Испаритель алюминия для вакуумных установок

ZIP архив

Текст

О й - И"С"А Н И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ 329253 Союа Соввтскиа Социалистическиа РеслубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ависимое от авт. свидегельства М Заявлено 06.1 Ъ.1 1423844 22 М. Кл. С 23 с 13/12 тсоединением заявкириоритетпубликовано 091972. Бюллетень7 ьтитет ло дела зобретений крыти УД К 621.793.14.002.5овете Министров я описания 6.1.1972 та опуоликова Авторыизобретени С. Славников, ф. А, Власов, Б. В. Максименко и Н, А. УсыниТомский институт радиоэлектроники и электронной техники вите ИСПАРИТЕЛЬ АЛЮМИНИЯ ДЛ УМНЫХ УСТАН редмет нзобр ти 11 спарптеповок, содер 20 минин п наг с целью пов нагреватель лпбдена, вну так, чтобы р 25 ленного алю ьателя было трубы нагрех уста- а алюем, что, аренпя, пз мотигель асплав- нагре- метровалюминия дляжащцй тигель иреватель, отличаышенпя стабилывыполнен в видтрп которой усасстояние от повемпнпя до верхнене менее одногователя,вакуумнь з нптрид юи(ийся т ости исп е трубы тановлен рхности р го торца -двух диа молибденосварки; тороволоки. Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.Известен испаритель алюминия для вакуумных установок, содержащий тигель из нитрида алюминия и нагреватель. Однако этот испаритель не обеспечивает стабильности ис. парения алюминия,Предлагаемый испаритель отличается от известного тем, что для повышения стабильности испарения нагреватель в нем выполнен в виде трубы из молибдена, внутри которой установлен тигель так, чтобы расстояние от поверхности расплавленного алюминия до верхнего торца нагревателя было не менее одного-двух диаметров трубы нагревателя.Описываемый испаритель изображен на чертеже, общий вид,Испаритель содержлт тигель 1 пз нитрида и нагреватель 2, выполненный в виде трубы из молибдена, внутри которой установлен тигель так, чтобы поверхность расплавленного алюминия была на расстоянии не менее одного-двух диаметров трубы нагревателя от верхнего торца нагревателя.Нагреватель, изготавливают извой фольги с помощью точечнойкоподводы 3 - из молибденовой п Гемпература тпгля измеряется с помощьютермопары 4. При нагревании расплавленный алюминий слабо смачивает тигель, не вступает с ним в реакцию и не переливается че рез края. Нагреватель равномерно нагреваеттигель. По достижении температуры испарения поток алюминия в трубе нагревателя, действуя как пароструйный насос, уменьшает парциальное давление азота плп аммиака над о тиглем, тем самым препятствует образованиюслоя нптрида алюминия па расплавленном алюминии. Это приводит к стабилизации процесса испарения.329253 Составитель И. Резни сдактор Л Тереп 3. Тараненко оррскгор Н. Шевченко онкова ТиГО 13 афи 51, :р. Саприон Заказ 858,117 Изд, ка 239 Тираж 448 Поэшсно ЦПИИПИ Комитета по делам изобретенаи открыти при Совете Министров СССР Москва, )К, Раунскал наб., д, 4/5

Смотреть

Заявка

1423844

В. С. Славников, Ф. А. Власов, Б. В. Максименко, Н. А. Усынина, Томский институт радиоэлектроники, электронной техники

МПК / Метки

МПК: C23C 14/26

Метки: алюминия, вакуумных, испаритель, установок

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-329253-isparitel-alyuminiya-dlya-vakuumnykh-ustanovok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Испаритель алюминия для вакуумных установок</a>

Похожие патенты