Устройство для испарения материалов в вакууме
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 270432
Автор: Коледа
Текст
Союз Советских Социалистических Республик.ЧПК С орит Комитет по делам изобретений и открытиОпубликовано ДК 621,793,14 (088.8 У.1970. Бюллстень М 16 ия описания 19 У 111.1970 и Сосете Министр ата.опубликов вторзобретения Оледа аявител ИСПАРЕНИ ТРОЙ СТВО ЕРИАЛОВ В ВАКУУМ Набор съемных цилиндров, служащий длялокального улаВлпВання газоВ, может представлять собой, например, геттерную, геттерно-ионную, криогенную, цеолитовую плп другую откачную систему.При работе устройства набор цилиндров может быть заранее охлажден, например, в жидком азоте. Несмотря на ограниченную тепло- емкость последнего эта операция целесообразна, так как ОсноВная масса газоВ ВыделяеГс 51 в течение первых 2 - 3,шн работы пспарнтельного устройства. После закладки пспарясмого материала в тигель устанавливают предВаритель 1 о охлажденньп набор цилиндров и 15 диафрагму. Далее осущсствляюг откачку камеры до высоксго вакуума, прп котором набор цилиндров сохраняет свою температуру достаточно долго. Прп нагреве пспаряемого материала диафрагма способствует локализации 20 выделяющихся пз нагретых деталей газов, которые сорбируются внутренней поверхностью экрана. Изобретение относится к вакуумному нанесению различных материалов, в частности к устройствам для испарения материалов при вакуумном нанесении тонких пленок, покрытий и т. и.Известны устройства для испарения материалов в вакууме, содержащие обогреваемый тигель, окруженный коаксиально расположенным цилиндрическим терморадиационным экраном. Однако использование известных устройств приводит к значительному ухудшению вакуума в камере за счет газовыделения из нагреваемых деталей.Предложенное устройство позволяет блокировать газовыделение из нагреваемых деталей, тем самым не изменяя вакуума в камере. Это достигается тем, что экран выполнен в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выделяющихся газов, и в верхней части снабжен диафрагмой. ображено предл енное ус риала снаокоаксиально енным в виматериалов, деля ющихся на диафраг 25 Устройство для пспаре кууме, содержащее обог руженный коаксиально р дрическим экраном, отггг пя материалов в в еваемый тигель, о сположенным цили акщееся тем, что,г На чертеже изо ройство,Тигель 1 для испаряемого мате жен нагревателем 2 и окружен расположенным экраном 3, выпол де набора съемных цилиндров из обеспечивающих улавливание вь газов. В верхней части расположе ма 4,р едм ет изобретенияЗаказ 2209/7 Тираж 480 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Я(-35, Раушская паб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 целью блокирования газовыделения из нагреваемых деталей, экран выполнен в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выделяющихся газов,и в в(рхней части снабжен диафрагмой.
СмотретьЗаявка
1288209
Ф. А. Коледа
МПК / Метки
МПК: C23C 14/26
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-270432-ustrojjstvo-dlya-ispareniya-materialov-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для испарения материалов в вакууме</a>
Предыдущий патент: Способ подготовки изделий из чугуна перед алитированием
Следующий патент: Устройство для загрузки испарителей
Случайный патент: Устройство для отображения информации на экране электронно лучевой трубки