Устройство для изготовления тонкопленочных
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистических Республик, 21 а аявлено 13.1 м заявкирисоединен ПК Н 01 п Приор ит Комитет по делам изобретений и открытий лри Совете Министров СССР,1966, Бюллетень М 2 публикован ния описания 1.Х 11.196 а опублик СТРОЙ С ЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТО РАДИОДЕТАЛЕЙЕНОЧНЫХ естерня 11 ателем 12 ОиП,Ш элект одвиг том евой гощ той 15 поепреществ ругой я 1 б х впарыт Известны устройства для изготовления тонкопленочных радиодеталей методом испарения, выполненные в виде многосекционной камеры с размещенными в секциях испарителями металла или диэлектрика с соответствующей маской, через которую производится напыление на подогреваемую подложку.В предложенном устройстве проводящие или диэлектрические вещества наносятся на подложку в вакуумной камере через многощелевую маску от одновременно действующих автономных испарителей и относительно вращения маски с испарителями и подложки.Это дает возможность получить моточные тонкопленочные радиодетали, например многообмоточные трансформаторы с ферромагнитными сердечниками, и повысить степень автоматизации процесса напыления.На чертеже изображена конструкция устройства.Вращающийся цилиндр 1 разделен перегородками 2 на секции 3, расположеппые по образующей цилиндра. В секциях помещены испарители 4, а сверху цилиндра укреплена мпогощелевая маска 5 так, что каждая щель б маски размещена против соответствующей секции цилиндра. Электропитание испаритслей производится с помощью щеток 7 и коллектора 8, укрепленных па валу 9 цилиндра, Цилиндр вращается па валу с помощью коническои пары шестерен 1связана с приводным Р через вал 13.Процесс напыления пленок сост что через щели вращающейся мно маски на поверхность подогревае мощью подогревателя 14 подложк 1 рывно осаждаются пары испаряемь и образуют наслаивающиеся один плоские витки многопленочного по Предмет изобретени 1, Устройство для изготовления тонкопленочных радиодеталей методом испарения, выполненное в виде многосекционной камеры с размещенными в секциях испарителями ме талла или диэлектрика с соответствующеймаской, через которую производится напыление на подогреваемую подложку, отличвощееся тем, что, с целью автоматизации процесса напыления и получения многообмоточ.5 пых радиодеталей, например трансформаторов с ферромагнитными сердечниками, много- секционная камера выполнена в виде вращающегося цилиндра, секции которого образова.ны перегородками, расположеииымп по его 0 образующей, и на одном из торцов цилиндра187854 оставитель В. Агапов Техред Л. Брикке Редактор роно Соколова Белугина рректоры: С.и С. Заказ 3630/8 Тираж 1175 Формат бум, 60 Х 90/8 Объем 0,16 и ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при СоветеМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 л. Подписиинистров ССС Типография, пр. Сапунова укреплена многощелевая маска так, что каждая щель маски размещена против соответствующей секции цилиндра с расположенным вней испарителем. 42. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что электропитание испарителей подведено при помощи щеток и контактных колец, укрепленных на валу упомянутого цилиндра.
СмотретьЗаявка
943247
ТЕХНИЧ СКЛЯ, Ф. А. Коледа
МПК / Метки
МПК: C23C 14/04, C23C 14/26
Метки: тонкопленочных
Опубликовано: 01.01.1966
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-187854-ustrojjstvo-dlya-izgotovleniya-tonkoplenochnykh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для изготовления тонкопленочных</a>
Предыдущий патент: Устройство для автоматической сборки микромодулей
Следующий патент: 187855
Случайный патент: Магнитомодуляционный датчик перемещения