Устройство для загрузки испарителей
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 344032
Авторы: Бауман, Гумен, Калининска, Трофимов
Текст
ОП И САНИ ЕИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 344032 Сова Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваМ. Кл. С 23 с 13/00 1,1970 ( 1498301/26-9)ием заявкивлен с присоедин Комитет по делам зобротений и открыти ори Совете Министров СССРоритет УДК 621.396.6(088,8) публиковано 07 Х 1.1972. Бюллетень ния описания 18 ХП,197 та опубли Авторизобре я В. ф, Гумен, Т, В, Калининская, Л, Н, Морев, Е, И, Трофимови Э. И. Бауман Заявител ВСЕСОЮЗНАЯ ТРОЙСТВО ДЛЯ ЗА И ИСПАРИТЕЛЕ шаговыи двигатель 1 отак 4, тигель 5, обой ной вал 8 редуктора Изобретение может быть использовано вавтоматизированных установках для производства интегральных микросхем методом стабилизации скорости напыления путем строгой дозировки вещества, подаваемого на испарение в единицу времени.Известные устройства для загрузками испарителей, например, для вакуумных напылительных камер, содержащие бункер, дно которого снабжено отверстием для выгрузки материала, лоток, механизм дозировки с диском и приводной механизм, обладают низкой точностью дозировки вещества в процессе напыления.В предлагаемом устройстве для повышенияточностями дозировки вещества в процессе напыления диск расположен на дне бункера и снабжен калиброванными отверстиями, на корпусе бункера закреплена пружинная скоба, перекрывающая ряд калиброванных отверстий над лотком, а приводной механизм выполнен в виде шагового двигателя, вал котооого жестко соединен с диском механизма дозировки.На чертеже представлена конструкция предлагаемого устройства с разрезом по А - А.Устройство содержитредуктор 2, бункер 3, лму б, крышку 7, выход) диск 9 порционной загрузки, на нижнем выступе которого по окружности находятся калиброванные отверстия 10, заполняемые распыляемым веществом, Обойма б бункера име 5 ет в нижней части пылеуловитель 11, предотвращающий попадание порошкообразного вещества в редуктор 2, и ссыпное отверстие 12.Над ссыпным отверстием на корпусе обоймы б закреплена пружинная скоба 13.10 Устройство работает следующим образом.Распыляемое вещество засыпается в бункер 3, состоящий из обоймы б и крышки 7, В бункере расположен ступенчатый диск 9 порционной загрузки, Пружинная скоба 13 15 своей нижней плоской частью прижимается квыступу диска 9 порционной загрузки и плотно закрывает ряд калиброванных отверстий 10, отделяя их от остального объема бункера 3, в результате чего в этих отверстиях обра зуются строго определенные дозы вещества.При вращении диска 9 порционной загрузки калиброванное отверстие 10 совмещается с ссыпным отверстием 12, и дозированная порция вещества по лотку 4 попадает в тигель б.25 Диск 9 порционной загрузки жестко закреплен на выходном валу 8 редуктора 2, выходной вал которого связан с валом шагового двигателя 1.Скорость подачи напыляемого вещества ре гулируется частотой управляющих импчльсов344032 оставитель Ю, Еркехред Т. Ускова Корректоры: Е. Ласточкинадактор Т. Ивановаи Е. Давыдкина Подписноеаказ 2167(12б " открытий при Совете Министров СССРНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий пМосква, Ж.35, Раушская наб д. 4/5 пография, пр, Сапунова шагового двигателя. Скорость подачи вещества в тигель 5 определяет скорость осаждения вещества.Предмет изобретенияУстройство для загрузки испарителей, например, для вакуумных напылительных камер, содержащее бункер, дно которого снабжено отверстием для выгрузки материала, лоток, механизм дозировки с диском и приводной механизм, отличающееся тем, что, с целью повышения точности дозировки вещества в процессе напыления, диск расположен на дне бункера и снабжен калиброванными 5 отверстиями, на корпусе бункера закрепленапружинная скоба, перекрывающая ряд калиброванных отверстий над лотком, а приводной механизм выполнен в виде шагового двигателя, вал которого жестко соединен с дис ком механизма дозировки.
СмотретьЗаявка
1498301
В. Ф. Гумен, Т. В. Калининска Л. Н. Морев, Е. И. Трофимов, Э. И. Бауман
МПК / Метки
МПК: C23C 14/26
Метки: загрузки, испарителей
Опубликовано: 01.01.1972
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-344032-ustrojjstvo-dlya-zagruzki-isparitelejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для загрузки испарителей</a>
Устройство для загрузки бункера сверху
Номер патента: 781166
Опубликовано: 23.11.1980
Авторы: Босько, Гатих, Корда, Царев
МПК: B65G 65/32
Метки: бункера, загрузки, сверху
...накопительные бункера брикетов,3 7811 ток 3 и шарнирно соединенный с ним поворотный в вертикальной плоскости лоток 4. Узел шарнирного соединения лотков содержит прикрепленный к корпусу бункера 1 поворотный на оси 5 сектор 6 с ребордами 7, к которому жестко прикреп 5 лен поворотный лоток 4. Конец лотка расположен между ребордами 7 сектора 6. В верхней части поворотного лотка с помощью опорных колодок 8 жестко при-;10 креплены одними концами гибкие прутки 9, другие концы которых расположены с воэможностью их перемещения в направляющей колодке 10, прикрепленной к верхней поверхности неподвижного на -15 правляющего лотка. С осью вращения сектора 6 кинематически связана ось кольцевого реохорда 11, включенного в электрическую схему следящей...
