193250
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 193250
Текст
ОПИСАН ИЕ В 325 ОИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социелистических Республик.54 (088.8) Приоритет митет па делей обретеииЯ и открытири Совете МинистровСССР 111.1967, БюллетеньОпубликовано Дата опуоликования описания 28.Ч 1.1967 ПАРЕНИЯ В ВАКУУМЕ ТРОЙСТВО Д Известны устройства для получения покрытий напылением в вакууме, в которых многослойное покрытие получается за счет поочередного напыления различных материалов из испарителей, расположенных на карусели. Для увеличения площади напыляемых элементов и количества образцов, изготовляемых за один цикл откачки, необходима подпитка испарителей соответствующими материалами по мере их расходования. Такие устройства содержат, кроме карусели с испарителями, питатели испарптелей, нагреватели и заслонки.Описываемое устройство карусельного типа с периодической подпиткой испарителей в течение одного вакуумного цикла позволяет одновременно или последовательно напылять на изделие несколько различных материалов. Новым в нем является то, что питатели испарителей выполнены в виде барабанов с бункерами для испаряемых материалов, валы которых механически связаны с валами каруселей.На фиг, 1 изображено описываемое устройство в перспективе; на фиг. 2 - то же, в плане. тройство состоит из двух каруселей 1, питателей 2, которые крепятся на фланконтактного приспособления 4 и заслондвухце 8,ки 5,Карусель представляет собой диск, укрепленный на полой водоохлаждаемой оси 6. На диске карусели расположены четыре испарптеля 7, обогреваемых спиралями, один конец которых через скользящий контакт 8 соединен с электрическим вводом, расположенным на 5 фланце 3. Вал каждой карусели связан с валом питателя посредством шестерен 9, 10 и 11.Это дает возможность каждому материалупопадать в свой испаритель, а также по положегппо привода карусели определять, испаре- О ние какого материала ведется в данный момент.Материал для подпитки поступает в испарители из бункера 12, Необходимое его количество регулируется отсекателем И, отжииае мым пружиной 14 под воздействием рычага 15,Питатель приводится от электромагниташтоком 16, конец которого давит на рычаг 15, а последний толкает отсекатель, После выключения электромагнита рычаг 15 отжима- О ется пружиной 14.Изолированные электрические контакты 17замыкаются пружиной 18, навитой на направляющую 19, и размыкаются электромагнитом.Заслонка состоит из неподвижного листа 20и сектора 21, в каждом из которых имеются по два отверстия.В зависимости от поворота сектора, который через шестерни 22 и 28 связан с приводом, открывается или закрывается путь испа ряемому веществу.Предмет изобретения Устройство для испарения в вакууме, содержащее карусели с испарителями, питатели испарителей, нагреватели и заслонки, отличаюиееся тем, что, с целью одновременного или последовательного испарения нескольких материалов, питатели испарителей выполнены в виде барабанов с бункерами для испаряемых материалов,валы которых механически связаны с валами каруселей для обеспечения синхронности вращения каруселей и питателей,Заказ 1748/ 9 Тираж 535 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4Типография, пр. Сапунова, 2
СмотретьЗаявка
926266
МПК / Метки
МПК: C23C 14/26
Метки: 193250
Опубликовано: 01.01.1967
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-193250-193250.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">193250</a>
Предыдущий патент: Способ горячего цинкования
Следующий патент: 193251
Случайный патент: Установка для испытания образцов материалов на прочность