Устройство для напыления металлов в вакууме
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
фсчсоюезхтфненм тО П И"С"А ЙИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВз 1 ДЕТЕЛЬСТВУ 24842 О Союз Соеетских Социалистических Республикависимое от авт. свидетельстваКл. 48 Ь, 13/О явлено 05,Ч 11,1967 ( 1172995/29-33) с присоединением заявкиМПК С 23 сУДК 621,793,14(08 Комитет по делам изобретеиий и открытий при Сосете Мииистрое СССРио итет Опубликовано 10,Ч 11.1969, Бюллетень23Дата опубликования описания 12.Х 11.1969 Авторызобретения аров, В. С. Трухов, 1 О. Е. Ключевский, У. Х, Газиев и Е, П,Орда Физико-технический институт АН Узбекской С аявите СТРОЙСТВО ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ МЕТАЛЛОВ В ВАКУУМЕ ления металспарительный ллов на него омерным из- испарительозможн остью изма подачи качающегося Изобретение относится к производствупыления металлов на подложку.Известны устройства для напылов в вакууме, содержащие иэлемент, механизмы подачи метаи перемещения подложки.Для создания устройства с равносом испарительного элементаный элемент устанавливается с вперемещения относительно механметалла, выполненного в видерычага.Это повышает производительность. устства. На чертеже изображено предлагаемое устройство для напыления металлов в вакууме.Оно состоит из трех основных частей: механизма подачи ленты распыляемого металла на испаритель, испарителя и механизма переме. щения подложки. Механизм подачи ленты на испаритель выполнен в виде качающегося рычага, совершающего колебания относительно оси 1. Этот механизм приводится в колебательное движение с помощью вращающегося кулачка 2 и ролика 3, опирающегося на кулачок и закрепленного на верхнем плече рычага 4. На нижнем плече рычага крепятся цилиндрический ролик б, на который наматывается запас металлической ленты б, предназначенной для распыления, и цплиндрическии ролик 7, выполняющий роль приисимного и подающего. При движении вверх нижнего плеча механизма подачи рычаг 8 храпового механизма 9, 10 упирается в упор 11, вследствие чего храповик 9 и связанный с ним подающий ролик 7 поворачиваются против часовой стрелки, выдвигая часть 12 металлической ленты по направляющему желобку 13.При опускании нижнего плеча рычага механизма подачи вниз выдвинутая часть 12 металлической ленты соприкасается с раскаленной поверхностью вольфрамового стержня 14, который сплавляется и испаряется.Испарительный элемент устройства состоитиз вольфрамового стержня 14, нагреваемого электрическим током и закрепленного с помощью изоляторов 15 на подвижной тележке 1 б.Тележка 1 б с помощью кривошипно-шатунно го механизма связана кинематически с приводом кулачка 2 и совершает возвратно-поступательное движение по дну вакуумной камеры.Благодаря такому движению тележки каждая последующая порция расплавленного металла 5 лоукится на новое место вольфрамового стержня испарителя, что обеспечивает равномерность износа стержня.Механизм движения подложки 17 состоитиз направляющих валиков 18, которые кине матически связаны с движением кулачка,аказ 3211/17 Тираж 480 Подписн ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров ССС Москва Ж, Раушская наб., д, 4/5ипография, пр, Сапунова,Устройство для напыления металлов в вакууме, содержащее испарительный элемент, механизмы подачи металла на него и перемещения подложки, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности устройства, испарительный элемент установлен с возможностью перемещения относительно механизма подачи металла, выполненного в виде 5 качающегося рычага.
СмотретьЗаявка
1172995
Г. Я. Умаров, В. С. Трухов, Ю. Е. Ключевский, У. Газиев, Е. П. Орда, Физико технический институт Узбекской ССР
МПК / Метки
МПК: C03C 17/00, C03C 17/09, C23C 14/26
Метки: вакууме, металлов, напыления
Опубликовано: 01.01.1969
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-248420-ustrojjstvo-dlya-napyleniya-metallov-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для напыления металлов в вакууме</a>
Предыдущий патент: Устройство для хромирования 3. яцейтлина
Следующий патент: Способ нанесения защитного покрытия
Случайный патент: Устройство для смазки цилиндра