C23C 14/26 — с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

Номер патента: 360409

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Дергунова, Красильников, Пососьева, Шуршаков

МПК: C23C 14/26

Метки: вакууме, испарительный, нанесения, покрытийв, элемент

...вакууме.Известен испарительный элемент для нанесения покрытий в вакууме из цветных металлов, выполненный из графита и карбида тугоплавкого металла.Однако, известный испарительный элемент не обеспечивает длительного испарения химически активных веществ, что снижает его эксплуатационную стойкость,Цель данного изобретения -парительного элемента, обладаюэксплуатационной стойкостью.предлагаемое устройство отличается что материал содержит 20 - 80 Ч, карбида гоплавкого металла.На чертеже представлен предлагаемый испарительный элемент.Он состоит из контактной площадки 1 и рабочей зоны 2. Иопарительный элемент ст ек к,воздействию высокой температуры, те ловым ударам, обладает устойчивостью против эрозий, коррозии и термической усталости при...

Номер патента: 387050

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Автор

МПК: C23C 14/26

Метки: вакууме, испарения, лодочка, металлов, нагревательный, типа, элемент

...часть элемента имеет углубления 2, соединенные между собой и токоподводами дугообразными перемычками 3. Углубления имеют форму, образованную симметричным пересечением цилиндрической и двух конических поверхностей.Нагревательный элемент своими токоподводами 1 закрепляют в контактных зажимах испарителя и испаряемый металл в виде гранул или отдельных кусков помещают в углубления 2. При включении тока этот металл плавится, стяпиваясь, поначалу, в сферические капли, которые интенсивно перемещаются по 5 дну углублений. С дальнейшим повышениемтемпературы смачиваемость резко возрастает и капли растекаются по всей поверхности, Вследствие этого сопротивление стенок углублений понижается и это вызывает нераспреде ление выделяемой в лодочке...

Номер патента: 397567

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Вител, Тышко

МПК: C23C 14/26

Метки: вакуумных, испаритель, установок

...ок, отличающийся ения интенсивности, одности потока моле а, выходной канал т сшпряющегося проф итель гй тпг Испар держащ чательпь целью п ности и емого ве нен в вги бл овыш однор гцеств сде ра Г. Т, Левченко евский ордена Ленина полите Великой Октябрьской соИзобретение касается нанесения поскрытий в вакууме и может быть применено для легирования полупроводниковых пленок в,процессе их роста.Известен испаритель для ваеоуумной установки, содержащий тигель с выходным каналом и излучательный блок, Выходной канал выполнен в виде цилиндра. Недостатком известного испарителя является то, что оп не обеспечивает достаточной интенсивности, направленности и однородности потока молекул испаряемого вещества.В предлагаемом испарителе выходной канал...

Номер патента: 405973

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Бородкин, Гордеев, Луковников, Максименко, Фадеев

МПК: C23C 14/26

Метки: нанесения, покрытий

...совмещения основания или оправы зеркала в вакуумной камере в диаметрально противоположных плоскостях предусмотрены четыре упорных винта 19, размещенных в кронштейнах 20. Ориентирами для регулирования служат четыре направляющих штыря 21, ввернутые в опорное кольцо камеры. Камера скрепляется с основанием болтами 22,Для нанесения отражающих покрытий и размещения испаряемого материала предусмотрен диск испарителей, который подвешен на байонетной опоре 23 в сферической части вакуумной камеры. Испаряемый материал крепится в нижней части испарителя на специальных столбиках 24 по трем концентрическим окружностям 25. В верхней части диска имеется три регулировочных винта 26, фиксируемых гайками и предназначенных для юстировки испарителя....

