C23C 14/26 — с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

Номер патента: 1600383

Опубликовано: 10.12.1996

Авторы: Буравцев, Каплин, Сатаров

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

...инертного газа и механизмом 20 возвратно-поступательного перемещения тигля 5.Между реакционной камерой 1 и дополнительной камерой 18 размещен вакуумный затвор 21. Дополнительная камера 18 соединена также патрубком 22 вакуумной откачки.Испаритель работает следующим образом, В дополнительную камеру 18 загружают тигель 5, камеру 18 герметизируют и включают вакуумную откачку, затем механизмом 20 перемещают тигель 5 через 1. Испаритель, содержащий реакционную камеру, нагреватель, тигель с крышкой с центральным отверстием, формирователь потока пара, дополнительную камеру и механизм транспортировки тигля, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет уменьшения их дефектности, тигель снабжен расс екателем потока пара,...

Номер патента: 1491032

Опубликовано: 20.11.1997

Авторы: Волостнов, Пастухов, Фришберг, Цымбалист

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель, металлов, сплавов

Испаритель для металлов и сплавов, содержащий закрытый цилиндрический контейнер с отверстием для выхода пара, торцовые крышки и закрепленный в них нагреватель, расположенный в верхней части контейнера со стороны расположения отверстия, отличающийся тем, что, с целью повышения качества конденсируемого продукта путем предотвращения конденсации пара на стенках отверстия при сохранении максимальной производительности, отверстие для выхода пара выполнено диаметром dо, выбранным из выражения do (A dk l)0,25 0,4dk, а нагреватель...

Номер патента: 1545654

Опубликовано: 27.01.2000

Автор: Темиров

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

Испаритель, содержащий тигель с нагревателем и управляющую пружину, отличающийся тем, что, с целью повышения качества наносимых покрытий за счет стабилизации диаграммы направленности испарителя, пружина размещена со стороны дна тигля соосно с ним, причем пружина выполнена с жесткостью, определяемой выражением Z = Pp S, где Pp - удельный вес испаряемого материала, г/см3; S - площадь поперечного сечения тигля, см3, а тигель расположен внутри нагревателя с длиной боковой стенки, определяемой выражением Н 2h, где Н -...

Номер патента: 1455763

Опубликовано: 20.03.2000

Автор: Невский

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

Испаритель, содержащий тигель с нагревателем и систему для локального улавливания газоотделений с тигля в виде набора сменных цилиндров из адсорбента, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий, за счет исключения загрязнений подложки, он снабжен корпусом, на торце которого выполнено отверстие для выхода пара, расположенное напротив открытой поверхности тигля, и запорным клапаном для перекрытия этого отверстия, а система для локального улавливания газоотделений снабжена охлаждаемой вставкой для размещения сменных цилиндров из адсорбента.

Номер патента: 1716816

Опубликовано: 20.12.2005

Авторы: Григоренко, Качанов, Старжинский

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

1. Испаритель, содержащий парообразователь с отверстиями для выхода пара и герметичный люк для загрузки испаряемого материала, отличающийся тем, что, с целью уменьшения энергоемкости, инерционности, повышения надежности и стабилизации парового потока, корпус парообразователя выполнен из гофрированной тонкостенной трубы круглого или прямоугольного сечения.2. Испаритель по п.1, отличающийся тем, что парообразователь выполнен из нескольких гофрированных труб, герметично соединенных между собой промежуточным элементом.3. Испаритель по пп.1 и 2, отличающийся тем, что ширина отверстий, расположенных на вершинах гофр, равна 0,2-2,0 мм.4. Испаритель по пп.1-3, отличающийся...

Номер патента: 1674581

Опубликовано: 27.04.2008

Авторы: Артоболевская, Блинов, Браницкий, Евстропов, Качанов, Колыванский, Тазенков

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель

1. Испаритель, содержащий парообразователь, парораспределитель с отверстиями для выхода пара, питатель с запорным клапаном, установленный между парообразователем и парораспределителем, и нагреватель, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет улучшения их однородности и воспроизводимости, площадь сечения питателя равна 0,01-0,001 площади внутренней поверхности парообразователя, а суммарная площадь отверстий парораспределителя равна 0,01-0,001 площади внутренней поверхности парораспределителя. 2. Испаритель по п.1, отличающийся тем, что парообразователь снабжен герметичным люком для загрузки испаряемого материала.

Номер патента: 1120706

Опубликовано: 27.09.2013

Авторы: Гурский, Жебин, Зеленин

МПК: C23C 14/26

Метки: испаритель, нанесения, нихромовых, пленок

1. Испаритель для нанесения нихромовых пленок, состоящий из нихромовых проволочных элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения срока службы, он снабжен стержнем из нихрома, а проволочные элементы выполнены в виде спиралей, одна из которых навита на стержень и между ее витками размещена смесь из порошков хрома и никеля, а другая навита на стержень между витками первой, причем шаг t между витками первой и второй спиралей выбран из выражения 1,4 d t 1,9 d, где d - диаметр проволоки.2. Испаритель по п.1, отличающийся тем, что соотношение...