Джурахалов

Номер патента: 1698916

Опубликовано: 15.12.1991

Авторы: Белкин, Груич, Джурахалов, Морозов, Пичко, Умаров

МПК: H01J 49/14, H01J 49/26

Метки: анализа, количественного, кристаллических, послойного, твердых, тел

...атомы мишенив направлении, практически перпендикулярном плоскостям падения и рассеяния ионов, т,е. рассеянные и распыленные частицы пространственноразделены, вследствие чего увеличивается отношение сигнала к Фону, чтоприводит к увеличению чувствительности анализа в 10 раз,Кроме того, при скользящих углахпадения ионов облегчается анализ распыленных компонент твердой кристаллической мишени в связи с тем, что онивылетают в определенном азимутальномнаправлении ( 1. = 85 + 5 ) по отношению к плоскости рассеяния пучка. Спомощью моделирования на ЗВИ в приближении парных столкновений былиисследованы траектории ионов Аг сЕ = 7 кэВ, испытывающих скользящеерассеяние ф = 5 ) на поверхностимонокристалла Си (100) ( 110), атакже образование...