ZIP архив

Текст

Союэ Советских Социалистичсскик Реслублик. 21 а 4,7181/26 Заявлено 10 Х.1965 ( с присоединением заявк ПриоритетОпубликовано 08,1 Х,1967 МПК Н 01 п о делами открытийМинистровР мите изобретен лри Сове К 539,234,08(088.8) юллетень18 та опубликования описания 20.Х 1.1967 Авторыизобретения И, С. Лискер, Е. И. Черепов и В, М, ЗагоруйкоИнститут математики Сибирское отделение АН СС явитель СТРОЙСТВО ДЛЯ ТЕРМИЧЕС НАПЫЛЕНИЯ П Известные у пыления плен меру, внутри и напыляемая достаточно вь осле того, как давдостигнет заданной троиства для термического нак, содержащие вакуумную каоторой размещены испарительподложка, не обеспечивают окого качества напыления. В описываемом устройстве для термического напыления пленок повышение качества напыления достигнуто тем, что испаритель выполнен в виде двух, соединенных между собой цилиндрическим каналом, оканчивающимся дистанционно управляемым герметичным затвором, камер, одна из которых содержит испаряемый материал, а вторая снабжена выходным отверстием, служащим для выпуска из камеры паров иапыляемого на подложку веществаКонструктивное выполнение устройства изображено иа чертеже.Внутри вакуумной камеры 1 размещен цилиндрический нагреватель 2, Внутри нагревателя 2 установлен испаритель, состоящий из двух камер 3 и 4. Камеру 3 загружают иопаряемым веществом 5. Камеры 3 и 4 сообщаются между собой посредством цилиндрического канала б, оканчивающегося герметичным затвором 7, Камера 4 снабжена выходным отверстием 8, служащим для выпуска из камеры паров 9 напыляемого на подложку 10 вещества 5. Затвор 7 открывают пление насыщенного паравеличины,Через канал б пар из камеры 3 подает в ка 5 меру 4, и через отверстие 8 выходит из камеры 4, а достигнув подложки 10, образует наней пленку 11.Вследствие того, что оси канала 6 иотверстия 8 взаимно перпендикулярны, иаО подложку поступает только моноатомиыйпар, что позволяет повысить качество напыления пленокПри достаточном давлении в камере 3 длительность процесса напыления может бытьдоведена до сотых долей секунды, что позволяет снизить воздействие остаточных газов ввакуумной камере на свойство пленок и повысить производительность и экономичность работы устройства,ОПредмет изобретения Устройство для термического напыленияпленок, содержащее вакуумную камеру, внутри которой размещены снабженный нагрева телем испаритель и напыляемая подложка,отличающееся тем, что, с целью повышения качества напыления, испаритель выполнен в виде двух, соединенных между собой цилиндрическим каналом, оканчивающимся дистаи- ЗО ционно управляемым герметичным затвором,201484 камер, одна из которых содержит испаряемый материал, а вторая снабжена выходным отверстием, служащим для выпуска из камерыгаров напыляемого на подложку вещества. Составитель В, АгаповТек е Т, П. К илко Редактор А, Эйдис р Л УР Корректоры Л. В, Наделяева и С. ф, Гоптаренко396/4 Тираж 535ПИ Комитста по делам изобретений и открытийМосква, Центр, пп, Серова,пография, пр. Сапунов Заказ ЦНИ Подписное Совете Министров СССР

Смотреть

Заявка

1007181

И. С. Лискер, Е. И. Черепов, В. М. Загоруйко Институт математики Сибирское отделение СССР

МПК / Метки

МПК: C23C 14/26

Метки: 201484

Опубликовано: 01.01.1967

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-201484-201484.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">201484</a>

Похожие патенты