Номер патента: 406973

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Бушмик, Верзунов, Демь, Франк, Шайкии

МПК: C23C 14/26

Метки: подачи, порошковых

...отключенном вибратор15 дится в сжатоа состоянии,Устройство работает следующим образом, После того, как в бункер 1 устройства загружен порошкообразный материал (например 20 резистивный сплав в виде порошка), созданрабочий вакуум в вакуумной установке, где находится описываемое устройство, а также разогрет до необходимой температуры испаритель 8, включается вибратор 3 устройства 25 для подачи порошкообразного материала вспартель 8. При работе вибратора 3 шток 5 вибратора приводит в движение лоток 4 и прикрепленный к нему посредством держателя 6 конец пружинной сетки 2, так, что они Зо совершают периодические возвратно-поступа406973 АнисимоваШубинаТараненкоН. Аук ставнтель Редактор жиниа 8 снаппонура) ехред 3.Корректор 103 писно ного тров...

Номер патента: 361227

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Авторы

МПК: C23C 14/26

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...чертеже представлено устройство, общий вид,Устройство включает камеру (на чертеже не показана), внутри которой расположены основание-фланец 1 с несколькими испарителями 2, Верхняя часть основания-фланца выполнена в виде полого цилиндра, в котором циркулирует охлаждающая его вода.Вакуумная герметизация и высоковольтная изоляция основания-фланца обеспечена наличием эластичной прокладки 3 и электроизолирующих втулок 4. Необходимый ток эмиссии при работе нужных испарителей обеспечивается катодами 5, укрепленными на токоподводах б, один из которых выведен через фторопластовое уплотнение наружу, а второй заземлен. Тепловое экранированпе тиглей обеспечивает арматура экранирования 7, расположенная па заземленных токоподводах б.5 В...

Номер патента: 361228

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Рождественский, Шарупин

МПК: C23C 14/26

Метки: вольфрамом, испаритель, металла, реагирующего

...общий из нагревателя 1 в виде 2 помещенного внутри тигвиде колпачка из кераоверхности дна которого ый металл, а ца внуткрытис из вольфрама, 2 онкостенцый колпачок изкоторого сверху кладет- в виде фольги или пласзаряда благоприятствует че от раскаленного на гревателя через тоцкостенныииспаряемому металлу.Плавление и испарение протекает быстро, причем металл испаряется в широком телесном угле, что благоприятствует получению слоя равномерной толщины,на больших поверхностях. Вольфрам полностью отделен от алюминия, благодаря чему нагреватель служит долго. Так как нагреватель находится внутри испарителя, то при монтаже нового цспарителя це имеет места перенос случайных загрязнений с нагревателя ца поверхности оптических деталей,...

Номер патента: 362884

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Коледа

МПК: C23C 14/26

Метки: подачи, порошковых

...9 для крепления к внутрикамерным элементам 10 вакуумной установки 11 и поворотным рычагом 12, поводок 13 которого 15 связан тягой (на фиг 1, 2 не показана) с приводом упраьленця заслонкой 14, расположенной над испарителем 15, На планке 2 имеется ролик 1 б, который в нейтральном положении рычага 12 прижат пружинами 3 и 4 к перифе рии диска - держателя 17 подложек, снабженного зубцами 18.При повороте рычага 12 по стрелке А ролик 16 может оыть выведен из контакта с зубцами 18. Вся конструкция описываемого 25 устройства закреплена в камере 19 вакуумнойустановки 11 под держателем 17 над заслонкой 14. Поводок 13 соединен с приводом управления заслонкой 14 таким образом, что положение заслонки 14, при котором она за- зО крывает испаритель...