Устройство для загрузки бункеров высевающих аппаратов семенами
Номер патента: 954022
Опубликовано: 30.08.1982
МПК: A01C 7/00
Метки: аппаратов, бункеров, высевающих, загрузки, семенами
...к ним загрузочными патрубками 6 и решетку 7, установленную под конусом 4. Устройство снабжено вен4ся предохранительный клапан 10 и происходит выброс воздуха в атмосферу. При опорожнении бункеров 12 высевающих аппаратов нижние концы патрубков 6 освобождаются от семян, давление в магистралях падает закрывается клапан 10,и происходит транспортирование материала к бункерам высевающих аппаратов.Применение предлагаемого изобретения дает возможность повысить надежность работы устройств для загрузки бункеров высевающих аппаратов семенами. Формула изобретения 1 Устройство для загрузки бункеров высевающих аппаратов семенами, включающее емкость с люком, снабженную распределителем потока загружаемых семян, который имеет, конус, отверстия...
Устройство для загрузки бункеров
Номер патента: 983008
Опубликовано: 23.12.1982
Автор: Ефименко
МПК: B65G 65/32
...имеет четыре отверстия - два крайних 3.6 служат для Входа ролика 8 в направ д ляющую, а средние 17 для выхода ролика 9 из направляющей при движении конвейера. Крайние ответвления 16 в верхней части имеют отклоняющиеся стенки 18 подпружиненные в одном направлении пру- зо жинами 3.9. Средние ответвления 17 также имеют отклоняющиеся стенки 20 подпружиненные пружинами 21, установленные в нижней части ответвлении,35Н крайних конечных положепях конвейера установлены концевые направляесь. щие 22 для вывода из зацепления рычагов 8 и 3.0 со штырями 7, выполненные аналогично крайнему отверстию 16 боковой направляющей 15.Устройство работает следующим образом.При движении передвижного реверсивного конвейера вправо, а ленты - влево, происходит...
Устройство для загрузки бункеров топливоподач электростанций
Номер патента: 1041448
Опубликовано: 15.09.1983
Автор: Макаров
МПК: B65G 43/00
Метки: бункеров, загрузки, топливоподач, электростанций
...неподвижная часть сердечника 60 выполнена цилиндрической с дисковым основанием 61 и установлена соосно с выходным валом редуктора, а катушки индуктивности 62, 63 и 64, 65 размещены на индуктивных сердечниках 66 и 67 с возможностью перемещения и фиксации их в различных положениях по периметру основания.Катушки индуктивности включаются в плечи блоков мостовых схем 68, 69 и 70, 71, формирующих выходные сигналы управления при изменении индуктивности кату.1011448 3шек в результате перемещения подвижнойчасти сердечника 59.Устройство работает следующим обра=;зом,Транспортировка топлива осуществляег-ся с помощью транспортеров 2 и 3, а загруз-.ка топлива в соответствующий бункер 1 производится плужковым сбрасывателем 4, ко-торый управляется...
Устройство для загрузки бункеров
Номер патента: 1111967
Опубликовано: 07.09.1984
Авторы: Ганелин, Егнус, Козлов, Лебедь, Мисевич, Черепов
МПК: B65G 65/30
...качаци 5лносительно продольной оси. На верхнейциж ней поверхности трубок 2 жесткозакреплецы иродо,чьные ребра 3 и 4. Ребра3. имеют В разрезе клиновидную форму и к 50инм в шахматном иорялке прикрепленыпоперечные пластины 5. Б боковых поверх.ностях трубок 2 именлся отверстия 6 лля подачи воздуха в корпус из магистрали.Кажлая трубка 2 установлена в подшипниках 7 и имеет с олной стороны рычаг В,нижний конец котарого шарнирно соединен со штангой 9 и приводом О. С другойстороны трубки 2 соединены с патрубкомдля подвода воздуха по шлангу 12 от воздушной магистрали 13.ЛНН 5 це корпуса 1 выполнено наклонными на нем смонтирован аэрационный элемент14, также соединенный с воздушной магистралью 13.Б нижней части бункера имеется нсасываю 5 ций...
Предыдущий патент: Состав ванны для сульфоцианирования
Следующий патент: Способ нанесения покрытий из карбидов металлов
Случайный патент: Пресс-форма для изготовления выплавляемых моделей