Устройство для загрузки испарителей
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ВжофвэтеайЗатвнтно-техничесееЮ .Юафефтена МЬЛ ,270433 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ исимое от авт. свидетельстваКл. 48 Ь, 1310 Заявлено 24.Ч,1968 ( 1242041/2 исоединением заявкиМПК С 23 с 13/О ПриоритетОпубликовано 08.Ч,1970, Бюллетень смит елее изобретени открытии УДК 621.793,14.00сете Министр СССР а опубликования описания З.Ч 111.970 Авторыизобретени овиА Парфеню Ворона атвеичук Заявитель УЗК АРИТЕЛЕЙ ТРОЙСТВО ДЛ Устройство работает следующим образом.Толкатель ручного привода, упираясь в рыаг 4, перемещает его относительно оси 2 стойки 1. Укрепленыс на рычаге 4 посредст вом плоских пружи 5, б корпус 7, барабанхраповик 8, желоб 9 с экраном также перемещаются в сторону испарителя. При этом пружина 14, закрепленная на стойке 1, упирается в зуб барабана-храповика 8 и провора чивает его на одну позицию.Продолжая двигаться, корпус 7 упирается вограничивающий винт 15 и останавливается.При дальнейшем движении толкателя привода пружины 5, б деформируются, и винт 1 б рычага 4, упираясь в рычаг 11, приводит в движение плмнжер 10. Плунжер заходит в гнездо барабана-храповика 8, выталкивая навсску в желоб 9 с экраном. и испариустановок, ычаг, плокен ча Навеска скат ном и попадает ходе толкателя и рычаг 11 возв ние под действ экраном закры экране испарит Так как в ба семь гнезд с на ла, то можно п парителя.Изобретение относится к технике изготовления микросхем методом вакуумного напьтлсния и предназначено для использования в вакуумных напылительных установках для загрузки испарителей распыляемым материалом.Известны устройства для загрузктелей вакуумных напылительныхсодержащие подающее устройство, рские пружины, бараба-храповик.Предлагаемое устройство отличается от известных тем,. что корпус устройства соединен посредством плоских пружин с поворотньм рычагом, а барабан-храповик снабжен гнездом, в которое входит плунжер.Благодаря этому повышается надежность устройства.На фиг. 1 изобра о устройство в общем виде; на фиг. 2 - рь г с подающим устройсгвом в разрезе.На стойке 1 монтируют все детали устройства. На оси 2 стойки 1 на шарикоподшипниках д установлен рычаг 4, к которому через плоские пружины 5, б крепится корпус 7. На корпусе 7 смонтированы барабан-храповик 8, желоб 9 с экраном и подающее устройство. Подающее устройство состоит из плунжера 10, рычага 11, пружины 12. Для крепления устройства в вакуумной камере на стойке 1 имеется хомут, стягиваемый болтом 18. ывается по желобу 9 с экрав испаритель. При обратном ручного привода плунжер 10 ращаются в исходное положеем пружин 12 и 17, желоб 9 вает загрузочное отверстие в еля,рабане-храповике имеется вовесками испаряемого материароизвести восемь загрузок ис270433 раж 480 аказ 2206/8 одписно и, нп ,ня, пр. Сапунова,Предмет изобретения Устройство для загрузки испарителей, например вакуумных напылительных камер, содержащее барабан-храповик, желоб и экран, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства, экран закреплен на желобе, корпус устройства соединен посредством плоских пружин с поворотным рычагом, а барабан-храповик снабжен гнез- Б дом, в которое входит плунжер.
СмотретьЗаявка
1242041
В. М. Парфенюк, А. В. Ворона, А. Н. Жданов, А. И. Матвейчук
МПК / Метки
МПК: C23C 14/26
Метки: загрузки, испарителей
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-270433-ustrojjstvo-dlya-zagruzki-isparitelejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для загрузки испарителей</a>
Предыдущий патент: Устройство для испарения материалов в вакууме
Следующий патент: Пленкообразующий ингибитор для предупреждениякоррозии
Случайный патент: Электроуправляемый распределитель