Номер патента: 365396

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: C23C 14/26

Метки: 365396

...8, ;од)н)ее в зацснлснс с шестерней 9 электро)с;яннчсскОГО н)нво,1 1. 11 1 Ил)ндрс 1 мк.1;силен 101 одОк 11, слм;к 11 цин для нор(дачи дИжсння кя)кдому юследуюшс)у цилиндр) итс) Воздсйст 13 ня ня устПОВ,сн)ые н(1 нн упоры. 1). Фиксация положения цилиндров осущсстВляетс 51 с но)101 цью приводя н фнксаторОВ 18. Подлежащий испарению материал, размещенный в Исздак цилиндров 1, подается в тигель И, падая нод собственным весом через ,:всрстня в лиске ня лоток 16 и скатьваясь по 1)("Тенлонзлучающес устройство снабжено П- ооразной нластинои 16, выполненной из тугоплавкого материала и С.1 жащей нагревательным элементом. В центре ее приварено кольцо, выполня)ощее роль держателя тигля 14, также изготовлснюго из тугоплавкого материала, 11 Ц. Р 1 ....

Номер патента: 374389

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Готра, Мушкарден

МПК: C23C 14/26

Метки: в.с, согозная

...под бункером направляющей рейкой для подачи грунул в испаритель, а толкатель выполнен в виде секторообразной пластины, служащей одновремен но заслонкой при поступлении гранул в испаритель.Питатель состоит из бункера 1, толкателя 2, выполненного в виде секторообразной пластины, служащей одновременно заслонкой при 25 поступлении гранул в испаритель 3. Толка- тель 2 закреплен на валу 4 поворотного устройства б, управляемого электромагнитом б. Под бункером 1 расположена направляющая рейка 7 для подачи гранул в испаритель. 30 Гранула цилиндрической формы или таблетка 8 под действием сил. пружины 9 поступает при открытом толкателе 2 на направляющую рейку 7. При включении электромагнита 3 толкатель 2 движется и дозированная гранула...

Номер патента: 375323

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: C23C 14/26

Метки: испарения, металлов

...обмотка 4 которого соединена с источником питания 5, а вторичной являетсярасплавленный металл 2. Тигель имеет переменное сечение, площадь которого 51 под15 металлизируемым материалом б меньше посравнению с площадью сечения 5 г с противоположной стороны (см. приведенное соотношение площадей)Тигель, прямоугольной или другой формы,20 из электропроводного или диэлектрическогоматериала, имеет отверстие 7 под металлизируемым материалом б. Пары металлов проходят сквозь отверстие и оседают на металлизируемом материале, облегающем направ 25 ляющий барабан 8, При подаче тока от источника 5 в первичную обмотку 4 трансформатора 3 металл плавится и распределяетсякак жидкость по всему тиглю. При дальнейшем увеличении тока в зоне испарения тиг 30 ля...

Номер патента: 378560

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Алексеев, Бел, Летунов, Лещенко, Медведев, Рагузин

МПК: C23C 14/26

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...(на чертеже не показаны). Испаритель 3 установлен на расположенной под барабаном 2 каретке 4, на которой жестко закреплен фиксатор 5 в виде эксцентрика, служащииподводящих шин б и ддвижения.Внутренняя поверхность не на в виде многоугольника неменее трех.Детали беспорядочно засыпают в барабан2, который устанавливают на посадочные места, задвигают каретку, установленную на 10 планке 7, с закрепленным на ней испарителем3 по направляющим 8 в рабочее положение (внутрь барабана). Далее эксцентриком закрепляют испаритель в рабочем положении.При этом одновременно осуществляется под жим контактов 9 к контактам 10. После этогоопускают колпак 1 и откачивают его до вакуума, необходимого для нанесения покрытий на детали. Затем включают привод (на...

Номер патента: 413217

Опубликовано: 30.01.1974

МПК: C23C 14/24, C23C 14/26, C23C 14/50 ...

Метки: 413217

...ивращательного перемещений детали, испаритель снабжен механизмом возвратно-поступательного движения, а нагревательное приспособление консольно закреплено на торцовомразъеме камеры, причем на свободном егоконце укреплена направляющая втулка-изолятор,На фиг. 1 и 2 показано предлагаемое устройство для нанесения покрытий в вакууме на наружную поверхность полы.; цилиндрических деталей.Устройство состоит из камеры 1, испарителя 2, системы вакуумированця 3, электробло ка 4, нагревательного приспособления 5 и механизма 6 возвратно-поступательного и вращательного перемещений детали 7. Испаритель 2 снабжен механизмом 8 возвратно-поступательного движения. Нагревательное 10 приспособление 5 коцсольцо закреплено наторцовом разъеме 9 камеры 1, На...

