H01J 49/26 — масс-спектрометры или разделительные трубки

Номер патента: 1686969

Опубликовано: 09.01.1995

Авторы: Катин, Рябинин

МПК: H01J 49/26

Метки: влаги, корпусе, микросхемы

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЛАГИ В КОРПУСЕ МИКРОСХЕМЫ, при котором помещают корпус микросхемы в камеру разгерметизации, производят откачку камеры разгерметизации до высокого вакуума, нагревают внутренний объем камеры разгерметизации до температуры более 150oС, выдерживают при данной температуре и давлении в течение 12 - 18 ч, затем охлаждают до температуры 100oС, производят разгерметизацию корпуса и определяют количество влаги в корпусе по масс-спектру, отличающийся тем, что, с целью упрощения анализа за счет обеспечения возможности проведения безэталонного анализа, после размещения испытуемой микросхемы в камере разгерметизации подключают к камере разгерметизации аналитическую камеру и производят их совместную откачку до...

Номер патента: 1306396

Опубликовано: 27.01.1995

Автор: Попов

МПК: G01N 27/62, H01J 49/26

Метки: анализа, вторичной, ионной, масс, методом, спектрометрии

СПОСОБ АНАЛИЗА МАТЕРИАЛОВ МЕТОДОМ ВТОРИЧНОЙ ИОННОЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ.1. Способ анализа материалов методом вторичной ионной масс-спектрометрии, по которому в аналитическую камеру помещают образец материала, производят откачку камеры, напускают химически активный газ и контролируют его давление, воздействуют на образец первичными ионами и регистрируют токи вторичных ионов материала, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности анализа и воспроизводимости его результатов, создают молекулярный поток химически активного газа величиной от 10-8 до 10-5 л Па/с, направленный на поверхность образца, а с помощью нераспыляемого газопоглотителя поглощают...

Номер патента: 1220506

Опубликовано: 27.07.1996

Авторы: Галль, Сачечко

МПК: H01J 49/26, H01J 49/44

Метки: анализа, энерго-масс-спектрального

1. Способ энерго-масс-спектрального анализа, заключающийся в ионизации вещества, формировании короткого во времени пакета ионов заданной энергии, разделении его по массам и энергии и детектировании энергетических и массовых спектров, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности по массам и по энергии, увеличения быстродействия, чувствительности и точности анализа, увеличения диапазона масс исследуемых ионов, расширения областей применения, упрощения технической реализации, разделенный по массе в пространстве дрейфа пакет ионов вводят в тормозящее электростатическое поле через время мкс,где

Номер патента: 1362353

Опубликовано: 10.08.1996

Авторы: Бабаин, Веренчиков, Галль, Краснов, Николаев, Шкуров

МПК: H01J 49/26

Метки: анализа, масс-спектрометрического, соединений, химических

1. Способ масс-спектрометрического анализа химических соединений по авт. св. N 1270814, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности качественного и количественного определения, величину ускоряющего электрического поля устанавливают выше пробойной, а ток разряда ограничивают величиной 10-7 10-8 А.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что исследуемый раствор предварительно разбавляют органическим растворителем, например метанолом, при соотношении объемов органический растворитель вода от 100:1 до 1:1.

Номер патента: 693892

Опубликовано: 27.07.1997

Авторы: Вайсберг, Захарченко, Колотилин, Савин, Самодуров, Шеретов

МПК: H01J 49/26

Метки: датчик, квадрупольного, масс-спектрометра, трехмерного

Датчик трехмерного квадрупольного масс-спектрометра, состоящий из двух торцовых и одного кольцевого электродов, выполненных в виде гиперболоидов и снабженный каналами для ввода и вывода исследуемых частиц и ионизирующего электронного потока, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, канал для ввода ионизирующего электронного потока расположен вдоль большой оси кольцевого электрода.

Номер патента: 1093162

Опубликовано: 27.07.2000

Авторы: Веселова, Дергачев, Якимова

МПК: H01J 49/26

Метки: анализа, изобары, изотопного, имеющих, компонентов, масс-спектрометрического, смеси, элементов

Способ масс-спектрометрического изотопного анализа компонентов смеси элементов, имеющих изобары, включающий нанесение рабочего вещества на термоионный эмиттер, получение положительных ионов при нагревании эмиттера в масс-спектрометре и регистрацию масс-спектра при фиксированном значении температуры эмиттера, отличающийся тем, что, с целью упрощения анализа, сокращения его длительности и уменьшения навески образца, рабочее вещество, взятое в виде смеси анализируемых элементов, наносят на термоионный эмиттер, регистрируют масс-спектр смеси при первом фиксированном значении температуры эмиттера, соответствующем началу ионизации компонентов смеси, затем увеличивают температуру эмиттера до...