Чепахин

Номер патента: 259596

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Казанский, Чепахин

МПК: C23C 14/26

Метки: вакуумных, испаритель, установок

...испаритель позволяет получать равномерный конденсат, что особенно важно в серийном производстве, так как можно иметь одновременно большое количество равномерных по толщине пленок.Это достигается тем, что корпус снабжен экраном-насадкой, выполненным в виде усеченного конуса с отверстиями на конической ,поверхности,На чертеже показан описываемый иопаритель.Он включает цилиндрический терморадиационный корпус 1, в основании 2 которого укреплен .перфорированный контейнер 3 для испаряемого материала с расположенным вокруг него резистивным нагревателем 4. Корпус 1 оборудован экраном-насадкой 5, изготовленным в виде усеченного конуса с отверстиями на конической поверхности.При нагреве пары папаряемого вещества 5 заполняют...