Номер патента: 413218

Опубликовано: 30.01.1974

МПК: C23C 14/26

Метки: 413218

...На чертеже показан предлагаемый испаритель для вакуумных установок, общий вид.Испаритель состоит из тигля 1, выполненного с двойными стенками и помещенного в резервуар 2 с испаряемым металлом. Внутренняя часть тигля соединена с резервуаром посредством канала 3 в дне тигля, Между двойными стенками тигля размещены спираль нагревателя 4 и экраны 5. Испаритель снабжен конденсатором б паров металла. Канал 3 в дне тигля 1 имеет небольшое поперечное сечение для уменьшения теплоотвода от внутренней, нагретой до высокой темпера. туры части тигля.Резервуар 2 выполнен таким образом, что основной запас металла находится в верхней расширенной части. Это способствует тому, что при длительном испарении уровень металла в тигле 1 изменяется...

Номер патента: 413219

Опубликовано: 30.01.1974

МПК: C23C 14/26

Метки: 413219

...во взаимно перпендикулярных плос кос 5 к ц сосдццсццых мсжд 4 собой цосрсдс 1- вом конических шестерен 3 и 4 с передаточным числом, равным двум. Палец 5 кулцсцого механизма 2 установлен ца кольце 6, эксцентрично закрепленном ца коническойшестерне 4.Вращение от эле 14 тродвигаеля 7 через червячцуо передачу 8 и 9 и конические шестерни 3 и 4 сообщается ролику 10, который при помощи кулисы 11 и скобы 12 передает выходному валу 13 возвратно-поступательное движение со скоростью, изменяющейся по синусоидальцому закону. Одновременно выходному валу 13 сообщается вращательное движение от конической шестерни 3 через ролик 14, вал-шестерьцо 15 и зубчатое колесо 16. Таким образом, благодаря наличию кулисной системы передачи вращения, в...

Номер патента: 415338

Опубликовано: 15.02.1974

Автор: Гаильман

МПК: C23C 14/26, H01C 17/08

Метки: вакууме, керамические, нанесения, основания, покрытий, резисторов

...19, Внутри шлюзов 8 ц 9 расположены емкости 20 и 21, в которые подаются основания резисторов: перед загрузкой в барабан 2 из загрузочного приспособлсция 4 в емкость 20 при открытом затворе 22 ц после металлизации из барабана 2 в емкость 21 прц открытом затворе 17.Емкости 20 и 21 снабжены рычагами 23 ц24, служащими для поворачивания этих емкостей вокруг оси, проходящей вдоль емко сти. Такая конструкция шлюзов позволяет подавать основания резисторов при открытых затворах 16 и 25 в барабан 2 и емкость разгрузочного приспособления 5, Беличье колесо испарителя закреплено на основании 26 цспарителя. Основание испарителя после каждого цикла металлизации (прогрев спирали и испарение сплава) поворачивается ца угол 90-60. При этом к токоведущим...

Номер патента: 418572

Опубликовано: 05.03.1974

Авторы: Гольденберг, Маркелов, Сумароков

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель, металлов

...металла самого контактного элемента и 15 деталей его подвода и крепления.Для повышения точности измерения уровня расплава и защиты от запыления испаряемым металлом контактного элемента в предлагаемом испарителе датчик-уровнемер снабжен ав тономным устройством для нагревания контактного элемента. Благодаря нагреванию контактного элемента до высокой температуры удается предотвратить конденсацию паров металла на его поверхности. 2 эНа чертеже показана схема предлагаемого испарителя металлов. В тигель 1 с испаряемым металлом 2 помещен датчик-уровнемер 3, контактный элемент которого крепится с помощью изолятора 4. Контактный элемент датчик-уровнемера нагревают путем пропускания через него тока от трансформатора 5. Контактный элемент...

