Патенты с меткой «плазмохимических»

Номер патента: 492245

Опубликовано: 25.12.1976

Авторы: Иванов, Недосеев, Титов, Шапкин

МПК: H05H 1/00

Метки: плазмохимических, проведения, реакций

...настоящего изобретения является повышение эффективности плазмохимических реакций.Поставленная цель достигается тем, что по предлагаемому способу через плазму пропускают стационарный пучок электронов, причем параметры плазмы и пучка электронов соответствуют развитию пучковой неустойчивости.Электронный пучок в результате плазменно-пучковой неустойчивости генерирует в плазме мелкомасштабные турбулентные колебания, приводящие к эффективной диссипации энергии пучка в плазме и к турбулентному нагреву ее электронной компоненты. Частицы газовой струи, сталкиваясь с высоко- температурными электронами, практически 5 полностью диссоциируют.Способ иллюстрируется чертежом.Электронная пушка 1, помещенная в отдельный объем 2, создает пучок...

Номер патента: 521810

Опубликовано: 25.05.1980

Авторы: Быковский, Комельков, Модзолевский

МПК: H05H 1/00

Метки: газофазных, плазмохимических, проведения, реакций

...газофазных плазмохимич вских реакций. Электроднаясиапьными эпеэлектродном прном разряде итока образуетс Недостатком такого способа является низкий выход целевого продукта, так как возможности нагревания в .дуге ограничены большой теплопроводностыо электродов и их эрозией, а также иэ-за охлаждения смеси при транспортировке ее в камеру расширения.Цель изобретения - увеличение выхода целевого продукта.Это достигается тем, няют импульсный разряд, прич система образована к ктродами 1 и 2. В меж остранстве 3 при имнусопределенной ппотност я сплошной плазменный521810 100%, за счет возникновения ударной ионизации. Фо г /г,1/а где ,-)о - амплитуда разрядного тока- плотность смеси реагентов1, р - соответственно внутреннийрадиус электрода 2 и...

Номер патента: 957746

Опубликовано: 07.04.1988

Авторы: Гущин, Иванов, Медведев, Николаев, Сологуб

МПК: H05H 1/42

Метки: плазмохимических, проведения, процессов

...Известно также уст 15ройство для проведения плаэмохимических процессов, содержащее реакционнуюкамеру, нижний и верхний электроды,систему подачи и отвода реакционныхгазов, источник энергии. Недостаткомэтого устройства является низкая20производительность плаэмохимическихпроцессов и низкий выход годных из. делий.Цель изобретения - повьппение про 25иэводительности плазмохимнческихпроцессов и увеличение выхода годныхизделий.Цель достигается тем, что в устройстве для проведения плазмохимических процессов, содержащем реакционную камеру, нижний электрод, верхний"электрод, систему подачи и отвода реакционных газов, источник энергии,устройство для перемещения обрабатываемых пластин, последнее выполнено 35в виде группы вертикально расположенных...

Номер патента: 1507192

Опубликовано: 23.10.1990

Авторы: Норман, Полак, Сопин, Сорокин

МПК: H05H 1/00

Метки: плазмохимических, проведения, реакций

...иэ активной зоны реактора 3 ) 2 К/С(5) где С -, скорость звука.Условия (3), (4) определяют область допустимых значений тока 1 пучка и энергии электронов пучка,Наиболее эффективным способом ис- ПОЛЬЗОВаНИЯ ЭНЕРГНИ Эпг.КтРОШУОГО ПУЧ- ка является ее тр;1 нсформэ 1 ня в энергию колебательной с 2 тепени с 1 абоды моЛЕкул гооно, ерг 1 с 1. Иг о,г 1 о ич это 3 1501снт от состава рабочей смеси и иници,ируемого процесса, Токи пучка должныбыть достаточно высокими, однако ихзначение не должно превышать величину альфеновского тока Т.1 с ТАпшс //е, (1)где с - скорость света;3 ч/с; ш,е, ч - масса, заряд и ско"рость электронов пучке, У1-(Р,Число иипупьсов пучка определяютиз условия, чтобы энерговыход за время макроимпульса равнялся требуемомузначению...

Номер патента: 1780131

Опубликовано: 07.12.1992

Авторы: Котиков, Смирнов, Тихомиров

МПК: H01J 49/26

Метки: диагностики, масс-спектрометрическое, плазмохимических, процессов

...камеры 1 с линией 2 безмасляной откачки и линией 3 напуска газовой смеси, системы промежуточной дифференциальной откачки и блока масс- анализатора (БМА).Система промежуточной дифференциальной откачки содержит промежуточную 5 10 15 20 25 30 35 40 камеру 4 и линию 5 промежду гочной безмасляной откачки.Промежуточная камера 4 соединена с реакционной камерой 1 посредством фланца 6.На фланце 6 со стороны реакционной камеры 1 расположен термостатируемый электрод-подложкодержатель 7, электрически изолированный от фланца 6 и реакционной камеры 1. В зависимости от технологического процесса, реализуемого в реакционной камере 1, электрод-подложкодержатель 7 может быть заземлен, служить ВК-электродом, находиться под потенциалом. Внутри...

Номер патента: 1299397

Опубликовано: 27.06.2012

Авторы: Пухов, Румак, Хатько

МПК: H01L 21/316

Метки: двуокиси, кремния, плазмохимических, пленок

Способ получения плазмохимических пленок двуокиси кремния, включающий нанесение слоя двуокиси кремния в плазме ВЧ-разряда из смеси моносилан-аргон-кислород, отличающийся тем, что, с целью улучшения зарядовых свойств плазмохимических пленок за счет аморфизации их структуры, после нанесения пленок производят отжиг в атмосфере водорода, азота или инертного газа в диапазоне температур от 600 до 650 K или от 900 до 950 K в течение 10-90 мин.