208408
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
,7 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРАвторыизобретения А. М. Чеховской и В, С. Черняк аявител ПАРИТЕЛЬ ДЛЯ КАМЕР ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИ ТОНКИХ ПЛЕНОКрсдмет изобретения Известный испаритель для камер вакуумного напыления тонких пленок, например на подложки микросхем, выполненный в виде ленты из тугоплавкого металла, снабженной на концах токоподводами и охватывающей лодочку, в которую загружают испаряемый материал, не позволяет предотвратить разбрызгивание этого материала в процессе испарения, что в некоторых случаях может привести к браку.В описываемом испарителе устранение разбрызгивания материала, загружаемого в испаритель, достигается тем, что лента свернута в рулон, витки рулона отделены один от другого металлическими прокладками, расположенными возле торцов рулона, токоподводы выполнены в виде хомутиков охватывающих концы рулона, а внутренняя полость рулона, служащая для загрузки испаряемого вещества, закрыта с торцов металлическими пробками.На чертеже изображен описываемый испаритель в двух проекциях,Лента 1 из тугоплавкого металла свернута в рулон, витки которого отделены один от другого металлическими прокладками 2, расположенными возле торцов рулона. На концах рулона установлены токоподводы 3 в виде хомутиков, Внутренняя полость Б, служащая для загрузки испаряемого материала, закрыта с торцов металлическими пробками 4, Вследствие того, что пары проходят по спи роли между раскаленными витками ленты,разбрызгивание материала сведено к минимуму. Для загрузки материала вынимают одну из пробок 4. Если требуется изменить направление напыления, рулон поворачивают в то коподводах 3. Испаритель для камер вакуумного напы ления тонких пленок, например, на подложкимикросхем, выполненный в виде ленты из тугоплавкого металла, снабженной на концах токоподводами, отличающийся тем, что, с целью устранения разбрызгивания материала, 20 загружаемого в испаритель, лента свернутав рулон, витки рулона отделены один от другого металлическими прокладками, расположенными возле торцов рулона, токоподводы выполнены в виде хомутиков, охватывающих 25 концы рулона, а внутренняя полость рулона,служащая для загрузки испаряемого вещества, закрыта с торцов металлическими пробками.Составитель Ю. Козлов Редактор Н. О. Громов Техред Т. П, Курилко Корректоры: М. П. Ромашова и В. П, Минеева Заказ 60/8 Тираж 530 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д, 4Типография, пр. Сапунова, 2
СмотретьЗаявка
1130763
А. М. Чеховской, В. С. Черн
МПК / Метки
МПК: C23C 14/26
Метки: 208408
Опубликовано: 01.01.1968
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-208408-208408.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">208408</a>
Предыдущий патент: Устройство для шоопирования плоских секций
Следующий патент: Способ снятия заусенцев с деталей хлором
Случайный патент: Краскораспылитель