Номер патента: 425988

Опубликовано: 30.04.1974

Авторы: Балакин, Бел, Дмитриев, Мелехин

МПК: C23C 14/26

Метки: вакуумных, испаритель, установок

...При этом диан близка к диаграмме ого испарителя,Цель ых по терзоб ретытий н ния - получение равн длинномерных изделия Для э ран-нагр и снабж торых п контейн редлагаемом испарителе эквыполнен перфорированным выми крышками, одна из ком петли жестко соединена с того в певательен торцоосредствоером. Предлагаемый испаритель для вустановок изображен на чертеже. тных 15 Общая площадь отверстий на единицу поверхности экрана-нагревателя изменяется от периферии к середине за счет изменения диаметра отверстий или за счет изменения расстояния между ними.20 Нагрев контейнера 2 осуществляется за счеттеплового поверхностного излучения цилиндрического экрана-нагревателя 1, причем температура контейнера незначительно отличается от температуры...

Номер патента: 433252

Опубликовано: 25.06.1974

Авторы: Горбачев, Дзевалтовский, Жариков

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

...разделенный перегородками из материала тигля на коаксиально расположенные секции, число которых равно числу испаряемых компонент, и нагреватели, расположенные в секциях тигля и служащие для поддержания заданной температуры испарения для каждой компоненты.Однако известные испарители ивают стабилизацию конденсата нного состава,Целью изобретения является обеспечение стабилизации конденсата пленок заданного состава,Для этого поперечные сечения секций тигля выбраны в соответствии с требуемым соотношением парциальных давлений паров компонент.На чертеже приведена схема конструкции испарителя.Испаритель содержит вакуумную камеру 1, манипулятор 2 с подложками в. кассетах 3, имеющий отверстие 4.для.,прохода паров кон. денсируемого на...

Номер патента: 1335576

Опубликовано: 07.09.1987

Авторы: Готфрид, Карл, Клаус

МПК: C23C 14/26

Метки: вакууме, испарения

...меньше, нельзя пренебрегать оттенением ,от стенок камер в диафрагме и возникает уменьшение толщины слоя на соответствующих местах подложки. Кроме того, известные устройства требуют относительно большой конструктивной высоты и большого расстояния от подложки.Цель изобретения - повышение производительности за счет максимального использования поверхности испарения и прогрева испарителя сверху и снизу.На чертеже показано предлагаемое устройство, разрез.Устройство состоит из ванны 1 испарителя, выполненной из листа качественной стали, разделенной перегородками на камеры и имеющей на верхней грани отбортовку шириной 20 мм. Нагрев ванны 1 испарителя косвенный от лучеиспускающего нагревателя 2, установленного на керамических элементах...

Номер патента: 1671732

Опубликовано: 23.08.1991

Авторы: Белов, Коляда, Кузнецов, Лесниченко, Олейник, Райцын, Рахманов

МПК: C23C 14/26

Метки: стальных, хромирования

...его на поверхности металлиэируемого из делия 6 поддерживается постоянным,Рабочая температура на поверхности металлиэируемого изделия поддерживается путем изменения мощности, подводимой к нагревателям в зоне предварительного нагрева изделий.Предлагаемый способ получения металлических покрытий на изделиях в вакууме путем испарения твердофазного металлизатора реализован следующим образомНа опытна-промыален",.ой устэн" ак вакуумного хромирования сте ьной полосы диффузионное покрытие обрэзуетсх ри и парении феррохрома чарки ФХО 10 и по;ле дующей конденсзц 1 и его паров иа нагретой юдложке,Покрытие нанссят на дзижущу,ся пг лосу толщиной 1 мм при ширине 330 1 м, Для реализации предлагаемого с,особа из, товлена тонкостенная обечайка из т ли...

