Патенты с меткой «масс-спектрометрическое»

Номер патента: 240320

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Линник, Нестеров

МПК: G01N 27/62

Метки: масс-спектрометрическое

...согласующих фильтрующих элементов. Предложеннное масс-спектрометрическое устройство более чувствительно, так как при расположении сигнального электрода в виде катушки в области наибольших скоростей колеблющихся ионов в соответствии с теоре мой Рамо из-за динамического характера наведения сигнала индуцируется ббльший сигнал, чем на электроде в виде колпачка в фарвитроне. Кроме того, сигналы, индуцируемые в каждом витке катушки, суммируются. 2Предложенное устройство (схема его изображена, на фиг. 1) содержит ионный источник, включающий катод 1, модулирующий электрод 2 и анод 3. Ионно-оптическая система анализатора масс образована фокусирую240320 Предмет изобретения Составитель Н. В. Алимова Редактор Б, С, Нанкина Текред Л. Я. Левина...

Номер патента: 1780131

Опубликовано: 07.12.1992

Авторы: Котиков, Смирнов, Тихомиров

МПК: H01J 49/26

Метки: диагностики, масс-спектрометрическое, плазмохимических, процессов

...камеры 1 с линией 2 безмасляной откачки и линией 3 напуска газовой смеси, системы промежуточной дифференциальной откачки и блока масс- анализатора (БМА).Система промежуточной дифференциальной откачки содержит промежуточную 5 10 15 20 25 30 35 40 камеру 4 и линию 5 промежду гочной безмасляной откачки.Промежуточная камера 4 соединена с реакционной камерой 1 посредством фланца 6.На фланце 6 со стороны реакционной камеры 1 расположен термостатируемый электрод-подложкодержатель 7, электрически изолированный от фланца 6 и реакционной камеры 1. В зависимости от технологического процесса, реализуемого в реакционной камере 1, электрод-подложкодержатель 7 может быть заземлен, служить ВК-электродом, находиться под потенциалом. Внутри...