1. Газ (смесь гелий+неон) в количестве 6,59 10 з м Па (т,е. в 6 раэ меньшем, чем в первом примере) подавался из резервуара напуска в ионный источник, Результаты анализа и...

Номер патента: 2000625

Опубликовано: 07.09.1993

Авторы: Вяткин, Головин, Пастухов, Привалова

МПК: H01J 49/14, H01J 49/26

Метки: бинарного, компонентов, концентрации, масс, методом, поверхностной, спектрометрии, сплава, термодесорбционной

...(фиг,2);2 ж И 12 тв - тО жЕ ДЛЯ 2-ГО КОМПОНЕНта; с - отношение эффективных сечений атомов 1-го и 2-го компонентов.Расчетные формулы получены следующим образом. В основу расчета положено уравнение для ионного тока1=а А й С ехр(-Е/МТ). (2) где а - константа;А - площадь поверхности;М - поверхностная концентрация часС - энтропийный множитель;Е - энергия активации десорбции;М - постоянная Больцмана.При температуре Т в интервале от тпературы солидус до температуры ликвитвердая и жидкая фазы сосуществуют вно ве с и и, т. е, Ствехр(-Етв/кТ)=СжеЕж/МТ). Величина а и площповерхности А сократятся, если записатношение ионных токов при Т:Э=1 тв/11 ж Й 1 тв/Й 1 жЬ 2 тв/12 ж М 1 тв/1 ч 1 ж. (3)Постоянство площади поверхности оразца дает уравнениеЙ 1 те...