Номер патента: 1758084

Опубликовано: 30.08.1992

Авторы: Левченко, Радзиковский

МПК: C23C 14/24, C23C 14/26

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...2973 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035. Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент". г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 В нагревателе 1 установлен трубопровод 2 с нэпыляемым материалом 3. Сужение 4 трубопровода 2 расположено в отверстии трубопровода 5, сужение 6 трубопровода 5 лежит на одной оси 7 с сужением 4. Трубопроводы 2 и 5 вьполнены идентичными, В отверстии трубопровода 2 установлена герметизирующая крышка 8, закрепленная посредством штифта 9 на кронштейне 10. Трубопроводы 2 и 5 поджаты к герметизирующему элементу пружинным элементом 11, закрепленным с помощью винта 12 на кронштейне 10. На крышке 8 закреплен стержень 13, свободный...

Номер патента: 1810393

Опубликовано: 23.04.1993

Авторы: Василенко, Ивашов, Оринчев, Родионов, Степанчиков

МПК: C23C 14/26

Метки: вакуумных, испаритель, установок

...разрезе,Испаритель для вакуумных(фиг, 1) содержит металлический1, установленный на основании 2лоизолятор 3, перфорированнуюнагреватель 5, отражател ьн ывсмонтированный на теплопроводложенном внутри контейнера 1, перфорированную диафрагму 8, установленную параллельно перфорированной крышке 4 на опоре 9 с возможностью вращения, причем число отверстий, их диаметр на крышке 4 и диафрагме совпадают. Перфорированная крышка 4 связана с контейнером 1 посредством сильфона 10, а перфорированная диафрагма 8 связана с основанием 2 посредством шести приводов 11, таким об разом, что образуется геометрически измеряемая структура 1-координат. Приводы 11 связаны с основанием 2 и,перфорированной диафрагмой 8 посредством шарнира 12,Испаритель для вакуумных...

Номер патента: 1816801

Опубликовано: 23.05.1993

Авторы: Лямин, Мусин

МПК: C23C 14/26

Метки: вакууме, молибденового, нанесения, покрытия

...за весь цикл нанесения покрытияподложка не нагревается выше 1000 К.Нижним пределом температуры подложки является температура 473 К, Данное30 значение темперзтурц определялось экспериментально и с учетом того, что адгезионная прочность (или прочность сцепления)между покрытием и подложкой зависит оттемпературы подложки. Для обеспечения35 хорошей прочности покрытия с подложкойпоследнюю необходимо подогревать до несколько сотен градусов.П р и м е р 1, Молибденовое покрытиенаносили на кварцевую подложку. Подлож 40 ку устанавливали на расстоянии 3 мм отиспаряемого материала, камеру герметизировали, производили откачку до давления5 10 Па. Затем испаряемый материал(Мо) нагревали до 2316 К и при этой темпе 45 ратуре и давлении производили...

Номер патента: 1832131

Опубликовано: 07.08.1993

Авторы: Батов, Горбунов, Иванов, Новиков, Поскачеев, Саенко

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель, плазменный

...По мере увеличения моцсности дуги выключа)от нагреватель 6 и дальнейшую работу испарителя осуществллОт В сзморазогревном рРжим 8 зз счет подвода тепла ( СТЕНКЗМ КЗМ 8 РЫ с И СОПЛЗ 5 ОТ РсУГОВОГО разряда, С помощью мзг 1 ип)ого поля соле" ноида 8 регулируют заполнение положительным столбом дуги площади критического сечения сопла 5, По достикении рабочего режима испарителя г)одэют отрицательный потенцизса подложкодержатель 12 и подложку 13 от источника 11,открывают заслонку Ил 1 Вводят подложку в стру 10) и начинаот осажден)ле покрытия наподложке 13. ся минимальный промежуток исходного 1,:зтериала в твердом состоянии. При этом тигель-катод охлаждают или принудительно с помощью охлзждзОгцих жидкостей или газов, или за счет радиационного...

Номер патента: 2000357

Опубликовано: 07.09.1993

Автор: Грицкевич

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

...и свойствами при его длитель 15 ной работе обеспечивают за счет неизменности площади контактирования сиспарительным узлом материала (вплоть дополного его испарения). обеспечивающейвысокое постоянство скорости осаждения20 пленок заданного состава, и устраненияпроникновения испаряемого материала эапределы испарительного узла,Не обнаружены технические решения,содержащие совокупность отличительных25 признаков изобретения, в связи с чем оносоответствует критерию "существенные отличия",На чертеже схематично показан испаритель, где 1 - испарительный узел, 2 -30 подающий узел, 3 - корпус испарительногоузла. 4 - нагреватель, 5 - отверстия длявыхода пара, 6 - тигель, 7 - поршень, 8 -испаряемый материал,Испаритель состоит из...

Номер патента: 1354761

Опубликовано: 30.06.1994

Авторы: Буравцев, Грицкевич, Обухов, Точицкий

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

ИСПАРИТЕЛЬ, содержащий тигель для испаряемого материала, нагреватель, паропровод, испарительный элемент, расположенный между тиглем и паропроводом, и поршень для подачи материала из тигля к испарительному элементу, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий и снижения непроизводительных потерь испаряемого материала, испарительный элемент выполнен в виде решетки со стенками ножевидной формы, причем острые концы стенок обращены в сторону тигля.

Номер патента: 1478660

Опубликовано: 30.06.1994

Авторы: Буравцев, Обухов, Рубан, Точицкий

МПК: C23C 14/26

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее подложкодержатель, испаритель, установленный напротив подложкодержателя, формирователь потока пара, расположенный на испарителе и выполненный в виде коаксиально расположенных усеченных конусов, стенки которых образуют каналы для выхода пара, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытий и увеличения коэффициента использования материала покрытия, формирователь потока пара размещен так, что его ось совпадает с центром подложкодержателя, а каналы для выхода пара выполнены так, что оси пересекают подложкодержатель в кольцевой зоне с радиусом R, выбираемом из выражения R=(0,6-0,9)R, где R - радиус подложкодержателя, мм, при этом расстояние L от подложкодержателя до...

Номер патента: 714807

Опубликовано: 15.12.1994

Авторы: Абдуллаев, Хорошхин

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

1. ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ, содержащий узел расплавления наносимого материала, полый электрод с узлом подачи материала покрытия в зону дугового разряда, выполненный в виде стакана, и кольцевой электрод, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности процесса испарения и качества покрытий, узел расплавления наносимого материала снабжен стержневым электродом из испаряемого материала, выполненным с возможностью возвратно-поступательного перемещения относительно полого электрода, причем один его конец размещен в полости полого электрода.2. Испаритель металлов по п.1, отличающийся тем, что на внешней боковой поверхности стакана выполнены пазы, служащие для подачи материала покрытия в зону дугового разряда, причем...

Номер патента: 1605575

Опубликовано: 20.06.1996

Авторы: Буравцев, Карамышев, Лушин

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

1. Испаритель, преимущественно для испарения резиста, содержащий тигель с резистивным нагревателем, формирователь потока пара, дозатор испаряемого материала и экран, отличающийся тем, что, с целью повышения коэффициента использования испаряемого материала, он снабжен дополнительным экраном с отверстием и упором в виде втулки с центральным и боковыми отверстиями, при этом дозатор установлен коаксиально внутри тигля, а дополнительный экран закреплен на экране соосно тиглю между формирователем потока пара и дозатором.2. Испаритель по п. 1, отличающийся тем, что дозатор выполнен в виде трубки со сквозными поперечными пазами и снабжен отсекателем, расположенным соосно внутри трубки с возможностью возвратно-поступательного перемещения.